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公开(公告)号：CN110940456A
公开(公告)日：2020-03-31
申请号：CN201911265635.3
申请日：2019-12-11
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: G01L21/00
Abstract: 本发明提供一种具备可简便地设置、改变设定值的真空计的压力测量系统。本发明的压力测量系统(MS)具有：真空计和终端机(Mt)，所述真空计的主体安装在测量对象物上，所述主体内具有：传感器部(20)，其接收电源供给而工作；控制部(30)，其控制传感器部的工作，并处理来自该传感器部的输入，输出规定信号；以及电源电路部(40，50)，将电力供给到控制部和传感器部；所述终端机(Mt)，其可经通信线路(60)与控制部可自由通信地连接，并可通过有线或无线将电力供给到电源电路部。真空计可判断从终端机给该控制部的电力供给，当从终端机对控制部进行电力供给时，真空计的控制部和终端机经通信线路相互可自由通信地连接。
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公开(公告)号：CN107407611A
公开(公告)日：2017-11-28
申请号：CN201680013476.6
申请日：2016-02-10
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 本发明提供一种可减少从离子收集器表面释放的粒子的影响并无测量误差地测量出测量对象物的压力的三极管型电离真空计。三极管型电离真空计(IG)，具有灯丝(2)；配置在灯丝周围的具有筒状的轮廓的栅极(3)；以及在栅极周围同心配置的筒状的离子收集器(4)。离子收集器的母线方向的长度(L2)设定在栅极的母线方向的长度(L1)的6％～80％的范围内，省去离子收集器的母线方向的两端部的粒子释放区域。
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公开(公告)号：CN102782470A
公开(公告)日：2012-11-14
申请号：CN201180005038.2
申请日：2011-01-20
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 本发明的目的在于提供一种运行成本低的传感器型真空计，其不会损失节省空间、降低功耗和节约成本等功能，根据测量对象物可在多点进行压力测量。具有在真空室VC上装卸自如的本体（11），该本体（11）上一体组装有：传感器部（15、16、17）；第一检测设备（19）；提供压力测量所需电力的第一电源（E1）；以及控制第一电源的启动并且处理来自第一检测设备的输出进行压力测量的控制设备（C）。具有传感器部第二检测设备（2）可经由配线与本体连接，所述第二检测设备（2）能与第一检测设备分担真空室的变化的压力范围检测压力。在本体上，安装有对第二检测设备提供测量所需电力的第二电源（E2），将第二检测设备的输出导入给控制设备使压力测量能够进行。
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公开(公告)号：CN109238559B
公开(公告)日：2025-01-14
申请号：CN201810694986.5
申请日：2018-06-29
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 本发明提供一种能够正确地对测定对象物的内部的压力进行测定的三极管式电离真空计。本发明所涉及的三极管式电离真空计具有灯丝、栅网和离子收集极。所述栅网配置在所述灯丝的周围。所述离子收集极为筒状，配置在所述栅网的周围，并由300K时的热导率为173W/(m·K)以上的材料构成。
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公开(公告)号：CN106153246B
公开(公告)日：2019-08-30
申请号：CN201610301264.X
申请日：2016-05-09
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: G01L21/12
Abstract: 本发明提供一种所具有的结构可有效抑制由振动和冲击造成的细丝断裂的皮拉尼真空计。本发明的皮拉尼真空计具有设置在外壳(1)内的细丝(6)；保持外壳后侧的气密性的第一端子台(2)；彼此电绝缘并贯穿第一端子台的多个连接端子(31、32)；以及由任意一个连接端子支撑的、长边在前后方向上的第一细丝支撑件(5)。细丝安装在第一细丝支撑件的前端部与其它的连接端子之间。在第一端子台的前侧设置有第二端子台(4)，连接端子由贯穿第一端子台的第一部分(3a)、贯穿第二端子台的第二部分(3b)以及使第一部分和第二部分相互连接的第三部分(3c)构成。设置有将第二端子台和第一细丝支撑件保持在一起的第二细丝支撑件(7)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102374922B
公开(公告)日：2014-04-02
申请号：CN201110209125.1
申请日：2011-07-25
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 本发明提供一种低成本的传感器型真空计，能够用单一的本体根据测定对象物内的气体(成分)来正确测定压力，适用于要正确测定多个气体的装置。其包括在测定对象物上可自由拆装的本体(1)，该本体上一体化组装有传感器部(2、22)、提供测定压力所需的电力的电源部(E)，处理来自传感器部的输出并指示压力的控制部(C)。在该控制部上，按多种气体的每种分别存储有将所述输出对应于压力的校正表，设置有选择要测定的特定种类的气体的输入部，切换到与已选择的气体相对应的校正表并处理来自传感器部的输出及指示压力。
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公开(公告)号：CN102374922A
公开(公告)日：2012-03-14
申请号：CN201110209125.1
申请日：2011-07-25
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 本发明提供一种低成本的传感器型真空计，能够用单一的本体根据测定对象物内的气体(成分)来正确测定压力，适用于要正确测定多个气体的装置。其包括在测定对象物上可自由拆装的本体(1)，该本体上一体化组装有传感器部(2、22)、提供测定压力所需的电力的电源部(E)，处理来自传感器部的输出并指示压力的控制部(C)。在该控制部上，按多种气体的每种分别存储有将所述输出对应于压力的校正表，设置有选择要测定的特定种类的气体的输入部，切换到与已选择的气体相对应的校正表并处理来自传感器部的输出及指示压力。
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公开(公告)号：CN102138070B
公开(公告)日：2014-01-15
申请号：CN201080002481.X
申请日：2010-03-16
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 一种氧气的检测方法，准备栅极(102)、离子收集器(103)、以及在金属表面形成有氧化物的灯丝(101)，对流过所述灯丝(101)的灯丝电流进行控制，以使发射电流固定不变，通过由所述灯丝电流的通电而引起的发热，使热电子释放，从而使气体电离，产生离子，由所述离子收集器(103)捕捉所述离子，通过测量所述灯丝电流值，从而检测出存在于真空处理室内的氧气。
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公开(公告)号：CN102138070A
公开(公告)日：2011-07-27
申请号：CN201080002481.X
申请日：2010-03-16
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 一种氧气的检测方法，准备栅极(102)、离子收集器(103)、以及在金属表面形成有氧化物的灯丝(101)，对流过所述灯丝(101)的灯丝电流进行控制，以使发射电流固定不变，通过由所述灯丝电流的通电而引起的发热，使热电子释放，从而使气体电离，产生离子，由所述离子收集器(103)捕捉所述离子，通过测量所述灯丝电流值，从而检测出存在于真空处理室内的氧气。
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公开(公告)号：CN101680856A
公开(公告)日：2010-03-24
申请号：CN200880015797.5
申请日：2008-04-14
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: G01N27/62 , G01L21/30 , H01J41/10 , H01J49/0027
Abstract: 该质谱分析单元是包括对被测量气体的各质荷比的离子电流值进行检测并测量分压的质谱分析部的质谱分析单元，其进一步包括：控制部，预先保持使该质谱分析单元的特定部位的功能降低的特定气体的质荷比的记录；在通过所述质谱分析部检测出的所述特定气体的质荷比的离子电流值为规定值以上时，所述控制部输出表示所述特定部位功能降低的警告信号。
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