公开(公告)号：US5252294A

公开(公告)日：1993-10-12

申请号：US830755

申请日：1992-02-03

申请人： Walter Kroy ,  Helmut Seidel ,  Eduard Dette ,  Max Koniger ,  Peter Deimel ,  Florian Binder ,  Reinhold Hilpert

发明人： Walter Kroy ,  Helmut Seidel ,  Eduard Dette ,  Max Koniger ,  Peter Deimel ,  Florian Binder ,  Reinhold Hilpert

IPC分类号： B01J19/00 ,  B01L3/00 ,  G01N1/28 ,  G01N21/25 ,  G01N21/55 ,  G01N27/414 ,  G01N35/00 ,  G01N35/10 ,  H01L27/20 ,  G01N21/00 ,  C12M1/00

CPC分类号： B01L3/50851 ,  B01J19/0093 ,  B01L3/5027 ,  B01L3/50853 ,  G01N21/255 ,  G01N35/00 ,  H01L27/20 ,  B01J2219/00835 ,  B01L2200/12 ,  B01L2300/0627 ,  B01L2300/0645 ,  B01L2300/0654 ,  B01L2300/0816 ,  B01L2300/0819 ,  B01L2400/0633 ,  B01L3/5025 ,  G01N1/28 ,  G01N21/552 ,  G01N2201/0622 ,  G01N27/4145 ,  G01N35/1079

摘要： A micromechanical structure with cavities, containers, openings, canals, depressions, humps or the like for examinations of sample substances for possible changes of physical and/or chemical properties with targeted evaluation and documentation for the purposes of biotechnology, gene technology, cell and immune research and other medical, agricultural and environment research, where the structure consists of semiconducting material (of the group III to V of the elements of the periodic system) or contain the latter or glass or ceramic, diamond, or carbon and is made by a masking technique, especially by a chemical etching technique.

摘要翻译： 具有空腔，容器，开口，运河，凹陷，凸起等的微机械结构，用于检查样品物质，以便为生物技术，基因技术，细胞和免疫的目的进行目标评估和文献的物理和/或化学性质的变化 研究和其他医疗，农业和环境研究，其中结构由半导体材料（周期性系统的元素的III至V族）组成，或包含后者或玻璃或陶瓷，金刚石或碳，并由 掩蔽技术，特别是通过化学蚀刻技术。