公开(公告)号：US09218997B2

公开(公告)日：2015-12-22

申请号：US12270187

申请日：2008-11-13

申请人： Seok Yul Jun ,  Bum Jin Park ,  Sun Il Kim ,  Hyong Seok Oh ,  Sung Chul Cho ,  Young Sam Na ,  Yeon Sang Cho ,  Ha Sung Song ,  Seong Ju Kim ,  Hee Sang Chae ,  Talex Sajoto

发明人： Seok Yul Jun ,  Bum Jin Park ,  Sun Il Kim ,  Hyong Seok Oh ,  Sung Chul Cho ,  Young Sam Na ,  Yeon Sang Cho ,  Ha Sung Song ,  Seong Ju Kim ,  Hee Sang Chae ,  Talex Sajoto

IPC分类号： C23C16/50 ,  C23C16/00 ,  C23F1/00 ,  H01L21/306 ,  H01L21/683 ,  H01L21/67 ,  H02N13/00

CPC分类号： H01L21/6831 ,  H01L21/67103 ,  H02N13/00 ,  Y10T29/49986 ,  Y10T279/23

摘要： Electrostatic chucks and methods of manufacturing the same are provided herein. In some embodiments, an electrostatic chuck comprises an electrically conductive body having one or more channels formed in an upper surface thereof; a plate positioned within the one or more channels to define one or more plenums between the body and the plate, wherein the surfaces of the plenum are anodized; one or more fluid passages disposed in the plate and fluidly coupling the one or more plenums to the upper surface of the body, wherein the surfaces of the fluid passages are electrically insulated; and a dielectric layer disposed over the upper surface of the body and the plate, wherein the dielectric layer forms a support surface for a substrate to be disposed thereon.

摘要翻译： 本文提供了静电卡盘及其制造方法。 在一些实施例中，静电卡盘包括导电体，其具有形成在其上表面中的一个或多个通道; 定位在所述一个或多个通道内的板，以在所述主体和所述板之间限定一个或多个气室，其中所述气室的表面被阳极氧化; 一个或多个流体通道设置在板中并将一个或多个通风室流体地联接到主体的上表面，其中流体通道的表面是电绝缘的; 以及设置在所述主体和所述板的上表面上方的电介质层，其中所述电介质层形成用于要置于其上的衬底的支撑表面。

公开(公告)号：US20100109263A1

公开(公告)日：2010-05-06

申请号：US12270187

申请日：2008-11-13

申请人： Seok Yul Jun ,  Bum Jin Park ,  Sun Il Kim ,  Hyong Seok Oh ,  Sung Chul Cho ,  Young Sam Na ,  Yeon Sang Cho ,  Ha Sung Song ,  Seong Ju Kim ,  Hee Sang Chae ,  Talex Sajoto

发明人： Seok Yul Jun ,  Bum Jin Park ,  Sun Il Kim ,  Hyong Seok Oh ,  Sung Chul Cho ,  Young Sam Na ,  Yeon Sang Cho ,  Ha Sung Song ,  Seong Ju Kim ,  Hee Sang Chae ,  Talex Sajoto

IPC分类号： B23B31/28 ,  B23P17/00

CPC分类号： H01L21/6831 ,  H01L21/67103 ,  H02N13/00 ,  Y10T29/49986 ,  Y10T279/23

摘要： Electrostatic chucks and methods of manufacturing the same are provided herein. In some embodiments, an electrostatic chuck comprises an electrically conductive body having one or more channels formed in an upper surface thereof; a plate positioned within the one or more channels to define one or more plenums between the body and the plate, wherein the surfaces of the plenum are anodized; one or more fluid passages disposed in the plate and fluidly coupling the one or more plenums to the upper surface of the body, wherein the surfaces of the fluid passages are electrically insulated; and a dielectric layer disposed over the upper surface of the body and the plate, wherein the dielectric layer forms a support surface for a substrate to be disposed thereon.

摘要翻译： 本文提供了静电卡盘及其制造方法。 在一些实施例中，静电卡盘包括导电体，其具有形成在其上表面中的一个或多个通道; 定位在所述一个或多个通道内的板，以在所述主体和所述板之间限定一个或多个气室，其中所述气室的表面被阳极氧化; 一个或多个流体通道设置在板中并将一个或多个通风室流体地联接到主体的上表面，其中流体通道的表面是电绝缘的; 以及设置在所述主体和所述板的上表面上方的电介质层，其中所述电介质层形成用于要置于其上的衬底的支撑表面。