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公开(公告)号：CN103959032A
公开(公告)日：2014-07-30
申请号：CN201280043956.9
申请日：2012-08-02
Applicant: 英飞康有限责任公司
Inventor： B.安德雷奧斯
Abstract: 一种电离-真空测量单元包括：a)带有用于待测量的真空的测量接口(8)的可抽真空的壳体(10)；b)外部的第一电极和内部的第二电极(3,4)，其以共同地轴线(7)彼此同轴地且相间隔地布置，由此在这两个电极之间构造有测量室(20)，其与测量接口(8)连通；c)电压源(16)，其与电极(3,4)相连接；d)电流测量器件(17)，用于评估在电极(3,4)之间构造的放电电流；e)至少一个永磁体环(1)，其包围电极(3,4)的同轴组件，带有径向于轴线取向的磁化方向(13)且带有包围该永磁体环(1)的软磁轭(2)，其中，轭(2)在轴向上在两侧引导远离永磁体环(1)并且在与永磁体环(1)的预设的间距(d)之后在两侧上在径向上朝向轴线(7)和第一电极(3)来引导，这样使得轭(2)在两侧、与永磁体环(1)相间隔地构造两个环形的极(9a,b)，永磁体环(1)的场线的至少一部分经由其在测量室(20)内穿过电极(3)地闭合。
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公开(公告)号：CN102087949A
公开(公告)日：2011-06-08
申请号：CN201010618202.4
申请日：2010-12-31
Applicant: 清华大学 , 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
IPC: H01J41/06
CPC classification number: H01J41/06 , G01L21/34 , H01J2201/30469
Abstract: 本发明提供一种真空规管，其包括：一冷阴极，其包括一阴极发射单元和与所述阴极发射单元相对设置的一栅极；一屏蔽极，其包括一收容空间和两个端部，该屏蔽极的一端与所述冷阴极相对设置；一阳极环，该阳极环设置于所述屏蔽极的收容空间内；一收集极，其与所述屏蔽极的另一端相对设置；所述阴极发射单元包括至少一电子发射体，该所述电子发射体包括一碳纳米管管状结构，所述碳纳米管管状结构具有一中空的线状轴心，所述碳纳米管管状结构为多个碳纳米管围绕该中空的线状轴心组成，所述碳纳米管管状结构沿所述线状轴心的一端延伸出多个电子发射尖端。本发明提供的真空规管具有良好的灵敏度。
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公开(公告)号：CN101858812A
公开(公告)日：2010-10-13
申请号：CN201010144421.3
申请日：2010-04-09
Applicant: 佳能安内华股份有限公司
Abstract: 冷阴极电离真空计、真空处理设备和放电开始辅助电极。该冷阴极电离真空计无需使设备复杂化即使在长时间使用的情况下也能在短时间内触发放电。该冷阴极电离真空计具有如下结构：棒状阳极位于具有放电空间且一端被密封的测量元件容器(阴极)的内部，并且放电开始辅助电极被安装到该阳极。放电开始辅助电极通过在放电开始辅助电极板上形成碳纳米管层而在短时间内触发放电。
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公开(公告)号：CN105489465A
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201610022654.3
申请日：2016-01-14
Applicant: 成都国光电气股份有限公司
Inventor： 陈旗
Abstract: 本发明公开了一种真空规管，所述真空规管包括电阻规管、冷阴极电离规管、置于真空规管外侧的永磁组件、用以连接真空测量设备与真空规管的高压插座，所述真空规管还包括法兰组件、阳极组件；所述法兰组件包括刀口法兰和焊接于刀口法兰上的管体，所述管体设有安装电阻规管和阳极组件的腔室；所述阳极组件包括压板、已金属化的陶瓷件和焊接于陶瓷组件上的阳极杆，所述压板上设有用以焊接陶瓷组件的焊接槽和用以安装电阻规管、陶瓷组件的腔室；采用所述真空规管其测量范围可以达到105Pa-10-7Pa,拓展了冷阴极电离规管的测量上限。
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公开(公告)号：CN101138066A
公开(公告)日：2008-03-05
申请号：CN200680007372.0
申请日：2006-03-02
Applicant: 因菲康有限公司
IPC: H01J41/06
Abstract: 本发明涉及一种冷阴极压力传感器(10)，其包括：气密壳体(12)；测试气体入口(18)；设置在所述壳体(12)中的阳极(14)和阴极(16、17)；以及朝向所述阴极(16、17)以触发冷阴极放电的辐射源(20)。所述壳体(12)的至少一部分由玻璃制成。所述辐射源(20)设置在所述壳体(12)外并透过制成所述壳体的玻璃照射所述阴极(16、17)。来自所述辐射源(20)的射线的波长大体上处于从大于350nm到小于1400nm的范围内。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103094049B
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201110333503.7
申请日：2011-10-28
Applicant: 清华大学 , 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
CPC classification number: H01J41/06
Abstract: 本发明提供一种电离规，用于测量具有导体外壳的真空系统的真空度，该电离规包括阴极装置、阳极装置和离子收集装置，所述阴极装置与所述离子收集装置设置于所述阳极装置的两侧并与所述阳极装置间隔设置，所述阴极装置进一步包括电子发射体，所述电子发射体延伸向所述阳极装置并与所述阳极装置间隔设置，其特征在于，所述电子发射体包括至少一个碳纳米管线，所述电离规直接设置在待测真空系统的导体外壳中。
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公开(公告)号：CN102087949B
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：CN201010618202.4
申请日：2010-12-31
Applicant: 清华大学 , 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
IPC: H01J41/06
CPC classification number: H01J41/06 , G01L21/34 , H01J2201/30469
Abstract: 本发明提供一种真空规管，其包括：一冷阴极，其包括一阴极发射单元和与所述阴极发射单元相对设置的一栅极；一屏蔽极，其包括一收容空间和两个端部，该屏蔽极的一端与所述冷阴极相对设置；一阳极环，该阳极环设置于所述屏蔽极的收容空间内；一收集极，其与所述屏蔽极的另一端相对设置；所述阴极发射单元包括至少一电子发射体，该所述电子发射体包括一碳纳米管管状结构，所述碳纳米管管状结构具有一中空的线状轴心，所述碳纳米管管状结构为多个碳纳米管围绕该中空的线状轴心组成，所述碳纳米管管状结构沿所述线状轴心的一端延伸出多个电子发射尖端。本发明提供的真空规管具有良好的灵敏度。
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公开(公告)号：CN1965219A
公开(公告)日：2007-05-16
申请号：CN200580007960.X
申请日：2005-03-10
Applicant: 布鲁克斯自动化有限公司
Abstract: 一种用于将电子源与气体分子相隔离的电离真空计，所述的电离真空计包括用于产生电子的电子源，用于收集由于电子和气体分子的撞击而形成的离子的集电极，以及用于将电子源与气体分子相隔离的电子窗体。电离真空计能够带有限定极板空间的极板，以及可以将电子保留在极板区域内。电离真空计能够带有多个电子源和/或集电极。所述的集电极能够被安置在极板空间的内部或极板空间的外部。电离真空计能够带有质量过滤器，所述的质量过滤器用于基于质荷比分开离子。电离真空计可以是能够测量压力的Bayard－Alpert型或是能够测量气体类型的残余气体分析仪。
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公开(公告)号：CN107527786A
公开(公告)日：2017-12-29
申请号：CN201710739470.3
申请日：2017-08-22
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
IPC: H01J41/06
CPC classification number: H01J41/06
Abstract: 本发明公开了一种测量下限较低的碳纳米管阴极电离规。本发明通过采用阳极栅网顶部端面直接提取电子的方法，增大了发射电子的有效利用率，将碳纳米管阴极电离规的测量下限延伸至10-9Pa的极高真空范围。本发明包括笼状阳极栅网、离子收集极、电级基座以及固定在电级基座上的碳纳米管阴极，所述碳纳米管阴极与笼状阳极栅网的顶部端面相对，电级基座通过设置在基座两端的云母片固定在阳极栅网顶部端面的上方；阳极栅网的顶部端面为网状结构，利用网状结构的阳极栅网的顶部端面直接提取电子。
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公开(公告)号：CN103959032B
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201280043956.9
申请日：2012-08-02
Applicant: 英飞康有限责任公司
Inventor： B.安德雷奧斯
Abstract: 一种电离-真空测量单元包括：a)带有用于待测量的真空的测量接口(8)的可抽真空的壳体(10)；b)外部的第一电极和内部的第二电极(3,4)，其以共同地轴线(7)彼此同轴地且相间隔地布置，由此在这两个电极之间构造有测量室(20)，其与测量接口(8)连通；c)电压源(16)，其与电极(3,4)相连接；d)电流测量器件(17)，用于评估在电极(3,4)之间构造的放电电流；e)至少一个永磁体环(1)，其包围电极(3,4)的同轴组件，带有径向于轴线取向的磁化方向(13)且带有包围该永磁体环(1)的软磁轭(2)，其中，轭(2)在轴向上在两侧引导远离永磁体环(1)并且在与永磁体环(1)的预设的间距(d)之后在两侧上在径向上朝向轴线(7)和第一电极(3)来引导，这样使得轭(2)在两侧、与永磁体环(1)相间隔地构造两个环形的极(9a,b)，永磁体环(1)的场线的至少一部分经由其在测量室(20)内穿过电极(3)地闭合。
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