公开(公告)号：US20070274666A1

公开(公告)日：2007-11-29

申请号：US11734695

申请日：2007-04-12

申请人： Kazuhiko AIKAWA ,  Katsuaki Izoe ,  Naoki Shamoto ,  Manabu Kudoh ,  Takashi Tsumanuma

发明人： Kazuhiko AIKAWA ,  Katsuaki Izoe ,  Naoki Shamoto ,  Manabu Kudoh ,  Takashi Tsumanuma

IPC分类号： G02B6/00

CPC分类号： G02B6/02 ,  C03B37/01446 ,  C03B37/01453 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/20 ,  C03C13/046

摘要： A radiation resistant single-mode optical fiber has a core and a cladding, each made of fluorine-doped silica glass, in which a chlorine concentration of the core is at least 0.01 ppm, a relative refractive index difference of the core based on the refractive index for silica is between −0.30 and −0.10%, a relative refractive index difference of the core based on the refractive index for the cladding is between 0.3% and 0.5%, a cutoff wavelength is 1.27 μm or below, and a bending loss at a wavelength of 1.3 μm and a bending diameter of 20 mm is 0.5 dB/m or less.

摘要翻译： 耐辐射单模光纤具有芯和包层，每个由氟掺杂的石英玻璃制成，其中芯的氯浓度至少为0.01ppm，基于折射率的芯的相对折射率差 二氧化硅的指数在-0.30至-0.10％之间，基于包层的折射率的芯的相对折射率差为0.3％至0.5％，截止波长为1.27mum或更低，以及在 1.3μm的波长和20mm的弯曲直径为0.5dB / m以下。

公开(公告)号：US07280728B2

公开(公告)日：2007-10-09

申请号：US10971319

申请日：2004-10-22

申请人： George E Berkey ,  Xin Chen ,  Joohyun Koh ,  Ming-Jun Li ,  Daniel A Nolan ,  Donnell T Walton ,  Ji Wang ,  Luis A Zenteno

发明人： George E Berkey ,  Xin Chen ,  Joohyun Koh ,  Ming-Jun Li ,  Daniel A Nolan ,  Donnell T Walton ,  Ji Wang ,  Luis A Zenteno

IPC分类号： G02B6/02

CPC分类号： H01S3/06716 ,  C03B37/01234 ,  C03B37/0124 ,  C03B37/01413 ,  C03B37/01446 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/14 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/31 ,  C03B2201/36 ,  C03B2203/12 ,  C03B2203/14 ,  C03B2203/23 ,  C03B2205/10 ,  C03B2207/90 ,  G02B6/023 ,  G02B6/02338 ,  G02B6/02366 ,  G02B6/024 ,  G02B6/03611 ,  G02B6/0365 ,  G02B6/03666 ,  G02B2006/1208 ,  H01S3/06729 ,  H01S3/1618 ,  H01S3/1695

摘要： An optical fiber including: (i) a silica based, rare earth doped core having a first index of refraction n1; (ii) a silica based inner cladding surrounding the core and having a second index of refraction n2, such that n1>n2, said inner cladding having a plurality of air holes extending longitudinally through the length of said optical fiber; (iii) a silica based outer cladding surrounding said inner cladding and having a third index of refraction n3, such that n2>n3, wherein said optical fiber supports a single polarization mode within the operating wavelength range.

摘要翻译： 一种光纤，包括：（i）具有第一折射率n 1的二氧化硅基稀土掺杂的芯; （ii）围绕所述芯并且具有第二折射率n 2 2的基于二氧化硅的内包层，使得n 1，N 2， 所述内包层具有沿所述光纤的长度纵向延伸的多个气孔; （iii）围绕所述内包层并具有第三折射率n 3 3的基于二氧化硅的外包层，使得n 2 N 3 N 3 其中所述光纤在工作波长范围内支持单一偏振模式。

公开(公告)号：US20070105704A1

公开(公告)日：2007-05-10

申请号：US11583619

申请日：2006-10-19

申请人： Dana Bookbinder ,  Richard Fiacco ,  Ulrich Neukirch

发明人： Dana Bookbinder ,  Richard Fiacco ,  Ulrich Neukirch

IPC分类号： C03C3/06 ,  C03B8/00 ,  C03B19/06

CPC分类号： C03C3/06 ,  C03B19/06 ,  C03B19/066 ,  C03B19/12 ,  C03B19/14 ,  C03B19/1453 ,  C03B20/00 ,  C03B32/00 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/08 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/22 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/42 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/22 ,  C03C2201/23

摘要： What is disclosed includes OD-doped synthetic silica glass capable of being used in optical elements for use in lithography below about 300 nm. OD-doped synthetic silica glass was found to have significantly lower polarization-induced birefringence value than non-OD-doped silica glass with comparable concentration of OH. Also disclosed are processes for making OD-doped synthetic silica glasses, optical member comprising such glasses, and lithographic systems comprising such optical member. The glass is particularly suitable for immersion lithographic systems due to the exceptionally low polarization-induced birefringence values at about 193 nm.

摘要翻译： 公开的内容包括能够用于低于约300nm的光刻中的光学元件的OD掺杂合成石英玻璃。 发现OD掺杂的合成二氧化硅玻璃具有比具有相当浓度的OH的非OD掺杂的石英玻璃具有显着更低的偏振诱导双折射值。 还公开了制造掺杂OD的合成二氧化硅玻璃，包含这种玻璃的光学构件以及包括这种光学构件的光刻系统的方法。 由于在约193nm处极度低的偏振诱发双折射值，该玻璃特别适用于浸没式光刻系统。

公开(公告)号：US20060198591A1

公开(公告)日：2006-09-07

申请号：US11335467

申请日：2006-01-20

申请人： Shuhei Hayami ,  Mitsuhiro Kawasaki ,  Yohei Uchida

发明人： Shuhei Hayami ,  Mitsuhiro Kawasaki ,  Yohei Uchida

IPC分类号： G02B6/036

CPC分类号： G02B6/03688 ,  C03B37/01413 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/31 ,  C03B2203/22 ,  C03B2203/23 ,  C03B2203/36 ,  G02B6/02019 ,  G02B6/02242 ,  G02B6/02266 ,  G02B6/03605 ,  G02B6/03666

摘要： The present invention provides an optical fiber of which a zero dispersion wavelength falls within a range of between 1,250 nm and 1,350 nm inclusive, transmission loss at 1,550 nm is equal to or less than 0.185 dB/km, chromatic dispersion at 1,550 nm is within the range of 19±1 ps/nm·km, a dispersion slope at 1,550 nm is equal to or less than 0.06 ps/nm2·km, an effective area Aeff is equal to or more than 105 μm2, a cable cutoff wavelength λcc is equal to or less than 1,530 nm, polarization mode dispersion is equal to or less than 0.1 ps/km1/2, and a loss when the optical fiber is wound on a mandrel having an outer diameter of 20 mm is equal to or less than 10 dB/m.

摘要翻译： 本发明提供一种零色散波长落在1,250nm和1,350nm之间的光纤，其中在1,550nm处的传输损耗等于或小于0.185dB / km，在1,550nm处的色散在 范围为19±1ps / nm.km，1,550nm处的色散斜率等于或小于0.06ps / nm 2·km，有效面积A < 等于或大于105μm2，电缆截止波长λcc等于或小于1530nm，偏振模色散等于或小于0.1ps / km 1/2，当光纤缠绕在外径为20mm的心轴上时的损耗为10dB / m以下。

公开(公告)号：US20060179879A1

公开(公告)日：2006-08-17

申请号：US11316293

申请日：2005-12-21

申请人： Adam Ellison ,  Kenneth Hrdina ,  Sabyasachi Sen

发明人： Adam Ellison ,  Kenneth Hrdina ,  Sabyasachi Sen

IPC分类号： C03B19/06 ,  C03B25/00

CPC分类号： C03C3/06 ,  C03B19/1415 ,  C03B19/143 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/20 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/30 ,  C03B2201/31 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/34 ,  C03B2201/40 ,  C03B2201/42 ,  C03B2207/30 ,  C03B2207/32 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/42

摘要： The invention is directed to ultra-low expansion glasses to which adjustments have been made to selected variables in order to improve the properties of the glasses, and particularly to lower the expansivity of the glasses. The glasses are titania-doped silica glasses. The variables being adjusted include an adjustment in β-OH level; an adjustment to the cooling rate of the molten glass material through the setting point; and the addition of selected dopants to impact the CTE behavior.

摘要翻译： 本发明涉及对所选择的变量进行调整的超低膨胀玻璃，以改善玻璃的性能，特别是降低玻璃的膨胀性。 眼镜是二氧化钛掺杂的二氧化硅玻璃。 调整的变量包括β-OH水平的调整; 调整熔融玻璃材料通过凝固点的冷却速度; 并添加选定的掺杂剂以影响CTE行为。

公开(公告)号：US07092611B2

公开(公告)日：2006-08-15

申请号：US10488098

申请日：2002-08-28

申请人： Dennis Robert Simons ,  Arnold Bloemendal

发明人： Dennis Robert Simons ,  Arnold Bloemendal

IPC分类号： G02B6/00 ,  C03B37/018

CPC分类号： C03B37/01853 ,  C03B37/01807 ,  C03B37/0183 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/31

摘要： The present invention relates to a method for manufacturing a bar-shaped preform. The present invention further relates to a method for manufacturing optical fibers using the manufactured bar-shaped preform.

摘要翻译： 本发明涉及一种制造棒状预制件的方法。 本发明还涉及使用所制造的棒状预成型件制造光纤的方法。

公开(公告)号：US20060088262A1

公开(公告)日：2006-04-27

申请号：US10971319

申请日：2004-10-22

申请人： George Berkey ,  Xin Chen ,  Joohyun Koh ,  Ming-Jun Li ,  Daniel Nolan ,  Donnell Walton ,  Ji Wang ,  Luis Zenteno

发明人： George Berkey ,  Xin Chen ,  Joohyun Koh ,  Ming-Jun Li ,  Daniel Nolan ,  Donnell Walton ,  Ji Wang ,  Luis Zenteno

IPC分类号： G02B6/032

CPC分类号： H01S3/06716 ,  C03B37/01234 ,  C03B37/0124 ,  C03B37/01413 ,  C03B37/01446 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/14 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/31 ,  C03B2201/36 ,  C03B2203/12 ,  C03B2203/14 ,  C03B2203/23 ,  C03B2205/10 ,  C03B2207/90 ,  G02B6/023 ,  G02B6/02338 ,  G02B6/02366 ,  G02B6/024 ,  G02B6/03611 ,  G02B6/0365 ,  G02B6/03666 ,  G02B2006/1208 ,  H01S3/06729 ,  H01S3/1618 ,  H01S3/1695

摘要： An optical fiber including: (i) a silica based, rare earth doped core having a first index of refraction n1; (ii) a silica based inner cladding surrounding the core and having a second index of refraction n2, such that n1>n2, said inner cladding having a plurality of air holes extending longitudinally through the length of said optical fiber; (iii) a silica based outer cladding surrounding said inner cladding and having a third index of refraction n3, such that n2>n3, wherein said optical fiber supports a single polarization mode within the operating wavelength range.

摘要翻译： 一种光纤，包括：（i）具有第一折射率n 1的二氧化硅基稀土掺杂的芯; （ii）围绕所述芯并且具有第二折射率n 2 2的基于二氧化硅的内包层，使得n 1，N 2， 所述内包层具有沿所述光纤的长度纵向延伸的多个气孔; （iii）围绕所述内包层并具有第三折射率n 3 3的基于二氧化硅的外包层，使得n 2 N 3 N 3 其中所述光纤在工作波长范围内支持单一偏振模式。

公开(公告)号：US07022633B2

公开(公告)日：2006-04-04

申请号：US10317068

申请日：2002-12-12

申请人： Yoshiaki Ikuta ,  Shinya Kikugawa ,  Noriaki Shimodaira ,  Akio Masui ,  Shuhei Yoshizawa

发明人： Yoshiaki Ikuta ,  Shinya Kikugawa ,  Noriaki Shimodaira ,  Akio Masui ,  Shuhei Yoshizawa

IPC分类号： C03C3/06 ,  G01N23/00

CPC分类号： C03C3/06 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/21 ,  C03B2201/23 ,  C03C23/002 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/23 ,  C03C2203/44 ,  C03C2203/54 ,  Y02P40/57 ,  Y10S65/16 ,  Y10S501/90 ,  Y10S501/905

摘要： A synthetic quartz glass for optical use, to be used by irradiation with light within a range of from the ultraviolet region to the vacuum ultraviolet region, which contains fluorine, which has a ratio of the scattering peak intensity of 2250 cm−1 (I2250) to the scattering peak intensity of 800 cm−1 (I800), i.e. I2250/I800, of at most 1×10−4 in the laser Raman spectrum, and which has an absorption coefficient of light of 245 nm of at most 2×10−3 cm−1.

摘要翻译： 一种用于光学用途的合成石英玻璃，其通过在含有氟的紫外区域至真空紫外区域的范围内的光照射而使用，所述氟化物具有2250cm -1的散射峰强度 （I 2250）相对于800cm -1（I 800）的散射峰强度，即I 2250 在激光拉曼光谱中，其最大吸收系数为245nm，最多为2×10 3，最大为1×10 -4， SUP> -3cm -1 -1。

公开(公告)号：US20050257570A1

公开(公告)日：2005-11-24

申请号：US10519016

申请日：2003-07-07

申请人： Richard Schmidt ,  Karsten Brauer

发明人： Richard Schmidt ,  Karsten Brauer

IPC分类号： C03B8/04 ,  C03B37/014 ,  C03B37/018 ,  H05H1/30 ,  C03B37/012

CPC分类号： H05H1/30 ,  C03B37/01426 ,  C03B2201/04 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12

摘要： The invention relates to a method for producing a blank mold from synthetic quartz glass by using a plasma-assisted deposition method, according to which a hydrogen-free media flow containing a glass starting material and a carrier gas is fed to a multi-nozzle deposition burner. The glass starting material is introduced into a plasma zone by the deposition burner and is oxidized therein while forming SiO2 particles, and the SiO2 particles are deposited on a deposition surface while being directly vitrified. In order to increase the deposition efficiency, the invention provides that the deposition burner (1) focuses the media flow toward the plasma zone (4) by. A multi-nozzle plasma burner, which is suited for carrying out the method and which is provided with a media nozzle for feeding a media flow to the plasma zone, is characterized in that the media nozzle (7) is designed so that it is focussed toward the plasma zone (4). The focussing is effected by a tapering (6) of the media nozzle (7).

摘要翻译： 本发明涉及一种通过使用等离子体辅助沉积方法由合成石英玻璃制造空白模具的方法，根据该方法，将含有玻璃原料和载气的无氢介质流供给到多喷嘴沉积 刻录机。 通过沉积燃烧器将玻璃原料引入等离子体区，并在其中氧化，同时形成SiO 2颗粒，并将SiO 2颗粒沉积在沉积表面上，同时 被直接玻璃化。 为了提高沉积效率，本发明提供了沉积燃烧器（1）将介质流聚焦到等离子体区（4）。 多喷嘴等离子体燃烧器适用于执行该方法并且设置有用于将介质流馈送到等离子体区域的介质喷嘴，其特征在于，介质喷嘴（7）被设计成使其聚焦 朝向等离子体区（4）。 聚焦由介质喷嘴（7）的锥形（6）实现。

公开(公告)号：US20050223747A1

公开(公告)日：2005-10-13

申请号：US11004027

申请日：2004-12-02

申请人： Laura Ball ,  Bruno Baney ,  Dana Bookbinder ,  Keith House ,  Rostislav Khrapko ,  Susan Schiefelbein ,  Lisa Moore

发明人： Laura Ball ,  Bruno Baney ,  Dana Bookbinder ,  Keith House ,  Rostislav Khrapko ,  Susan Schiefelbein ,  Lisa Moore

IPC分类号： C03B37/00 ,  C03B37/012 ,  C03B37/014 ,  C03B37/018 ,  C03C3/06 ,  C03C13/04 ,  C03C15/00 ,  C03C21/00 ,  C03C25/60 ,  C03C25/68 ,  C03B37/027

CPC分类号： C03C3/06 ,  C03B37/01211 ,  C03B37/01228 ,  C03B37/01426 ,  C03B37/01807 ,  C03B37/01861 ,  C03B37/01892 ,  C03B2201/03 ,  C03B2201/04 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/20 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/31 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/50 ,  C03B2201/54 ,  C03B2203/26 ,  C03B2207/30 ,  C03B2207/90 ,  C03C25/602 ,  C03C25/607 ,  C03C25/68 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/50 ,  C03C2203/50 ,  G02B6/02

摘要： A method of forming an alkali metal oxide-doped optical fiber by diffusing an alkali metal into a surface of a glass article is disclosed. The silica glass article may be in the form of a tube or a rod, or a collection of tubes or rods. The silica glass article containing the alkali metal, and impurities that may have been unintentionally diffused into the glass article, is etched to a depth sufficient to remove the impurities. The silica glass article may be further processed to form a complete optical fiber preform. The preform, when drawn into an optical fiber, exhibits a low attenuation.

摘要翻译： 公开了一种通过将碱金属扩散到玻璃制品的表面中形成掺杂碱金属氧化物的光纤的方法。 石英玻璃制品可以是管或棒的形式，或者是管或棒的集合。 含有碱金属的二氧化硅玻璃制品和可能已经无意地扩散到玻璃制品中的杂质被蚀刻到足以除去杂质的深度。 石英玻璃制品可以进一步加工以形成完整的光纤预型件。 当预成型件被拉入光纤时，表现出低的衰减。