发明授权
- 专利标题: 半导体器件
- 专利标题(英): Semiconductor device
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申请号: CN200910128556.8申请日: 2009-03-18
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公开(公告)号: CN101540324B公开(公告)日: 2012-10-17
- 发明人: 前田敏 , 关根康 , 渡边哲也
- 申请人: 瑞萨电子株式会社
- 申请人地址: 日本神奈川县
- 专利权人: 瑞萨电子株式会社
- 当前专利权人: 瑞萨电子株式会社
- 当前专利权人地址: 日本神奈川县
- 代理机构: 北京市金杜律师事务所
- 代理商 王茂华
- 优先权: 2008-068807 20080318 JP
- 主分类号: H01L27/105
- IPC分类号: H01L27/105 ; H01L29/92 ; H01L23/525
摘要:
本发明提供一种半导体器件,在半导体衬底(1)上形成MIM型电容元件,该MIM型电容元件在布线(M1~M5)的梳状金属图案形成电极。电容元件的下方配置有为了防止CMP工序中的小凹坑的虚拟栅极图案的导体图案(8b)和作为虚拟有源区域的有源区域(1b),所述导体图案(8b)和有源区域(1b)通过与由布线(M1~M5)构成的屏蔽用的金属图案的连接来连接到固定电位。并且,导体图案(8b)及有源区域(1b)不与布线(M1~M5)的梳状金属图案平面重合。由此能提高具有电容元件的半导体器件的性能。
公开/授权文献
- CN101540324A 半导体器件 公开/授权日:2009-09-23
IPC分类: