公开(公告)号：US20170141529A1

公开(公告)日：2017-05-18

申请号：US14429700

申请日：2014-12-08

申请人： OPTONICS CO., LTD.

发明人： Jong Sup KIM ,  Young Woo LEE

IPC分类号： H01S3/101 ,  H01S3/16 ,  H01S3/091

CPC分类号： H01S3/025 ,  H01S3/0071 ,  H01S3/061 ,  H01S3/086 ,  H01S3/091 ,  H01S3/1611 ,  H01S3/1643

摘要： Disclosed herein is a laser module in which an optical block generating or controlling laser beams has a contact side surface made to have squareness, and neighboring optical blocks are coupled to each other in such a way that contact side surfaces thereof come into contact with each other, thus allowing the optical blocks to be aligned with each other and thereby obviating the necessity of additional alignment.

公开(公告)号：US09500855B2

公开(公告)日：2016-11-22

申请号：US13487611

申请日：2012-06-04

申请人： Dennis Rossbach

发明人： Dennis Rossbach

IPC分类号： H01S3/08 ,  G02B26/08 ,  H01S3/07 ,  H01S3/081 ,  H01S3/139 ,  H01S3/086 ,  H01S3/105 ,  H01S3/13

CPC分类号： G02B26/0825 ,  H01S3/07 ,  H01S3/08059 ,  H01S3/0813 ,  H01S3/086 ,  H01S3/105 ,  H01S3/1307 ,  H01S3/139

摘要： A laser resonator is provided that includes a cavity bounded by an end mirror and output coupler, and one or more gain media between the end mirror and output coupler. The laser resonator also includes a modal corrector mirror between the end mirror and output coupler. The modal corrector mirror includes a controllable-profile faceplate including an optically-treated front surface, and an array of static actuators. Each static actuator includes an adjustable element, and a compliant mechanism located between the adjustable element and faceplate. The adjustable element is configured to exert a selectable, localized push-pull force on the faceplate via the compliant mechanism, and the compliant mechanism is configured to scale the respective force.

摘要翻译： 提供了一种激光谐振器，其包括由端镜和输出耦合器界定的空腔以及端镜和输出耦合器之间的一个或多个增益介质。 激光谐振器还包括端镜和输出耦合器之间的模态校正器镜。 模态校正器镜包括可控轮廓面板，其包括经光学处理的前表面和静止致动器阵列。 每个静态致动器包括可调节元件，以及位于可调节元件和面板之间的顺应机构。 可调元件构造成经由顺应机构在面板上施加可选择的局部推拉力，并且顺应机构构造成对相应的力进行缩放。

公开(公告)号：US09001862B2

公开(公告)日：2015-04-07

申请号：US13417097

申请日：2012-03-09

申请人： Michael Ushinsky ,  Joseph J. Ichkhan ,  Derek M. Hendry

发明人： Michael Ushinsky ,  Joseph J. Ichkhan ,  Derek M. Hendry

IPC分类号： H01S5/024 ,  H01S3/02 ,  H01S3/04 ,  H01S3/08 ,  H01S3/042 ,  H01S3/06 ,  H01S3/094 ,  H01S3/0941 ,  H01S3/106 ,  H01S3/113 ,  H01S3/16

CPC分类号： H01S3/0627 ,  H01S3/025 ,  H01S3/0405 ,  H01S3/042 ,  H01S3/061 ,  H01S3/08009 ,  H01S3/0812 ,  H01S3/086 ,  H01S3/094053 ,  H01S3/09415 ,  H01S3/1061 ,  H01S3/113 ,  H01S3/1643

摘要： A solid-state lasing device includes a micro-chip oscillator (MCO) affixed to a first tube, and a volume Bragg grating (VBG) plate affixed to a second tube. The second tube is configured to be telescopically coupled to the first tube with a slip fit such that the VBG plate is concentrically aligned with and is positioned at a specified distance from the MCO.

摘要翻译： 固态激光装置包括固定到第一管的微芯片振荡器（MCO）和固定到第二管的体积布拉格光栅（VBG）板。 第二管被配置为以滑动配合可伸缩地联接到第一管，使得VBG板与MCO同心地对准并定位在距离MCO指定的距离处。

公开(公告)号：US08958454B2

公开(公告)日：2015-02-17

申请号：US14164968

申请日：2014-01-27

申请人： FANUC Corporation

发明人： Takanori Sato ,  Takafumi Murakami

IPC分类号： H01S3/08 ,  H01S3/086

CPC分类号： H01S3/086 ,  H01S3/0014 ,  H01S3/076 ,  H01S3/0816 ,  H01S3/10069 ,  H01S3/105

摘要： The slant of a first mirror (21), the slant of a second mirror (22), and the laser output when the slant of the first mirror (21) is an initial value and when the slant of the first mirror (21) is made to move from the initial value by exactly a predetermined value in the positive and negative directions are used as the basis to calculate a first approximation curve of the laser output with respect to the slant of the first mirror (21) and second approximation curve of the laser output with respect to the slant of the second mirror (22), set a value which corresponds to a local maximum value of the first approximation curve as the slant of the first mirror (21), and set a value which corresponds to a local maximum value of the second approximation curve as the slant of the second mirror (21).

摘要翻译： 第一反射镜（21）的斜面，第二反射镜（22）的斜面，以及当第一反射镜（21）的倾斜度为初始值时的激光输出，以及当第一反射镜（21）的倾斜度为 使用从初始值向正，负方向移动一个预定值的方法用作计算第一反射镜（21）的倾斜的激光输出的第一近似曲线和第二近似曲线 相对于第二反射镜（22）的倾斜的激光输出，将与第一近似曲线的局部最大值相对应的值设定为第一反射镜（21）的倾斜，并且设定与第一反射镜 第二近似曲线的局部最大值作为第二反射镜（21）的倾斜。

公开(公告)号：US20120120466A1

公开(公告)日：2012-05-17

申请号：US13384735

申请日：2010-06-04

申请人： Yong Tak Lee ,  Feng Xiao ,  Kamal Alameh

发明人： Yong Tak Lee ,  Feng Xiao ,  Kamal Alameh

IPC分类号： G03H1/08

CPC分类号： H01S3/086 ,  G03H1/08 ,  H01S3/0675 ,  H01S3/06754 ,  H01S3/06766 ,  H01S3/08009 ,  H01S3/08059 ,  H01S3/2383

摘要： A wavelength-tunable laser system includes an optical fiber collimator array having at least two ports, an optical amplifier connected to one port of an optical fiber, an optical coupler for coupling light incident from the optical amplifier and transmitting the coupled light to another port, a diffraction grating plate for guiding each wavelength component of light incident from the optical fiber collimator array in a different direction, and an Opto-Very Large Scale Integration (Opto-VLSI) processor.

摘要翻译： 波长可调激光系统包括具有至少两个端口的光纤准直器阵列，连接到光纤的一个端口的光学放大器，用于耦合从光学放大器入射的光并将耦合的光传输到另一个端口的光耦合器， 衍射光栅板，用于引导从光纤准直器阵列入射的光在不同方向上的每个波长分量，以及光电超大规模集成（Opto-VLSI）处理器。

公开(公告)号：US07965754B1

公开(公告)日：2011-06-21

申请号：US12427253

申请日：2009-04-21

申请人： Jonathan M. Saint Clair ,  Eric Yuen-Jun Chan

发明人： Jonathan M. Saint Clair ,  Eric Yuen-Jun Chan

IPC分类号： H01S5/00

CPC分类号： H01S5/423 ,  H01S3/08068 ,  H01S3/086 ,  H01S5/005 ,  H01S5/02252 ,  H01S5/02284 ,  H01S5/14 ,  H01S5/147 ,  H01S5/4031 ,  H01S5/405 ,  H01S5/4062 ,  H01S5/4068

摘要： A laser cavity is provided by a reflecting spherical substrate with an array of emitters having a mode size. Each emitter has an axis aligned with a radius of the spherical substrate. A single mode waveguide is aligned with the array at an optical coupling distance less than the radius of the spherical substrate. A reflector substantially coincident with an end of the waveguide combines with the reflecting spherical substrate as a cavity.

摘要翻译： 激光腔由具有模式尺寸的发射体阵列的反射球形衬底提供。 每个发射器具有与球形衬底的半径对准的轴。 单模波导与阵列对准，光耦合距离小于球形衬底的半径。 基本上与波导的端部重合的反射体与作为空腔的反射球形基板结合。

公开(公告)号：US20100327192A1

公开(公告)日：2010-12-30

申请号：US12638413

申请日：2009-12-15

申请人： Igor V. Fomenkov ,  Alexander I. Ershov ,  William N. Partlo ,  Jason Paxton ,  Nam-Hyong Kim ,  Jerzy R. Hoffman

发明人： Igor V. Fomenkov ,  Alexander I. Ershov ,  William N. Partlo ,  Jason Paxton ,  Nam-Hyong Kim ,  Jerzy R. Hoffman

IPC分类号： H05G2/00 ,  H01S3/22 ,  H01S3/08

CPC分类号： H01S3/2232 ,  G03F7/70033 ,  H01S3/0014 ,  H01S3/0407 ,  H01S3/041 ,  H01S3/086 ,  H01S3/2308 ,  H05G2/008

摘要： A method for producing extreme ultraviolet light includes producing a target material at a target location; supplying pump energy to a gain medium of at least one optical amplifier that has an amplification band to produce an amplified light beam; propagating the amplified light beam through the gain medium using one or more optical components of a set of optical components; delivering the amplified light beam to the target location using one or more optical components of the optical component set; producing with a guide laser a guide laser beam that has a wavelength outside of the amplification band of the gain medium and inside the wavelength range of the optical components; and directing the guide laser beam through the optical component set to thereby align one or more optical components of the optical component set.

摘要翻译： 用于生产极紫外光的方法包括在目标位置产生目标材料; 向具有放大频带的至少一个光放大器的增益介质提供泵浦能量以产生放大的光束; 使用一组光学部件的一个或多个光学部件将放大的光束传播通过增益介质; 使用所述光学部件组的一个或多个光学部件将放大的光束传送到目标位置; 用导向激光器产生具有波长在增益介质的放大频带之外且在光学部件的波长范围内的引导激光束; 并且引导所述引导激光束通过所述光学部件组，从而对准所述光学部件组的一个或多个光学部件。

公开(公告)号：US07583718B2

公开(公告)日：2009-09-01

申请号：US11819333

申请日：2007-06-26

申请人： Nathan P. Monty

发明人： Nathan P. Monty

IPC分类号： H01S3/03

CPC分类号： H01S3/0315 ,  H01S3/03 ,  H01S3/0305 ,  H01S3/086 ,  H01S3/0971

摘要： Certain example embodiments of this invention relate to waveguide lasers (e.g., RF-excited waveguide lasers). Certain example embodiments of this invention provide an optical mounting scheme for use with a waveguide laser. In certain example embodiments, a carrier including an optic holder may be provided. An optic may be mounted to the carrier via a face-sealing epoxy. An optic interface may be formed at least in part by the epoxy. The optic interface may be a thin layer of a substantially uniform thickness located between the carrier and optic face. The carrier and/or the optic holder of the carrier may be beveled proximate to where the optic interface is formed and, optionally, proximate to where the epoxy is applied. In certain example embodiments, the epoxy may be applied to only the optic's face and/or to the optic holder's face. In certain example embodiments, the waveguide laser may further comprise a vacuum vessel, and the carrier may be attached to the laser such that the optic and/or the optic interface attached to the carrier fit inside of the vessel.

摘要翻译： 本发明的某些示例性实施例涉及波导激光器（例如，RF激发波导激光器）。 本发明的某些示例性实施例提供了一种用于波导激光器的光学安装方案。 在某些示例性实施例中，可以提供包括光学保持器的载体。 光学元件可以通过面密封环氧树脂安装到载体上。 光学接口可以至少部分地由环氧树脂形成。 光学接口可以是位于载体和光学面之间的基本均匀厚度的薄层。 载体和/或载体的光学保持器可以在靠近形成光学界面的地方倾斜，并且可选地靠近涂覆环氧树脂的位置。 在某些示例性实施方案中，环氧树脂可以仅施加到光学元件的表面和/或光学保持器的表面上。 在某些示例性实施例中，波导激光器还可以包括真空容器，并且载体可以附接到激光器，使得附接到载体的光学和/或光学界面适合容器的内部。

公开(公告)号：US20080043801A1

公开(公告)日：2008-02-21

申请号：US11819333

申请日：2007-06-26

申请人： Nathan Monty

发明人： Nathan Monty

IPC分类号： H01S3/08

CPC分类号： H01S3/0315 ,  H01S3/03 ,  H01S3/0305 ,  H01S3/086 ,  H01S3/0971

摘要： Certain example embodiments of this invention relate to waveguide lasers (e.g., RF-excited waveguide lasers). Certain example embodiments of this invention provide an optical mounting scheme for use with a waveguide laser. In certain example embodiments, a carrier including an optic holder may be provided. An optic may be mounted to the carrier via a face-sealing epoxy. An optic interface may be formed at least in part by the epoxy. The optic interface may be a thin layer of a substantially uniform thickness located between the carrier and optic face. The carrier and/or the optic holder of the carrier may be beveled proximate to where the optic interface is formed and, optionally, proximate to where the epoxy is applied. In certain example embodiments, the epoxy may be applied to only the optic's face and/or to the optic holder's face. In certain example embodiments, the waveguide laser may further comprise a vacuum vessel, and the carrier may be attached to the laser such that the optic and/or the optic interface attached to the carrier fit inside of the vessel.

摘要翻译： 本发明的某些示例性实施例涉及波导激光器（例如，RF激发波导激光器）。 本发明的某些示例性实施例提供了一种用于波导激光器的光学安装方案。 在某些示例性实施例中，可以提供包括光学保持器的载体。 光学元件可以通过面密封环氧树脂安装到载体上。 光学接口可以至少部分地由环氧树脂形成。 光学接口可以是位于载体和光学面之间的基本均匀厚度的薄层。 载体和/或载体的光学保持器可以在靠近形成光学界面的地方倾斜，并且可选地靠近涂覆环氧树脂的位置。 在某些示例性实施方案中，环氧树脂可以仅施加到光学元件的表面和/或光学保持器的表面上。 在某些示例性实施例中，波导激光器还可以包括真空容器，并且载体可以附接到激光器，使得附接到载体的光学和/或光学界面适合容器的内部。

公开(公告)号：US06895030B1

公开(公告)日：2005-05-17

申请号：US10048226

申请日：2000-05-30

申请人： Hiroyuki Hayashikawa ,  Hitoshi Hongu

发明人： Hiroyuki Hayashikawa ,  Hitoshi Hongu

IPC分类号： H01S3/03 ,  H01S3/034 ,  H01S3/036 ,  H01S3/038 ,  H01S3/07 ,  H01S3/08 ,  H01S3/086 ,  H01S3/22 ,  H01S3/223

CPC分类号： H01S3/03 ,  H01S3/034 ,  H01S3/036 ,  H01S3/038 ,  H01S3/073 ,  H01S3/086

摘要： A support unit (20a) for supporting an OPM holder (15a) so as to be vertical to the laser beam axis is disposed in the lower part of the OPM holder (15a). A rotary shaft (19) is inserted into the support unit (20a) and rotary shaft support unit (20b), and the OPM holder (15a) and DT base (17) are assembled together. Thus, a rotation support unit (200) is composed. The rotation support unit has a degree of freedom in the rotating direction of arrow (202). On the other hand, in the lower part of an RM holder (15b), a support bar (21) is provided. At the DT base (17), a rotating element (22) and a rotating element support unit (23) supporting the rotating element are composed so as to support the support bar. Thus, a slider structure (220) slidable in the optical axis direction is formed. The slider structure has a degree of freedom in the direction of arrow (222).

摘要翻译： 用于支撑OPM保持器（15a）以与激光束轴线垂直的支撑单元（20a）被布置在OPM保持器（15a）的下部。 旋转轴（19）插入到支撑单元（20a）和旋转轴支撑单元（20b）中，并且OPM保持器（15a）和DT基座（17）组装在一起。 因此，构成旋转支撑单元（200）。 旋转支撑单元具有沿箭头（202）的旋转方向的自由度。 另一方面，在RM保持器（15b）的下部设有支撑杆（21）。 在DT基座（17）上，支撑旋转元件的旋转元件（22）和旋转元件支撑单元（23）构成为支撑支撑杆。 因此，形成可沿光轴方向滑动的滑块结构（220）。 滑块结构具有沿箭头（222）的方向的自由度。