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公开(公告)号:CN118980849A
公开(公告)日:2024-11-19
申请号:CN202411067034.2
申请日:2024-08-06
申请人: 上海微芸半导体科技有限公司
发明人: 王松满
IPC分类号: G01R19/00 , H01L21/66 , H01L21/683 , H01L21/67 , G06N3/0442 , G06N3/08 , G01R19/165 , G01R29/24 , G01D21/02
摘要: 本发明公开了一种针对刻蚀设备绝缘静电吸盘上自偏压的量测方法,本发明涉及半导体制造技术领域,自偏压量测方法如下:通过对刻蚀设备校对以及量测,并建设相应的量测处理平台,将校对和量测的数据传输至量测处理平台,通过在刻蚀设备周围设置摄像头以及传感器,并将摄像头拍摄到的图像以及传感器监测的环境数据传输至量测处理平台,本发明的优点在于:通过S1、S2和S3对刻蚀设备上静电吸盘的工作条件数据进行存储,在刻蚀设备进行启动时,量测处理平台便于快速调取历史数据,并利用预测分析快速获取当前静电吸盘的自偏压数据,进而量测处理平台根据当前环境数据对静电吸盘的自偏压进行修正,使得静电吸盘具有更加稳定的效果。
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公开(公告)号:CN118897131A
公开(公告)日:2024-11-05
申请号:CN202410995021.5
申请日:2024-07-24
申请人: 中航西安飞机工业集团股份有限公司
摘要: 一种飞机燃油静电测量装置及测量方法,其特征在于,该测量装置含有测试探头、壳体、信号处理模块和显示面板,所述的测试探头通过非金属连接件绝缘连接在壳体前端,所述的信号处理模块内置在壳体内,测试探头与信号处理模块之间感应连接,显示面板固定在壳体表面,信号处理模块与显示面板信号连接,使用时,将测试探头的球头伸入燃油管道或油箱的燃油内,感应燃油在运动过程中与管壁和油箱壁摩擦产生的静电荷的电压;燃油中的静电电荷通过球头传送到测试探头末端,信号处理模块的通过敏感芯片感应静电电荷产生的电场,并将其处理、放大转换为数字信号,发送给显示面板用于检测结果的显示,实现燃油静电电荷量值的检测。
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公开(公告)号:CN118897126A
公开(公告)日:2024-11-05
申请号:CN202411242665.3
申请日:2024-09-05
申请人: 齐鲁工业大学(山东省科学院)
摘要: 本发明涉及高压频域介电谱技术领域,尤其是提供了空间电荷与高压频域介电谱的联合同步测量系统和方法。该系统包括函数发生器、终端、示波器、电压放大器、纳秒脉冲源、数据采集卡、分压器、空间电荷测量电极外壳、油浴循环装置、高压电极、半导电层、试样、保护极、电流测量极、空间电荷测量极、压电薄膜、信号放大器、电流检测单元;该系统解决了空间电荷与交流电流联合测量的技术难题,通过纳秒脉冲高压条件下的直接测量交流电流,避免了因分时测量导致的电流信息损失和测量干扰,确保了在高压电场下能够准确地反映绝缘材料的介电特性及空间电荷分布,从而提升了高压FDS技术在绝缘状态评估中的应用精度与可靠性。
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公开(公告)号:CN118759274A
公开(公告)日:2024-10-11
申请号:CN202410756102.X
申请日:2024-06-13
申请人: 华北电力大学
IPC分类号: G01R29/24 , G01R31/327
摘要: 本申请涉及一种基于微力感知的GIS中运动微粒电荷量检测方法及装置,该装置包括环境模拟装置,用于模拟实际GIS装置运行时的外界环境;腔体模拟装置,用于模拟实际GIS装置运行时的内部电场;电荷检测装置,用于通过拉力传感器进行电荷量测量;检测操作装置,用于控制电荷检测装置中各设备位置变换运动;数据采集与控制装置,用于实现对检测操作系装置的控制以及实现对电荷检测装置数据的收集和分析,最终获得GIS装置中运动微粒电荷量。该装置采用拉力传感器实时监测金属微粒受力变化,进而推导计算出金属微粒的电荷量,可不受金属微粒位置、形状影响,实现对不同位置、不同形状金属微粒带电量的准确测量。
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公开(公告)号:CN115144663B
公开(公告)日:2024-10-01
申请号:CN202210843618.9
申请日:2022-07-18
申请人: 济宁市海豚科技有限公司
摘要: 本发明涉及静电去除领域,具体为一种一体式机房环境检测装置,包括:参数获取模块,用于保持机房内初始电离子密度不变,获取不同离风机风速下的电离子密度序列;进而获取不同离风机风速下的除电速率序列,根据除电速率序列获取中和程度系数序列;对电离子密度序列进行分组,对于每个组,计算组内每个序列的权重,权重最大值与其对应的中和程度系数序列中的最大值的乘积为该组的统一中和程度系数;根据每个组的统一中和程度系数获取全局中和程度系数;环境检测模块,用于实时检测机房内的电离子密度;电离子去除模块,用于根据环境检测模块的检测结果和全局中和程度系数确定离风机风速,进行电离子去除。本发明可对机房内的静电进行快速去除。
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公开(公告)号:CN118712549A
公开(公告)日:2024-09-27
申请号:CN202411179943.5
申请日:2024-08-27
申请人: 比亚迪股份有限公司
IPC分类号: H01M10/48 , G01R31/392 , G01R31/378 , G01R29/24 , G01B7/00 , B60L3/00 , B60L58/10 , H01M50/249
摘要: 本申请提供一种电池包、电池包检测方法、检测系统和车辆,包括电池单元和损伤检测单元,损伤检测单元设置在电池单元的至少部分表面,损伤检测单元被配置为,当电池包受到外力冲击时,损伤检测单元产生可表征电池单元损伤位置的信号,从而能够有效检测电池包的损伤位置,全面了解电池包的健康状态,提高安全性。
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公开(公告)号:CN118707205A
公开(公告)日:2024-09-27
申请号:CN202410986033.1
申请日:2024-07-22
申请人: 清华大学
IPC分类号: G01R29/24
摘要: 一种不混溶液体界面电荷密度原位测量方法、装置和系统,所述方法包括:获取微流动芯片中并行流道的多组数据,包括并行流道两端的第一液体压降和第一液体电势降,并行流道内并排流动有互相不混溶的第一液体和第二液体,以第一液体压降为横坐标,以第一液体电势降为纵坐标进行曲线拟合,获得斜率α,根据公式#imgabs0#获得液液界面的电荷密度,液液界面为第一液体和第二液体之间的界面;Qs‑l,eff代表第一液体与所述并行流道的内壁面材料之间的等效固液界面电荷密度,第一液体电势降由位于并行流道内的电极对第一液体进行原位测量而获得,简化了对测量装置的要求,提高了不混溶液体界面电荷密度测量的准确性,适用于各种数值范围的电荷密度测量,易于推广应用。
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公开(公告)号:CN114966244B
公开(公告)日:2024-09-24
申请号:CN202210518115.4
申请日:2022-05-12
申请人: 武汉大学
摘要: 本发明涉及输配电绝缘组件检测技术,具体涉及一种平移改变绝缘子的表面电荷反演方法,将绝缘子表面剖分为多个计算网格并设置单位模拟电荷,计算模拟电荷形成的表面电位分布,构建电位‑电荷转换矩阵;对转换矩阵进行迭代Lanczos双对角化,投影至低维子空间中,每一次迭代,对低维电位‑电荷转换矩阵进行奇异值分解,再利用自适应广义交叉验证法自适应求取最优正则化参数,计算表面电荷密度在该次迭代子空间中的Tikhonov正则化解;停止迭代后,对子空间中的正则化解进行数学变换,获得实际绝缘子表面电荷密度分布。该方法计算量较低精度高,提高了平移改变绝缘子的表面电荷反演精度和效率,从而提高直流气体绝缘设备的绝缘性能。
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公开(公告)号:CN118330331B
公开(公告)日:2024-09-20
申请号:CN202410757921.6
申请日:2024-06-13
申请人: 杭州高电科技有限公司
摘要: 本发明公开了一种高压电场测量和检测方法及系统,涉及电气技术领域,通过在检测工业设备高压电场前,确定工业设备对应的检测范围,有利于初步识别存在安全隐患的设备,为后续的安全性评估提供了筛选标准,通过确定需检测的工业设备,有利于将精力和资源集中在确保安全的设备上,提高了工作效率和安全性评估的准确性,通过设备安全性检查,有利于根据安全参数计算各工业设备的安全性评估系数,从而分析各设备的安全性是否符合要求,为后续的高压电场测量提供了安全性保障,高压电场测量过程能够直接得到各工业设备对应的测量参数,为后续的安全性评估和综合评估系数的计算提供了数据支持。
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公开(公告)号:CN118625001A
公开(公告)日:2024-09-10
申请号:CN202410817530.9
申请日:2024-06-24
申请人: 北京普惠实华科技有限公司
IPC分类号: G01R29/24
摘要: 本发明公开了一种物料接触型粉体静电监测器及检测方法,其中,包括法拉第筒和检测单元;所述检测单元与所述法拉第筒的外壁电连接;所述检测单元用于在检测时段内依次进行放电操作、测量干扰电荷及测量法拉第筒的总电荷;根据干扰电荷、干扰电荷的测量时间、总电荷及总电荷的测量时间计算所述法拉第筒的感应电荷。本发明能够解决物料接触法拉第筒产生的信号干扰,使测量结果更加准确。
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