公开(公告)号：US20180230603A1

公开(公告)日：2018-08-16

申请号：US15956185

申请日：2018-04-18

申请人： YOUTEC CO., LTD.

发明人： Takeshi KIJIMA ,  Yuuji HONDA ,  Koichi FURUYAMA

IPC分类号： C23F1/00 ,  H01L41/047 ,  C23C14/08 ,  C23C14/34 ,  H01L41/29 ,  H01L41/187 ,  H01L41/318

CPC分类号： C23F1/00 ,  C01P2006/40 ,  C23C14/088 ,  C23C14/3414 ,  H01L41/0478 ,  H01L41/1876 ,  H01L41/29 ,  H01L41/318

摘要： To obtain a piezoelectric film having excellent piezoelectric properties. An aspect of the present invention relates to ferroelectric ceramics including a first Sr(Ti1−xRux)O3 film and a PZT film formed on the first Sr(Ti1−xRux)O3 film, wherein the x satisfies a formula 1 below. 0.01≤x≤0.4   formula 1

公开(公告)号：US20150236244A1

公开(公告)日：2015-08-20

申请号：US14620496

申请日：2015-02-12

申请人： YOUTEC CO., LTD.

发明人： Takeshi KIJIMA ,  Yuuji HONDA ,  Koichi FURUYAMA

IPC分类号： H01L41/187 ,  H01L41/27 ,  C23C28/00

CPC分类号： H01L41/319 ,  H01L41/0815

摘要： To obtain a piezoelectric film having excellent piezoelectric properties. One aspect of the present invention relates to ferroelectric ceramics including a ZrO2 film oriented in (200), a Pt film that is formed on the ZrO2 film and is oriented in (200) and a piezoelectric film formed on the Pt film.

摘要翻译： 得到压电性优异的压电薄膜。 本发明的一个方面涉及包括在（200）中取向的ZrO 2膜的铁电陶瓷，形成在ZrO 2膜上并在（200）中取向的Pt膜和形成在Pt膜上的压电膜。

公开(公告)号：US20150232346A1

公开(公告)日：2015-08-20

申请号：US14620470

申请日：2015-02-12

申请人： YOUTEC CO., LTD.

发明人： Takeshi KIJIMA ,  Yuuji HONDA ,  Koichi FURUYAMA

IPC分类号： C01G55/00 ,  C23F1/00 ,  C23C14/34 ,  H01L41/187 ,  C23C14/08

CPC分类号： C23F1/00 ,  C01P2006/40 ,  C23C14/088 ,  C23C14/3414 ,  H01L41/0478 ,  H01L41/1876 ,  H01L41/29 ,  H01L41/318

摘要： To obtain a piezoelectric film having excellent piezoelectric properties. An aspect of the present invention relates to ferroelectric ceramics including a first Sr(Ti1-xRux)O3 film and a PZT film formed on the first Sr(Ti1-xRux)O3 film, wherein the x satisfies a formula 1 below. 0.01≦x≦0.4  formula 1

摘要翻译： 得到压电性优异的压电薄膜。 本发明的一个方面涉及包含在第一Sr（Ti1-xRux）O3膜上形成的第一Sr（Ti1-xRux）O3膜和PZT膜的铁电陶瓷，其中x满足下面的式1。 0.01＆nlE; x＆nlE; 0.4配方1