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公开(公告)号：CN119789590A
公开(公告)日：2025-04-08
申请号：CN202510274065.3
申请日：2025-03-10
Applicant: 浙江大学
IPC: H10F77/14 , H10F30/282 , H10F71/00
Abstract: 本发明公开了一种基于垂直硅纳米线的全环栅光伏场效应晶体管及其制备方法，所述光伏场效应晶体管以垂直的硅纳米线作为沟道，将横向宽度转换成纵向深度，更易实现大规模阵列中单个器件的物理隔离，同时大幅度提升光伏场效应晶体管的集成度。所述硅纳米线穿过二维材料薄膜，二维材料薄膜以原子层厚度全环绕包裹硅纳米线，形成环栅结构。该环栅结构依赖于二维材料优异的机械柔性和原子力显微镜球探针纳米级的无损修饰。借助原子力显微镜球探针界面处理技术，本发明提出了一种制备具有亚纳米尺寸栅极的晶体管的新方法，这种光伏晶体管结构不仅有效地抑制了短沟道效应，还显著提高了二维材料与硅基CMOS器件的高效集成能力。
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公开(公告)号：CN119385601A
公开(公告)日：2025-02-07
申请号：CN202411507731.5
申请日：2024-10-28
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了用于肩关节囊粘连手法松解治疗的声学检测装置及系统，涉及医学检测技术领域，包括麦克风阵列单元，阵列中的每一个麦克风包裹于柔性外壳中，多个柔性外壳之间连接柔性绑带形成环形阵列，微控制单元，将麦克风阵列单元输入的电压模拟信号转换成数字信号，传输至上位机单元；上位机单元，与微控制单元相连，输出基于肩关节及其周边组织活动异常区域的精准位置以及特异性的声音信号对应的临床症状分类识别结果。本发明能够在非侵入的条件下便捷、快速、有效地反馈给医生该患者是否存在异常撕裂、出现何种异常的预警信息、异常预警信息出现的具体位置，减少在治疗过程中对患者造成额外损伤，同时提升诊断治疗针对性与准确性。
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公开(公告)号：CN119024009A
公开(公告)日：2024-11-26
申请号：CN202411162853.5
申请日：2024-08-23
Applicant: 浙江大学
IPC: G01Q60/58
Abstract: 本发明公开了一种基于横向偏转的扫描焦耳热膨胀显微镜，涉及纳米测量技术领域，包括电源模块，用于调制样品表面热膨胀；原子力显微镜，用于扫描样品表面形貌与偏转信号；锁相放大器，根据已知频率信号解调出样品表面热膨胀信号进行表征。本发明能够降低对于纳米尺度热表征任务的设备需求，在基础的原子力显微镜系统上完成测量和分析任务，优化测量的分辨率和信噪比，在测量过程中提供可调灵敏度，同时获得平面内、平面外的热膨胀信号，更全面了解器件的热行为。
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公开(公告)号：CN116597404B
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN202310514947.3
申请日：2023-05-06
Applicant: 浙江大学
IPC: G06V20/56 , G06V10/764 , G06V20/40 , G06V10/82 , G06N3/0442 , G06N3/08
Abstract: 本发明公开了一种基于多源传感器融合的可持续道路异常检测方法，包括：在道路异常检测路段内，通过客户端在车辆行驶过程中采集加速度数据、GPS、时间戳和视频数据，上传至服务器；在服务器上进行数据预处理。对预处理得到的数据按视频帧的分辨率进行分类检测：当视频帧的分辨率大于预设的分辨率阈值时，将加速度数据和视频帧数据输入至第一道路异常检测网络进行预测，得到第一单车异常路面检测结果；当视频帧的分辨率小于预设的分辨率阈值时，将加速度数据输入至第二道路异常检测网络进行预测，得到第二单车异常路面检测结果；对单车异常路面检测结果基于OPTICS算法进行多车感知结果融合，得到异常路面检测结果。
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公开(公告)号：CN116613238A
公开(公告)日：2023-08-18
申请号：CN202310377541.5
申请日：2023-04-11
Applicant: 浙江大学
IPC: H01L31/108 , H01L31/0224 , H01L31/18 , G01J3/28
Abstract: 本发明涉及光谱检测技术领域，尤其涉及一种等离激元肖特基探测器及其制备方法和应用。本发明提供了一种等离激元肖特基探测器，包括表面含有硅柱阵列的硅片和沉积在所述表面含有硅柱阵列的硅片的表面的金属薄膜；所述表面含有硅柱阵列的硅片包括不同的区域，不同区域中金属薄膜的厚度、硅柱阵列的直径、高度和相邻两硅柱圆心之间的距离不同；相同区域中金属薄膜的厚度、硅柱阵列的直径、高度和相邻两硅柱圆心之间的距离相同；所述等离激元肖特基探测器的尺寸为0.5～100cm。所述等离激元肖特基探测器体积小，光谱分辨率高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116172564A
公开(公告)日：2023-05-30
申请号：CN202310222675.X
申请日：2023-03-09
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种用于肩周炎辅助治疗的包含集成采集手套的监测预警系统，包括集成采集手套，集成采集手套上根据手掌施力点设置有多组压力采集点，多组所述压力采集点上安装有多组压力传感器，集成采集手套的背面设有信号处理电路，多组压力传感器与信号处理电路之间均连接有柔性导线，信号处理电路连接有微处理器单元和电脑显示端,电脑显示端设有“开始/停止”功能按钮、施力数据显示区和提示施力状态的“安全”显示灯、“预警”显示灯、“危险”显示灯。本发明通过诊断过程中的安全施力范围记录和治疗过程中实时监测和预警，保证患者在麻醉状态下的治疗过程不会出现因施力不当而造成的术后损伤。
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公开(公告)号：CN116902910A
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202310608577.X
申请日：2023-05-27
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了硅纳米球探针制造高性能纳米线器件和界面提升方法，包括转移二维材料；对二维材料进行热退火，原子力显微镜接触模式扫描等；转移一维材料纳米线；原子力显微镜非接触模式定位纳米线位置；原子力显微镜控制模式旋转移动纳米线，使纳米线和二维材料特定区域接触；原子力显微镜力曲线模式依次扫描纳米线/二维材料接触区域；同时，该纳米球探针通过聚焦离子束仪器的高能氦离子束注入单晶硅表面，通过调节氦离子的注入电压、开关阀门的开启时间定量调控注入的离子剂量；本发明不会引入额外的污染物，并且可以定点、快速、精准处理材料表面，具有在纳米尺度的高度的可行性和可控性，对材料表面的损伤小，可以兼容于不同的器件制备工艺。
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公开(公告)号：CN113582129A
公开(公告)日：2021-11-02
申请号：CN202110850450.X
申请日：2021-07-27
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于金属辅助化学蚀刻方法的大高宽比探针，该探针由一体化制造的基底、悬臂梁和大高宽比针尖组成。本发明采用光刻、刻蚀等常规微纳加工工艺结合金属辅助的化学湿法刻蚀制作得到。本发明利用金属辅助化学蚀刻技术，对硅进行各向异性的湿法蚀刻，得到大高宽比的针尖，且制备的针尖拥有侧面光滑、横截面形状变化小的优势。本发明基于传统微加工工艺，引进了金属辅助化学蚀刻技术，相对RIE、ICP等深硅刻蚀技术，具备低成本、可控性强等优点。
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公开(公告)号：CN110482484A
公开(公告)日：2019-11-22
申请号：CN201910764303.3
申请日：2019-08-19
Applicant: 浙江大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明公开了一种低成本的基于应力剥离技术的微悬臂梁的制备方法，该方法包括两种实现方式：一种是先剥离后光刻，另一种是先光刻后剥离。本发明可以将基体材料用低成本材料取代，只有微悬臂梁是单晶硅材料，一次生产AFM探针悬臂所消耗的材料仅为针尖高度加上悬臂的厚度，约为20微米，剩余的硅晶体还可以抛光后继续使用，考虑到重新抛光所消耗的硅晶体约为80微米，一次生产仅消耗100微米的硅晶体；若采用传统方法，一块1mm厚的硅晶体仅能支持一次生产，而本发明可将材料使用率提高10倍，大大提高了单晶硅材料的使用率，降低了成本；本发明对块状微悬臂梁原材料的利用率高，成本低，仅使用了少量化学试剂用于刻蚀薄膜。
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公开(公告)号：CN116794852A
公开(公告)日：2023-09-22
申请号：CN202310697550.2
申请日：2023-06-13
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于超表面的全视场平面三维显示装置。本发明包括超表面、平面镜以及支撑结构；所述超表面由各向异性亚波长微纳结构组成，其可对正交偏振态实现独立的透射以及反射振幅和相位的调制；所述的平面反射镜由金属薄膜构成，其上面可增加透明材料进行保护；所述的支撑结构对制作材料没有限制，其主要负责固定反射镜以及设计超表面。本发明通过超表面对光波不同偏振态的自由调制能力，将被观测物体的三维信息投影到装置外，充分发挥了超表面平面化、轻薄化以及偏振可控的优势，为生物光子学中活体实时三维观测提供新的实现方案，为超表面在生物光子学中的应用开辟新的思路。
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