一种基于聚苯乙烯微球有序纳米结构的偏振检测超表面

    公开(公告)号:CN118548990A

    公开(公告)日:2024-08-27

    申请号:CN202410724886.8

    申请日:2024-06-05

    摘要: 本发明公开了一种基于聚苯乙烯微球有序纳米结构的偏振检测超表面及其制作方法。其主要结构是由镀有银膜的载波片以及周期有序的聚苯乙烯微球所组成。采用离子束刻蚀法以任意角度、任意次数刻蚀未被PS微球掩膜的银。采用反应离子刻蚀法调整PS微球的大小,从而改变刻蚀银膜的范围。最后将PS微球层去除,形成图案,得到有序的纳米结构。通过光谱仪测量该纳米结构在不同偏振角度时的透射曲线,并在PC端建立生成的透射曲线库,所述的偏振检测超表面则通过样本测得的透射光谱与库中采集的数据进行一一比对,进而能够得出入射光的偏振角度。还可通过算法公式实现同一区域不同角度纳米结构的偏振检测,达到偏振态检测与调控的效果。本发明中基于聚苯乙烯微球的有序纳米结构能够实现长度、宽度、角度可调,制备方法简单,可重复性强,易实现批量化生产。