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公开(公告)号：CN114823273A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202210494570.5
申请日：2022-05-07
Applicant: 合肥工业大学
IPC: H01J41/04
Abstract: 本发明公开了一种可用于强磁场环境测量下限较低的高灵敏度热阴极电离规，该热阴极电离规主要包括阴极灯丝、阳极栅、离子收集极和金属外壳；其中，阴极灯丝为螺旋粗灯丝结构，用于抵抗强磁场中的安培力；阳极栅为螺旋结构或笼状结构，其包括左阳极栅和右阳极栅，并以阴极灯丝为中心对称布置；离子收集极为金属细丝结构，其包括左离子收集极和右离子收集极；金属外壳为圆筒状结构，其电势为接地布置；阴极灯丝、阳极栅、离子收集极和金属外壳同轴布置，在磁场环境下工作时，设置电极轴线排布方向与磁场方向平行。与传统的用于强磁场环境的热阴极电离规相比，本发明可有效地增加阴极灯丝的使用寿命，提高电离规的灵敏度，其测量下限可延伸至10‑9Pa。
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公开(公告)号：CN101952703A
公开(公告)日：2011-01-19
申请号：CN200880126701.2
申请日：2008-12-17
Applicant: 布鲁克机械公司
Inventor： 葛拉多·A·布鲁克尔
Abstract: 一种离子计包括电子产生器阵列，所述电子产生器阵列包括微通道板，所述微通道板包括：所述微通道板的电子产生部分，其包含用于产生种子电子的源；和所述微通道板的电子倍增器部分，其回应于所述电子产生部分所产生的所述种子电子而倍增电子。所述离子计包括：离子化容积，在其中所述电子撞击气态物质；和收集电极，用于收集通过所述电子与所述气态物质之间的撞击形成的离子。所述收集电极可由阳极围绕，或所述离子计可形成有多个收集电极。电子源可提供自发的电子发射，其中电子被级联地倍增。
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公开(公告)号：CN101133308A
公开(公告)日：2008-02-27
申请号：CN200680007086.4
申请日：2006-03-01
Applicant: 英飞康有限责任公司
IPC: G01L21/30 , G01L21/32 , G01L21/34 , H01J1/30 , H01J1/304 , H01J41/00 , H01J41/02 , H01J41/04 , H01J41/06 , H01J41/08 , H01J41/10 , H01J19/00 , H01J19/02 , H01J19/04 , H01J19/10
CPC classification number: G01L21/32 , G01L21/12 , H01J1/3042 , H01J41/04
Abstract: 本发明提出一种发射电子的阴极(6)，它由装接到由不锈钢制成的侧壁(2)上的导电的发射层(7)和门(9)，将该门以很小的距离固定在发射层(7)的凹入的发射表面的内部。阴极(6)围绕着一个反应区域(3)，该反应区域包含一个圆柱形的筛网状的阳极(5)和一个位于中心的离子收集器(4)，该离子收集器包括一直的轴向细丝。电流计(11)测量反映在反应区域(3)中气体密度的离子收集器电流(IIC)，同时将门电压(VG)保持在发射层(7)的地电压与较高的阳极电压(VA)之间，并且调节门电压，其方式使得将阳极电流(IA)保持不变。发射层(7)可包括碳纳米管，金刚石状的碳，一种金属或一种金属混合物，或者一种半导体材料，半导体材料例如是可以比如用碳化物或钼涂布的硅。然而，发射表面也可是例如被化学刻蚀过程变粗糙的侧壁的内表面的一部分。门(9)可以是一种筛网，或者，它可以包括覆盖分布在发射区上的隔离器的金属薄膜小片或覆盖设置在发射表面上的电子可穿透层的一层金属薄膜。
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公开(公告)号：CN104661758B
公开(公告)日：2017-07-18
申请号：CN201380049984.6
申请日：2013-10-04
Applicant: 塞莫费雪科学(不来梅)有限公司
CPC classification number: H01J49/105 , B05B7/0075 , B05B15/60 , B05B15/65 , B05B17/0607 , G01N21/01 , G01N21/714 , G01N21/73 , G01N35/0099 , G01N35/1011 , H01J49/0409 , H01J49/0445
Abstract: 本发明提供一种改进谱法中的处理量的方法和设备，该方法包括以下步骤：将含样品的液体通过在液体注射装置中的第一出口装载到该液体注射装置中，并且将该含样品的液体的至少一些从该液体注射装置中以液滴的形式或以射流的形式喷射，该射流由于不稳定性随后破裂为液滴；其特征在于，该样品喷射是在这样的方向上通过该液体注射装置的第一出口，使得该含样品的流体进入焰炬的入口。
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公开(公告)号：CN101133308B
公开(公告)日：2011-08-03
申请号：CN200680007086.4
申请日：2006-03-01
Applicant: 英飞康有限责任公司
IPC: G01L21/30 , G01L21/32 , G01L21/34 , H01J1/30 , H01J1/304 , H01J41/00 , H01J41/02 , H01J41/04 , H01J41/06 , H01J41/08 , H01J41/10 , H01J19/00 , H01J19/02 , H01J19/04 , H01J19/10
CPC classification number: G01L21/32 , G01L21/12 , H01J1/3042 , H01J41/04
Abstract: 本发明提出一种发射电子的阴极(6)，它由装接到由不锈钢制成的侧壁(2)上的导电的发射层(7)和门(9)，将该门以很小的距离固定在发射层(7)的凹入的发射表面的内部。阴极(6)围绕着一个反应区域(3)，该反应区域包含一个圆柱形的筛网状的阳极(5)和一个位于中心的离子收集器(4)，该离子收集器包括一直的轴向细丝。电流计(11)测量反映在反应区域(3)中气体密度的离子收集器电流(IIC)，同时将门电压(VG)保持在发射层(7)的地电压与较高的阳极电压(VA)之间，并且调节门电压，其方式使得将阳极电流(IA)保持不变。发射层(7)可包括碳纳米管，金刚石状的碳，一种金属或一种金属混合物，或者一种半导体材料，半导体材料例如是可以比如用碳化物或钼涂布的硅。然而，发射表面也可是例如被化学刻蚀过程变粗糙的侧壁的内表面的一部分。门(9)可以是一种筛网，或者，它可以包括覆盖分布在发射区上的隔离器的金属薄膜小片或覆盖设置在发射表面上的电子可穿透层的一层金属薄膜。
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：CN118565701B
公开(公告)日：2024-11-29
申请号：CN202411034625.X
申请日：2024-07-31
Applicant: 湖南大学
Abstract: 本发明提供的复合真空计包括碳纳米管MEMS皮拉尼真空计和碳纳米管MEMS热阴极电离真空计以及控制系统：碳纳米管MEMS皮拉尼真空计包括衬底、碳纳米管和金属电极；碳纳米管MEMS热阴极电离真空计包括衬底、碳纳米管、金属电极、支撑结构一、栅极、支撑结构二和离子收集极；控制系统用于控制两种真空计的开启和关闭。本发明以悬空的碳纳米管作为加热元件，将MEMS皮拉尼真空计量程上限拓展至不低于105Pa量级；本发明以悬空的碳纳米管代替传统灯丝作为热电子发射源，结合MEMS工艺，实现了热阴极电离真空计的微型化，具备优秀的热电子发射性能。
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公开(公告)号：CN108831818A
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：CN201810678022.1
申请日：2018-06-27
Applicant: 江苏振华新云电子有限公司
IPC: H01J41/04
Abstract: 本发明提供一种电离规的保护装置，涉及电离规技术领域。电离规的保护装置包括：连接管路，连接管路包括第一连接端和第二连接端，第一连接端用于与被测真空度的设备连接，第二连接端用于与电离规连接。电磁阀门，电磁阀门设置于连接管路的靠近第二连接端的部分且能够控制连接管路的通断。传感器，传感器设置于连接管路的靠近第一连接端的部分。放大电路，传感器与电磁阀门通过放大电路电联接。电离规的保护装置用于热阴极电离真空计时，能在真空度波动时，切断设备真空腔体与热阴极电离规的连接，从而有效地保护热阴极电离规，提高热阴极电离规的使用寿命。
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公开(公告)号：CN107407611A
公开(公告)日：2017-11-28
申请号：CN201680013476.6
申请日：2016-02-10
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 本发明提供一种可减少从离子收集器表面释放的粒子的影响并无测量误差地测量出测量对象物的压力的三极管型电离真空计。三极管型电离真空计(IG)，具有灯丝(2)；配置在灯丝周围的具有筒状的轮廓的栅极(3)；以及在栅极周围同心配置的筒状的离子收集器(4)。离子收集器的母线方向的长度(L2)设定在栅极的母线方向的长度(L1)的6％～80％的范围内，省去离子收集器的母线方向的两端部的粒子释放区域。
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公开(公告)号：CN101990630B
公开(公告)日：2013-08-14
申请号：CN200980112555.2
申请日：2009-02-19
Applicant: 布鲁克机械公司
Inventor： 葛拉多·A··布鲁克尔
Abstract: 一种用以测量压力和减少溅射产量的电离计包括产生电子的至少一个电子源。所述电离计还包括收集由所述电子与气体分子之间的碰撞所形成的离子的集极电极。所述电离计还包括阳极。相对于集极电极的偏置电压的阳极偏置电压经配置以在预定压力下切换以使溅射碰撞的产量减小。
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