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公开(公告)号：CN118565701B
公开(公告)日：2024-11-29
申请号：CN202411034625.X
申请日：2024-07-31
Applicant: 湖南大学
Abstract: 本发明提供的复合真空计包括碳纳米管MEMS皮拉尼真空计和碳纳米管MEMS热阴极电离真空计以及控制系统：碳纳米管MEMS皮拉尼真空计包括衬底、碳纳米管和金属电极；碳纳米管MEMS热阴极电离真空计包括衬底、碳纳米管、金属电极、支撑结构一、栅极、支撑结构二和离子收集极；控制系统用于控制两种真空计的开启和关闭。本发明以悬空的碳纳米管作为加热元件，将MEMS皮拉尼真空计量程上限拓展至不低于105Pa量级；本发明以悬空的碳纳米管代替传统灯丝作为热电子发射源，结合MEMS工艺，实现了热阴极电离真空计的微型化，具备优秀的热电子发射性能。
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公开(公告)号：CN118565701A
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202411034625.X
申请日：2024-07-31
Applicant: 湖南大学
Abstract: 本发明提供的复合真空计包括碳纳米管MEMS皮拉尼真空计和碳纳米管MEMS热阴极电离真空计以及控制系统：碳纳米管MEMS皮拉尼真空计包括衬底、碳纳米管和金属电极；碳纳米管MEMS热阴极电离真空计包括衬底、碳纳米管、金属电极、支撑结构一、栅极、支撑结构二和离子收集极；控制系统用于控制两种真空计的开启和关闭。本发明以悬空的碳纳米管作为加热元件，将MEMS皮拉尼真空计量程上限拓展至不低于105Pa量级；本发明以悬空的碳纳米管代替传统灯丝作为热电子发射源，结合MEMS工艺，实现了热阴极电离真空计的微型化，具备优秀的热电子发射性能。
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