时分频分复用的转子式微陀螺检测装置
摘要:
时分频分复用的转子式微陀螺检测装置,属于MEMS器件领域,本发明为解决现有两种差分电容检测方法存在问题。本发明包括转子式微陀螺敏感单元、电荷电压转换单元、相敏解调单元、模数转换单元、信号处理单元、数模转换单元、第一低高压转换单元、第二低高压转换单元和两个时分频分复用单元;两个时分频分复用单元的载波激励信号V+、V?与反馈控制信号复用加载至转子式微陀螺敏感单元;转子式微陀螺敏感单元的等效陀螺信号输出端与相敏解调单元的输入端相连;相敏解调单元的解调信号输出检测信号;相敏解调单元的解调信号输出端与模数转换单元的模拟信号输入端相连;然后进行模数转换、信号处理、数模转换和低压变高压,反馈至两个时分频分复用单元。
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