本发明提供一种具有异质栅介质的隧穿晶体管及其形成方法，该隧穿晶体管包括：衬底；形成在所述衬底中的沟道区；形成在所述衬底中、所述沟道区两侧的源区和漏区，所述源区为第一类型重掺杂所述漏区为第二类型重掺杂；和形成在所述衬底上的栅堆叠，所述栅堆叠包括位于所述沟道区上的栅介质层和位于所述栅介质层上的栅极，所述栅介质层包括靠近所述源区的第一段栅介质和靠近所述漏区的第二段栅介质，所述第一段栅介质和第二段栅介质的材料不同。其中，靠近源区的第一段栅介质通过对沟道区引入局部应力，改变隧穿有效质量，增大隧穿电流；靠近漏区的第二段栅介质通过对沟道区引入局部应力，提高电子迁移率。