公开(公告)号：US20050288810A1

公开(公告)日：2005-12-29

申请号：US10875331

申请日：2004-06-24

申请人： Mu-Tsang Lin ,  Tien-Wen Wang ,  Joseph Fang ,  Ie-Fun Lai ,  Chon-Hwa Chu ,  Jian-Hong Chen ,  Chin-Chih Chen ,  Yu-Yi Wu ,  Yao-Wen Wu ,  Wen-Sheng Chien

发明人： Mu-Tsang Lin ,  Tien-Wen Wang ,  Joseph Fang ,  Ie-Fun Lai ,  Chon-Hwa Chu ,  Jian-Hong Chen ,  Chin-Chih Chen ,  Yu-Yi Wu ,  Yao-Wen Wu ,  Wen-Sheng Chien

IPC分类号： G06F19/00

CPC分类号： G05B19/41875 ,  G05B2219/32191 ,  G05B2219/45031 ,  Y02P90/20 ,  Y02P90/22

摘要： A system and method for automatic SPC chart generation including a storage device and a data acquisition module. The storage device stores a chamber management tree, a recipe window management tree, a parameter configuration table and multiple chart profile records. The data acquisition module, which resides in a memory, acquires multiple process events and parameter values corresponding to the process events and a process parameter, selects a relevant statistical algorithm, calculates a statistical value by applying the statistical algorithm to the parameter values, creates a new chart profile record and a parameter statistics record therein if the chart profile record is absent, and stores the statistical values and measured time in the parameter statistics record.

摘要翻译： 一种用于自动生成SPC图的系统和方法，包括存储装置和数据采集模块。 存储装置存储室管理树，配方窗口管理树，参数配置表和多个图表简档记录。 驻留在存储器中的数据采集模块获取对应于过程事件的多个过程事件和参数值以及过程参数，选择相关的统计算法，通过将统计算法应用于参数值来计算统计值，创建一个 如果没有图表配置文件记录，则将新的图表配置文件记录和参数统计记录存储在其中，并将统计值和测量时间存储在参数统计记录中。

公开(公告)号：US20060075314A1

公开(公告)日：2006-04-06

申请号：US10947092

申请日：2004-09-22

申请人： Mu-Tsang Lin ,  Yi-Yu Wu ,  Chia-Hung Chung ,  Jian-Hong Chen ,  Chon-Hwa Chu ,  Ie-Fun Lai ,  Wen-Sheng Chien

发明人： Mu-Tsang Lin ,  Yi-Yu Wu ,  Chia-Hung Chung ,  Jian-Hong Chen ,  Chon-Hwa Chu ,  Ie-Fun Lai ,  Wen-Sheng Chien

IPC分类号： G06F11/00

CPC分类号： G05B23/024 ,  G05B19/41865 ,  G05B23/0281 ,  G05B2219/32191 ,  G05B2219/45031 ,  Y02P90/20 ,  Y02P90/22

摘要： An apparatus for fault detection and classification (FDC) specification management including a storage device and a process module. The storage device stores a specification management record and a chart profile record. The specification management record stores statistical algorithm settings of a parameter and the chart profile record stores chart frame and alarm condition information. The process module, which resides in a memory, receives a manipulation message corresponding to the specification management record, and accordingly manipulates the chart profile record.

摘要翻译： 一种用于故障检测和分类（FDC）规范管理的装置，包括存储装置和处理模块。 存储设备存储规范管理记录和图表简档记录。 规范管理记录存储参数的统计算法设置，图表简档记录存储图表框和报警条件信息。 驻留在存储器中的处理模块接收与规范管理记录相对应的操作消息，并相应地操纵图表简档记录。

公开(公告)号：US07254513B2

公开(公告)日：2007-08-07

申请号：US10947092

申请日：2004-09-22

申请人： Mu-Tsang Lin ,  Yi-Yu Wu ,  Chia-Hung Chung ,  Jian-Hong Chen ,  Chon-Hwa Chu ,  Ie-Fun Lai ,  Wen-Sheng Chien

发明人： Mu-Tsang Lin ,  Yi-Yu Wu ,  Chia-Hung Chung ,  Jian-Hong Chen ,  Chon-Hwa Chu ,  Ie-Fun Lai ,  Wen-Sheng Chien

IPC分类号： G06F15/00 ,  G06F19/00

CPC分类号： G05B23/024 ,  G05B19/41865 ,  G05B23/0281 ,  G05B2219/32191 ,  G05B2219/45031 ,  Y02P90/20 ,  Y02P90/22

摘要： An apparatus for fault detection and classification (FDC) specification management including a storage device and a process module. The storage device stores a specification management record and a chart profile record. The specification management record stores statistical algorithm settings of a parameter and the chart profile record stores chart frame and alarm condition information. The process module, which resides in a memory, receives a manipulation message corresponding to the specification management record, and accordingly manipulates the chart profile record.

摘要翻译： 一种用于故障检测和分类（FDC）规范管理的装置，包括存储装置和处理模块。 存储设备存储规范管理记录和图表简档记录。 规范管理记录存储参数的统计算法设置，图表简档记录存储图表框和报警条件信息。 驻留在存储器中的处理模块接收与规范管理记录相对应的操作消息，并相应地操纵图表简档记录。

公开(公告)号：US07117058B2

公开(公告)日：2006-10-03

申请号：US10875331

申请日：2004-06-24

申请人： Mu-Tsang Lin ,  Tien-Wen Wang ,  Joseph W. L. Fang ,  Ie-Fun Lai ,  Chon-Hwa Chu ,  Jian-Hong Chen ,  Chin-Chih Chen ,  Yu-Yi Wu ,  Yao-Wen Wu ,  Wen-Sheng Chien

发明人： Mu-Tsang Lin ,  Tien-Wen Wang ,  Joseph W. L. Fang ,  Ie-Fun Lai ,  Chon-Hwa Chu ,  Jian-Hong Chen ,  Chin-Chih Chen ,  Yu-Yi Wu ,  Yao-Wen Wu ,  Wen-Sheng Chien

IPC分类号： G06F19/00

CPC分类号： G05B19/41875 ,  G05B2219/32191 ,  G05B2219/45031 ,  Y02P90/20 ,  Y02P90/22

摘要： A system and method for automatic SPC chart generation including a storage device and a data acquisition module. The storage device stores a chamber management tree, a recipe window management tree, a parameter configuration table and multiple chart profile records. The data acquisition module, which resides in a memory, acquires multiple process events and parameter values corresponding to the process events and a process parameter, selects a relevant statistical algorithm, calculates a statistical value by applying the statistical algorithm to the parameter values, creates a new chart profile record and a parameter statistics record therein if the chart profile record is absent, and stores the statistical values and measured time in the parameter statistics record.

摘要翻译： 一种用于自动生成SPC图的系统和方法，包括存储装置和数据采集模块。 存储装置存储室管理树，配方窗口管理树，参数配置表和多个图表简档记录。 驻留在存储器中的数据采集模块获取对应于过程事件的多个过程事件和参数值以及过程参数，选择相关的统计算法，通过将统计算法应用于参数值来计算统计值，创建一个 如果没有图表配置文件记录，则将新的图表配置文件记录和参数统计记录存储在其中，并将统计值和测量时间存储在参数统计记录中。