半导体器件
摘要:
本发明提供一种半导体器件,在半导体衬底(1)上形成MIM型电容元件,该MIM型电容元件在布线(M1~M5)的梳状金属图案形成电极。电容元件的下方配置有为了防止CMP工序中的小凹坑的虚拟栅极图案的导体图案(8b)和作为虚拟有源区域的有源区域(1b),所述导体图案(8b)和有源区域(1b)通过与由布线(M1~M5)构成的屏蔽用的金属图案的连接来连接到固定电位。并且,导体图案(8b)及有源区域(1b)不与布线(M1~M5)的梳状金属图案平面重合。由此能提高具有电容元件的半导体器件的性能。
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