一种纳米分辨扫描探针及其制作方法

    公开(公告)号:CN118150865A

    公开(公告)日:2024-06-07

    申请号:CN202410398297.5

    申请日:2024-04-02

    Abstract: 本申请提供了一种纳米分辨扫描探针及其制作方法,涉及测量技术领域,包括探针基座、悬臂梁和探针针尖;所述探针基座临近于所述悬臂梁的第一端设置,所述探针针尖临近所述悬臂梁的第二端设置,所述第二端为所述悬臂梁的自由端;基于悬臂梁上对称设计的两个惠斯通电桥,如此能够在不影响其他参数的情况下通过信号叠加,提升信道带宽,提升检测的灵敏度,提升探针的分辨能力,还可以检测悬臂梁的扭转,拓展探针检测摩擦力的功能。此外本申请提供的制作方法生成探针针尖形成具有纳米级曲率半径和高深宽比的针尖,实现纳米级分辨率扫描,更加真实的反应样品表面形貌特征。

    一种石墨烯功能化硅基探针的制备方法

    公开(公告)号:CN114217097B

    公开(公告)日:2024-03-05

    申请号:CN202111401739.X

    申请日:2021-11-19

    Abstract: 本发明提供一种石墨烯功能化硅基探针的制备方法。本发明提出的石墨烯功能化硅基探针,采用离子液对探针样品进行碳化预处理,利用预先在探针表面镀上的碳层对硅基针尖进行保护,在石墨烯生长的高温淬火过程中,有效避免了金属镀层与硅基探针之间的反应,使得石墨烯成功在探针表面生长的同时,维持了探针针尖形貌,针尖表面平整,针尖直径保持纳米尺寸。本发明方法制备的石墨烯功能化硅基探针拥有优良的针尖锐利度、导电性能和抗氧化性。

    一种用于微纳米制造的自填料三臂式热扫描探针

    公开(公告)号:CN111812357B

    公开(公告)日:2021-05-25

    申请号:CN202010662491.1

    申请日:2020-07-10

    Applicant: 浙江大学

    Inventor: 胡欢 茅仁伟

    Abstract: 本发明公开了一种用于微纳米制造的自填料三臂式热扫描探针,该探针由三臂式悬臂梁、金属接触焊盘、打印用镍铬合金加热电极、输运用镍铬合金加热电极和聚合物存储区组成。本发明采用光刻、湿法刻蚀等常规微纳加工工艺制作得到。本发明利用加热电极的梯度密度设计,产生连续的温度梯度变化,从而实现打印料物从储存区到针尖区的持续性输运,实现自填料。本发明可以和CMOS工艺无缝集成,且打印出的材料可以通过CMOS工艺中常用的丙酮或者氧气等离子体彻底消除,没有沾污;而且采用本发明的微纳米加工方法只需要造价远远低于电子束光刻机或者极紫外光刻机的原子力显微镜,在常温下打印,具有成本低、使用简单的特点。

    一种基于原子力显微镜测定微纳尺度界面亲疏水性的方法

    公开(公告)号:CN111610346A

    公开(公告)日:2020-09-01

    申请号:CN202010377170.7

    申请日:2020-05-07

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于原子力显微镜测定微纳尺度界面亲疏水性的方法。测定方法如下:1)用不同比例的混合硫醇/乙醇溶液浸泡并修饰清洗后的镀金硅片,获得一系列不同亲疏水性的镀金硅片;2)测定不同表面亲疏水性镀金硅片表面的水接触角;3)用丙基三甲氧基硅烷修饰原子力显微镜的针尖,并用该针尖测定步骤2)得到的一系列镀金硅片表面的黏附力;4)通过拟合建立疏水作用引起的黏附力和代表界面亲疏水性的水接触角的关系;5)用修饰后的针尖测定未知界面的黏附力,并通过拟合的函数关系得到界面亲疏水性信息。本发明测定的空间分辨率高,克服了传统接触角只能测定宏观的亲疏水性的缺点,可应用于微纳尺度界面亲疏水性的表征测定。

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