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    Target processing unit
    1.
    发明授权
    Target processing unit 有权
    目标处理单元

    公开(公告)号：US09263234B2

    公开(公告)日：2016-02-16

    申请号：US14479648

    申请日：2014-09-08

    Applicant: Mapper Lithography IP B.V.

    Inventor： Johan Joost Koning ,  David Johannes van den Bergen

    IPC: H01J37/10 ,  H01J37/30 ,  G03F7/20 ,  H01J37/20 ,  H01J37/317 ,  B01J19/12

    CPC classification number: H01J37/023 ,  B01J19/12 ,  G03F7/708 ,  G03F7/70825 ,  G03F7/70833 ,  G03F7/70891 ,  G03F7/709 ,  G03F7/70975 ,  H01J37/10 ,  H01J37/20 ,  H01J37/3007 ,  H01J37/3177

    Abstract: The invention relates to a projection lens assembly for directing a beam toward a target. This assembly includes a lens support body (52) that spans a plane (P), and has a connection region (58) and a lateral edge (56). The lens support body is arranged for insertion into a frame (42) of a processing unit along an insertion direction (X) parallel with the plane (P). The projection lens assembly includes conduits (60-64) emanating from the connection region, and a conduit guiding body (70-81) for accommodating the conduits. The guiding body includes a first guiding portion (72) for guiding the conduits from the connection region, along the plane to a lateral region (B) beyond the lateral edge. The guiding body also includes a second guiding portion (78) for guiding the conduits from the lateral region (B) toward a tilted edge (79) of the conduit guiding body.

    Abstract translation: 本发明涉及一种用于将光束导向目标的投影透镜组件。 该组件包括跨越平面（P）的透镜支撑体（52），并且具有连接区域（58）和侧边缘（56）。 透镜支撑体被布置成沿着与平面（P）平行的插入方向（X）插入到处理单元的框架（42）中。 投影透镜组件包括从连接区域发出的导管（60-64）和用于容纳导管的导管引导体（70-81）。 引导体包括用于将管道从连接区域沿着该平面引导到超过侧边缘的横向区域（B）的第一引导部分（72）。 引导体还包括用于将导管从侧向区域（B）引导到导管引导体的倾斜边缘（79）的第二引导部分（78）。

    TARGET PROCESSING UNIT
    2.
    发明申请
    TARGET PROCESSING UNIT 审中-公开
    目标处理单位

    公开(公告)号：US20160126055A1

    公开(公告)日：2016-05-05

    申请号：US14992049

    申请日：2016-01-11

    Applicant: Mapper Lithography IP B.V.

    Inventor： Johan Joost Koning ,  David Johannes van den Bergen

    IPC: H01J37/02 ,  H01J37/20

    CPC classification number: H01J37/023 ,  B01J19/12 ,  G03F7/708 ,  G03F7/70825 ,  G03F7/70833 ,  G03F7/70891 ,  G03F7/709 ,  G03F7/70975 ,  H01J37/10 ,  H01J37/20 ,  H01J37/3007 ,  H01J37/3177

    Abstract: The invention relates to a target processing unit (10) comprising a vacuum chamber (30) for accommodating a target to be processed, a projection column (46) within the vacuum chamber for generating a beam and projecting the beam towards the target, and a first conduit arrangement (26,36,37,60) for connecting the projection column to external equipment (22). The vacuum chamber can comprise a positioning system (114) for supporting the target, and a second conduit arrangement (110) distinct from the first conduit arrangement for connecting the positioning system to external equipment, wherein the positioning system is moveably arranged with respect to the projection column, and wherein the positioning system and the projection column occupy spatially distinct portions of the vacuum chamber. The first conduit arrangement extends through an upper side of the vacuum chamber, and the second conduit arrangement extends through a lower side of the vacuum chamber.

    Abstract translation: 本发明涉及一种目标处理单元（10），其包括用于容纳待处理目标物的真空室（30），真空室内的用于产生光束并将光束朝向目标物投影的突出柱（46），以及 用于将投影柱连接到外部设备（22）的第一导管装置（26,36,37,60）。 真空室可以包括用于支撑靶的定位系统（114）和与第一导管装置不同的第二导管装置（110），用于将定位系统连接到外部设备，其中定位系统可相对于 投影柱，并且其中定位系统和投影柱占据真空室的空间上不同的部分。 第一导管装置延伸穿过真空室的上侧，第二导管装置延伸穿过真空室的下侧。

    TARGET PROCESSING UNIT
    3.
    发明申请
    TARGET PROCESSING UNIT 有权
    目标处理单位

    公开(公告)号：US20150090895A1

    公开(公告)日：2015-04-02

    申请号：US14479648

    申请日：2014-09-08

    Applicant: Mapper Lithography IP B.V.

    Inventor： Johan Joost Koning ,  David Johannes van den Bergen

    IPC: H01J37/30 ,  B01J19/12 ,  H01J37/10

    CPC classification number: H01J37/023 ,  B01J19/12 ,  G03F7/708 ,  G03F7/70825 ,  G03F7/70833 ,  G03F7/70891 ,  G03F7/709 ,  G03F7/70975 ,  H01J37/10 ,  H01J37/20 ,  H01J37/3007 ,  H01J37/3177

    Abstract: The invention relates to a projection lens assembly for directing a beam toward a target. This assembly includes a lens support body (52) that spans a plane (P), and has a connection region (58) and a lateral edge (56). The lens support body is arranged for insertion into a frame (42) of a processing unit along an insertion direction (X) parallel with the plane (P). The projection lens assembly includes conduits (60-64) emanating from the connection region, and a conduit guiding body (70-81) for accommodating the conduits. The guiding body includes a first guiding portion (72) for guiding the conduits from the connection region, along the plane to a lateral region (B) beyond the lateral edge. The guiding body also includes a second guiding portion (78) for guiding the conduits from the lateral region (B) toward a tilted edge (79) of the conduit guiding body.

    Abstract translation: 本发明涉及一种用于将光束导向目标的投影透镜组件。 该组件包括跨越平面（P）的透镜支撑体（52），并具有连接区域（58）和侧边缘（56）。 透镜支撑体被布置成沿着与平面（P）平行的插入方向（X）插入到处理单元的框架（42）中。 投影透镜组件包括从连接区域发出的导管（60-64）和用于容纳导管的导管引导体（70-81）。 引导体包括用于将导管从连接区域沿着该平面引导到超过侧边缘的横向区域（B）的第一引导部分（72）。 引导体还包括用于将管道从侧向区域（B）引导到导管引导体的倾斜边缘（79）的第二引导部分（78）。

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