公开(公告)号：US20130341505A1

公开(公告)日：2013-12-26

申请号：US13777018

申请日：2013-02-26

Applicant: FEI Company

Inventor： Jason Arjavac ,  Pei Zou ,  David James Tasker ,  Maximus Theodorus Otten ,  Gerhard Daniel

IPC: H01J37/26

CPC classification number: G01N1/28 ,  G01N1/06 ,  G01N1/08 ,  G01N1/32 ,  G01N23/04 ,  H01J37/06 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/063 ,  H01J2237/182 ,  H01J2237/204 ,  H01J2237/208 ,  H01J2237/2802 ,  H01J2237/31745 ,  H01J2237/31749

Abstract: An improved method and apparatus for S/TEM sample preparation and analysis. Preferred embodiments of the present invention provide improved methods for TEM sample creation, especially for small geometry (

Abstract translation: 一种用于S / TEM样品制备和分析的改进方法和装置。 本发明的优选实施例提供用于TEM样品制备的改进方法，特别是对于小几何（<100nm厚）TEM薄片。 本发明的优选实施例还通过提供部分或全部自动化TEM样品制作的方法来提供在诸如集成电路或半导体晶片上制造的其它结构的物体上的基于S / TEM的测量的在线方法，以使得创建过程 并分析TEM样品减少劳动密集度，并提高TEM分析的产量和再现性。

公开(公告)号：US09581526B2

公开(公告)日：2017-02-28

申请号：US15047064

申请日：2016-02-18

Applicant: FEI Company

Inventor： Jason Arjavac ,  Pei Zou ,  David James Tasker ,  Maximus Theodorus Otten ,  Gerhard Daniel

IPC: G01N1/28 ,  G01N1/06 ,  G01N1/08 ,  G01N23/04 ,  G01N1/32 ,  H01J37/305 ,  H01J37/26 ,  H01J37/06 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/28

CPC classification number: G01N1/28 ,  G01N1/06 ,  G01N1/08 ,  G01N1/32 ,  G01N23/04 ,  H01J37/06 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/063 ,  H01J2237/182 ,  H01J2237/204 ,  H01J2237/208 ,  H01J2237/2802 ,  H01J2237/31745 ,  H01J2237/31749

Abstract: An improved method and apparatus for S/TEM sample preparation and analysis. Preferred embodiments of the present invention provide improved methods for TEM sample creation, especially for small geometry (

Abstract translation: 一种用于S / TEM样品制备和分析的改进方法和装置。 本发明的优选实施例提供用于TEM样品制备的改进方法，特别是对于小几何（<100nm厚）TEM薄片。 本发明的优选实施例还通过提供部分或全部自动化TEM样品制作的方法来提供在诸如集成电路或半导体晶片上制造的其它结构的物体上的基于S / TEM的测量的在线方法，以使得创建过程 并分析TEM样品减少劳动密集度，并提高TEM分析的产量和再现性。

公开(公告)号：US20160163506A1

公开(公告)日：2016-06-09

申请号：US15047064

申请日：2016-02-18

Applicant: FEI Company

Inventor： Jason Arjavac ,  Pei Zou ,  David James Tasker ,  Maximus Theodorus Otten ,  Gerhard Daniel

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/20

CPC classification number: G01N1/28 ,  G01N1/06 ,  G01N1/08 ,  G01N1/32 ,  G01N23/04 ,  H01J37/06 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/063 ,  H01J2237/182 ,  H01J2237/204 ,  H01J2237/208 ,  H01J2237/2802 ,  H01J2237/31745 ,  H01J2237/31749

Abstract: An improved method and apparatus for S/TEM sample preparation and analysis. Preferred embodiments of the present invention provide improved methods for TEM sample creation, especially for small geometry (

公开(公告)号：US09275831B2

公开(公告)日：2016-03-01

申请号：US14546244

申请日：2014-11-18

Applicant: FEI Company

Inventor： Jason Arjavac ,  Pei Zou ,  David James Tasker ,  Maximus Theodorus Otten ,  Gerhard Daniel

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/305 ,  G01N1/06 ,  G01N1/08 ,  G01N1/28 ,  G01N23/04 ,  G01N1/32 ,  H01J37/26 ,  H01J37/06 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20

CPC classification number: G01N1/28 ,  G01N1/06 ,  G01N1/08 ,  G01N1/32 ,  G01N23/04 ,  H01J37/06 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/063 ,  H01J2237/182 ,  H01J2237/204 ,  H01J2237/208 ,  H01J2237/2802 ,  H01J2237/31745 ,  H01J2237/31749

Abstract: An improved method and apparatus for S/TEM sample preparation and analysis. Preferred embodiments of the present invention provide improved methods for TEM sample creation, especially for small geometry (

公开(公告)号：US20150206707A1

公开(公告)日：2015-07-23

申请号：US14546244

申请日：2014-11-18

Applicant: FEI Company

Inventor： Jason Arjavac ,  Pei Zou ,  David James Tasker ,  Maximus Theodorus Otten ,  Gerhard Daniel

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/06 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20

CPC classification number: G01N1/28 ,  G01N1/06 ,  G01N1/08 ,  G01N1/32 ,  G01N23/04 ,  H01J37/06 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/063 ,  H01J2237/182 ,  H01J2237/204 ,  H01J2237/208 ,  H01J2237/2802 ,  H01J2237/31745 ,  H01J2237/31749

Abstract: An improved method and apparatus for S/TEM sample preparation and analysis. Preferred embodiments of the present invention provide improved methods for TEM sample creation, especially for small geometry (

Abstract translation: 一种用于S / TEM样品制备和分析的改进方法和装置。 本发明的优选实施例提供用于TEM样品制备的改进方法，特别是对于小几何（<100nm厚）TEM薄片。 本发明的优选实施例还通过提供部分或全部自动化TEM样品制作的方法来提供在诸如集成电路或半导体晶片上制造的其它结构的物体上的基于S / TEM的测量的在线方法，以使得创建过程 并分析TEM样品减少劳动密集度，并提高TEM分析的产量和再现性。

公开(公告)号：US08890064B2

公开(公告)日：2014-11-18

申请号：US13777018

申请日：2013-02-26

Applicant: FEI Company

Inventor： Jason Arjavac ,  Pei Zou ,  David James Tasker ,  Maximus Theodorus Otten ,  Gerhard Daniel

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/305 ,  G01N1/32 ,  G01N1/28

CPC classification number: G01N1/28 ,  G01N1/06 ,  G01N1/08 ,  G01N1/32 ,  G01N23/04 ,  H01J37/06 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/063 ,  H01J2237/182 ,  H01J2237/204 ,  H01J2237/208 ,  H01J2237/2802 ,  H01J2237/31745 ,  H01J2237/31749

Abstract: An improved method and apparatus for S/TEM sample preparation and analysis. Preferred embodiments of the present invention provide improved methods for TEM sample creation, especially for small geometry (

Abstract translation: 一种用于S / TEM样品制备和分析的改进方法和装置。 本发明的优选实施例提供用于TEM样品制备的改进方法，特别是对于小几何（<100nm厚）TEM薄片。 本发明的优选实施例还通过提供部分或全部自动化TEM样品制作的方法来提供在诸如集成电路或半导体晶片上制造的其它结构的物体上的基于S / TEM的测量的在线方法，以使得创建过程 并分析TEM样品减少劳动密集度，并提高TEM分析的产量和再现性。