公开(公告)号：US09512516B1

公开(公告)日：2016-12-06

申请号：US12888963

申请日：2010-09-23

申请人： Robert Martinson ,  Paul Shufflebotham ,  Kevin Lynch ,  Heinrich von Bunau ,  Deborah Sloan ,  Daniel R. Juliano

发明人： Robert Martinson ,  Paul Shufflebotham ,  Kevin Lynch ,  Heinrich von Bunau ,  Deborah Sloan ,  Daniel R. Juliano

IPC分类号： C23C14/34 ,  H01J37/34

CPC分类号： H01J37/3417 ,  C23C14/0057 ,  C23C14/3407 ,  C23C14/35 ,  H01J37/3405 ,  H01J37/3429 ,  H01J37/3435 ,  H01J37/345 ,  H01J37/3497 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/332

摘要： A sputtering target assembly, including a cylindrical backing tube, a magnet assembly disposed within the backing tube, and a conduit disposed within the backing tube and adapted for transporting coolant. The conduit includes at least one first opening positioned for providing the coolant in a substantially circumferential direction from the conduit toward an inner surface of the backing tube into a gap volume between a front side of the magnet assembly and the inner surface of the backing tube.

摘要翻译： 包括圆柱形背衬管，设置在背衬管内的磁体组件和设置在背衬管内并适于运输冷却剂的导管的溅射靶组件。 导管包括至少一个第一开口，其定位成将冷却剂沿着从管道朝向背衬管的内表面的大致圆周方向提供到磁体组件的前侧和背衬管的内表面之间的间隙体积中。