公开(公告)号：US08454413B2

公开(公告)日：2013-06-04

申请号：US11614940

申请日：2006-12-21

申请人： Jeonghoon Oh ,  Tsz-Sin Siu ,  Hung Chih Chen ,  Andrew J. Nagengast ,  Steven M. Zuniga ,  Thomas B. Brezoczky

发明人： Jeonghoon Oh ,  Tsz-Sin Siu ,  Hung Chih Chen ,  Andrew J. Nagengast ,  Steven M. Zuniga ,  Thomas B. Brezoczky

IPC分类号： B24B41/06

CPC分类号： B24B37/30 ,  B24B41/06 ,  B29C33/424 ,  B29C35/02 ,  B29K2023/00 ,  B29K2083/00 ,  B29K2995/0074 ,  B29L2031/755

摘要： A flexible membrane for use in a carrier head has a generally circular main portion with a lower surface, an annular outer portion for connection to a base assembly, and an annular flap extending from the main portion on a side opposite the lower surface for connection to the base assembly. At least one surface of the flap has a surface texture to prevent adhesion.

摘要翻译： 用于载体头部的柔性膜具有大致圆形的主要部分，具有下表面，用于连接到基座组件的环形外部部分和从主体部分在与下表面相对的一侧延伸的环形挡片，用于连接到 基座组件。 翼片的至少一个表面具有表面纹理以防止粘附。

公开(公告)号：US07727055B2

公开(公告)日：2010-06-01

申请号：US11741692

申请日：2007-04-27

申请人： Steven M. Zuniga ,  Andrew J. Nagengast ,  Jeonghoon Oh

发明人： Steven M. Zuniga ,  Andrew J. Nagengast ,  Jeonghoon Oh

IPC分类号： B24B5/35

CPC分类号： B24B37/30 ,  Y10T428/24174 ,  Y10T428/24182

摘要： A carrier head that has a base assembly, a retaining ring assembly, a carrier ring, and a flexible membrane is described. The flexible membrane has a main portion and an outer annular portion, wherein a junction between the main portion and the outer annular portion comprises a peripheral edge hinge and an annular recess above the hinge along the outer wall of the outer annular portion.

摘要翻译： 描述了具有基座组件，保持环组件，载体环和柔性膜的承载头。 柔性膜具有主要部分和外部环形部分，其中主要部分和外部环形部分之间的接合处包括周边边缘铰链和沿着外部环形部分的外壁的铰链上方的环形凹部。

公开(公告)号：US08469776B2

公开(公告)日：2013-06-25

申请号：US13104711

申请日：2011-05-10

申请人： Steven M. Zuniga ,  Andrew J. Nagengast ,  Jeonghoon Oh

发明人： Steven M. Zuniga ,  Andrew J. Nagengast ,  Jeonghoon Oh

IPC分类号： B24B5/35

CPC分类号： B24B37/30 ,  Y10T428/24174 ,  Y10T428/24182

摘要： A carrier head that has a base assembly, a retaining ring assembly, a carrier ring, and a flexible membrane is described. The flexible membrane has a main portion and an outer annular portion, wherein a junction between the main portion and the outer annular portion comprises a peripheral edge hinge and an annular recess above the hinge along the outer wall of the outer annular portion.

摘要翻译： 描述了具有基座组件，保持环组件，载体环和柔性膜的承载头。 柔性膜具有主要部分和外部环形部分，其中主要部分和外部环形部分之间的接合处包括周边边缘铰链和沿着外部环形部分的外壁的铰链上方的环形凹部。

公开(公告)号：US07575504B2

公开(公告)日：2009-08-18

申请号：US11741691

申请日：2007-04-27

申请人： Steven M. Zuniga ,  Andrew J. Nagengast ,  Jeonghoon Oh

发明人： Steven M. Zuniga ,  Andrew J. Nagengast ,  Jeonghoon Oh

IPC分类号： B24B7/22

CPC分类号： B24B37/32

摘要： A carrier head that has a base assembly, a retaining ring assembly, a carrier ring, and a flexible membrane is described. A retaining ring assembly has a flexible membrane shaped to provide an annular chamber and an annular retaining ring, wherein annular concentric projections of the flexible membrane are sized to fit into annular concentric recesses of the annular retaining ring.

摘要翻译： 描述了具有基座组件，保持环组件，载体环和柔性膜的承载头。 保持环组件具有成形为提供环形室和环形保持环的柔性膜，其中柔性膜的环形同心突起的尺寸设计成适合环形保持环的环形同心凹槽。

公开(公告)号：US20080119118A1

公开(公告)日：2008-05-22

申请号：US11741691

申请日：2007-04-27

申请人： Steven M. Zuniga ,  Andrew J. Nagengast ,  Jeonghoon Oh

发明人： Steven M. Zuniga ,  Andrew J. Nagengast ,  Jeonghoon Oh

IPC分类号： B24B5/00

CPC分类号： B24B37/32

摘要： A carrier head that has a base assembly, a retaining ring assembly, a carrier ring, and a flexible membrane is described. A retaining ring assembly has a flexible membrane shaped to provide an annular chamber and an annular retaining ring, wherein annular concentric projections of the flexible membrane are sized to fit into annular concentric recesses of the annular retaining ring.

摘要翻译： 描述了具有基座组件，保持环组件，载体环和柔性膜的承载头。 保持环组件具有成形为提供环形室和环形保持环的柔性膜，其中柔性膜的环形同心突起的尺寸设计成适合环形保持环的环形同心凹槽。

公开(公告)号：US08021215B2

公开(公告)日：2011-09-20

申请号：US12698009

申请日：2010-02-01

申请人： Steven M. Zuniga ,  Andrew J. Nagengast ,  Jeonghoon Oh

发明人： Steven M. Zuniga ,  Andrew J. Nagengast ,  Jeonghoon Oh

IPC分类号： B24B41/06

CPC分类号： B24B37/32 ,  B24B37/30

摘要： A carrier head that has a housing, a base assembly, a retaining ring, a carrier ring, and a flexible membrane is described. The base assembly is vertically movable relative to the housing. The retaining ring is connected to and vertically movable relative to the base assembly and has a lower surface configured to contact a polishing pad and an inner surface configured to circumferentially surround the edge of a substrate to retain the substrate. The carrier ring is connected to and vertically fixed relative to the base assembly, circumferentially surrounds the retaining ring to prevent lateral motion of the retaining ring, and has a bottom surface configured to contact a polishing pad.

摘要翻译： 描述了具有壳体，基座组件，保持环，载体环和柔性膜的承载头。 基座组件相对于外壳可垂直移动。 保持环相对于基座组件连接并且可垂直移动，并且具有被配置为接触抛光垫的下表面和被配置为周向围绕衬底的边缘以保持衬底的内表面。 承载环相对于基座组件连接并且垂直固定，周向地包围保持环以防止保持环的横向运动，并且具有构造成接触抛光垫的底表面。

公开(公告)号：US07901273B2

公开(公告)日：2011-03-08

申请号：US12698912

申请日：2010-02-02

申请人： Steven M. Zuniga ,  Andrew J. Nagengast ,  Jeonghoon Oh

发明人： Steven M. Zuniga ,  Andrew J. Nagengast ,  Jeonghoon Oh

IPC分类号： B24B21/18

CPC分类号： B24B37/32

摘要： A carrier head that has a base assembly, a retaining ring assembly, a carrier ring, and a flexible membrane is described. A carrier ring has an annular upper portion and an annular lower portion having a lower surface with a smaller inner diameter than the upper surface of the annular upper portion, wherein the carrier ring circumferentially surrounds a retaining ring and has a lower surface to contact a polishing pad.

摘要翻译： 描述了具有基座组件，保持环组件，载体环和柔性膜的承载头。 承载环具有环形上部和环形下部，其具有比环形上部的上表面更小的内径的下表面，其中承载环周向地包围保持环并且具有接触抛光的下表面 垫。

公开(公告)号：US20110212672A1

公开(公告)日：2011-09-01

申请号：US13104711

申请日：2011-05-10

申请人： Steven M. Zuniga ,  Andrew J. Nagengast ,  Jeonghoon Oh

发明人： Steven M. Zuniga ,  Andrew J. Nagengast ,  Jeonghoon Oh

IPC分类号： B24D11/00

CPC分类号： B24B37/30 ,  Y10T428/24174 ,  Y10T428/24182

摘要： A carrier head that has a base assembly, a retaining ring assembly, a carrier ring, and a flexible membrane is described. The flexible membrane has a main portion and an outer annular portion, wherein a junction between the main portion and the outer annular portion comprises a peripheral edge hinge and an annular recess above the hinge along the outer wall of the outer annular portion.

摘要翻译： 描述了具有基座组件，保持环组件，载体环和柔性膜的承载头。 柔性膜具有主要部分和外部环形部分，其中主要部分和外部环形部分之间的接合处包括周边边缘铰链和沿着外部环形部分的外壁的铰链上方的环形凹部。

公开(公告)号：US07950985B2

公开(公告)日：2011-05-31

申请号：US12791808

申请日：2010-06-01

申请人： Steven M. Zuniga ,  Andrew J. Nagengast ,  Jeonghoon Oh

发明人： Steven M. Zuniga ,  Andrew J. Nagengast ,  Jeonghoon Oh

IPC分类号： B24B5/35

CPC分类号： B24B37/30 ,  Y10T428/24174 ,  Y10T428/24182

摘要： A carrier head that has a base assembly, a retaining ring assembly, a carrier ring, and a flexible membrane is described. The flexible membrane has a main portion and an outer annular portion, wherein a junction between the main portion and the outer annular portion comprises a peripheral edge hinge and an annular recess above the hinge along the outer wall of the outer annular portion.

摘要翻译： 描述了具有基座组件，保持环组件，载体环和柔性膜的承载头。 柔性膜具有主要部分和外部环形部分，其中主要部分和外部环形部分之间的接合处包括周边边缘铰链和沿着外部环形部分的外壁的铰链上方的环形凹部。

公开(公告)号：US20100240287A1

公开(公告)日：2010-09-23

申请号：US12791808

申请日：2010-06-01

申请人： Steven M. Zuniga ,  Andrew J. Nagengast ,  Jeonghoon Oh

发明人： Steven M. Zuniga ,  Andrew J. Nagengast ,  Jeonghoon Oh

IPC分类号： B24B5/35

CPC分类号： B24B37/30 ,  Y10T428/24174 ,  Y10T428/24182

摘要： A carrier head that has a base assembly, a retaining ring assembly, a carrier ring, and a flexible membrane is described. The flexible membrane has a main portion and an outer annular portion, wherein a junction between the main portion and the outer annular portion comprises a peripheral edge hinge and an annular recess above the hinge along the outer wall of the outer annular portion.

摘要翻译： 描述了具有基座组件，保持环组件，载体环和柔性膜的承载头。 柔性膜具有主要部分和外部环形部分，其中主要部分和外部环形部分之间的接合处包括周边边缘铰链和沿着外部环形部分的外壁的铰链上方的环形凹部。