一种管型逼近和成像单元机械串联式扫描隧道显微镜镜体

    公开(公告)号:CN111289777B

    公开(公告)日:2025-04-11

    申请号:CN202010150750.2

    申请日:2020-02-20

    Abstract: 本发明一种管型逼近和成像单元机械串联式扫描隧道显微镜镜体,包括基座、滑杆、套管及弹簧片,其特征在于还包括第一压电管、第二压电管及探针支架,所述第一压电管一端固定在基座,另一端与第二压电管沿轴向串联固定,套管同心共轴固定于第二压电管形变自由端,弹簧片施加沿套管径向压力夹持滑杆于导轨内壁,滑杆滑动方向沿套管轴向,探针支架与第二压电管同心共轴设置,其一端固定在第一压电管与第二压电管串联连接位置。该发明镜体径向和轴向结构均高紧凑,第二压电管兼用于逼近可实现针样逼近步骤的低启动电压,同时保证扫描单元高刚性,主体采用绝缘材料制成,结构横断面无导电回路,特别适用于极低温、强/快变磁场、强震动的极端物理条件。

    一种具有三种信号通道采集功能的扫描探针传感器

    公开(公告)号:CN117607498A

    公开(公告)日:2024-02-27

    申请号:CN202311535204.0

    申请日:2023-11-17

    Abstract: 本发明涉及一种具有三种信号通道采集功能的扫描探针传感器,属于材料分析测试仪器领域。包括陶瓷底座、石英音叉和探针;陶瓷底座为绝缘材料,一侧顶面设有向上凸起的两极台阶;石英音叉具有对称等价的上臂和下臂,且固定在两极台阶处的陶瓷底座上;纯银的探针固定在上臂的绝缘端,针杆底部连接着纯银的隧穿电流线,探针的针尖对微弱隧穿电流的收集,即实现对被测材料表面电学性质进行检测的扫描隧道显微镜功能;针尖的圆锥型尖端用于在激光的照射下产生纳腔等离激元,实现对被测材料表面化学成分进行检测的针尖增强拉曼光谱功能;据原子力显微镜针尖工作稳定性,实现以高达45pN的力学分辨率对被测材料表面结构进行检测的原子力显微镜功能。

    设备对准方法、装置、终端设备及介质

    公开(公告)号:CN117074725A

    公开(公告)日:2023-11-17

    申请号:CN202311062282.3

    申请日:2023-08-22

    Abstract: 本发明公开了一种设备对准方法、装置、终端设备及介质,该方法包括:控制激光器对标准样品的特征边缘范围进行扫描,得到所述标准样品在激光聚焦光斑处的第一特征位置形貌图像;控制探针对所述特征边缘范围进行扫描,得到所述标准样品的第二特征位置形貌图像;根据所述第一特征位置形貌图像和所述第二特征位置形貌图像,获取激光聚焦光斑和探针针尖之间的位置偏差,并根据所述位置偏差,对所述激光聚焦光斑和所述探针针尖进行对准。本发明能够实现激光聚焦光斑与针尖的精确对准。

    一种高速扫描隧穿显微镜测绝缘样品膜厚形貌缺陷的方法

    公开(公告)号:CN106970246B

    公开(公告)日:2023-03-14

    申请号:CN201710074930.5

    申请日:2017-02-13

    Inventor: 李全锋

    Abstract: 本发明公开了一种高速扫描隧穿显微镜测绝缘样品膜厚形貌缺陷的方法,包括恒高模式扫描隧道显微镜系统及位于该恒高模式扫描隧道显微镜系统导电电极与导电针尖之间的电介质样品,当电介质样品的介电常数大于电介质样品与针尖间辅助电介质的介电常数、且所述的导电针尖与电介质样品间的相对扫描速度v≥2.26×1010ir(h+d)/(Ubεrr)、扫描隧道显微镜前置放大电路带宽fB≥v/20r=1.13×109ir(h+d)/(Ubεrr2)时,则电介质样品的膜厚、表面形貌、膜内损伤及电介质样品与导电电极间界面的结合特性能够被方便快捷地探测出来。

    一种Ni与SiC接触界面性质的表征方法

    公开(公告)号:CN115219740A

    公开(公告)日:2022-10-21

    申请号:CN202210969461.4

    申请日:2022-08-12

    Abstract: 本发明涉及碳化硅技术领域,具体为一种Ni与SiC接触界面性质的表征方法。通过将所述Ni/SiC层放入真空制备腔中进行加热,模拟导致Ni/SiC层发生失灵的温度;再将所述Ni/SiC层断开形成断面后,使用所述扫描探针显微镜的探针对所述接触界面区域进行表征。实现了对Ni与SiC界面性质的表征,可以获得Ni与SiC界面处及界面附近的形貌图,并可以实现对其电学性质进行测量。解决了扫描探针显微镜无法表征界面性质的难题,同时也可以在微观水平上观察Ni与SiC界面处的性质随温度的变化,对理解金属半导体接触具有重要的指导意义。

    用于蚀刻扫描隧道显微镜针尖的装置和方法

    公开(公告)号:CN107515316B

    公开(公告)日:2019-09-03

    申请号:CN201610427573.1

    申请日:2016-06-16

    Abstract: 本发明涉及用于蚀刻扫描隧道显微镜针尖的装置和方法。一种用于蚀刻扫描隧道显微镜针尖的装置包括:电路模块,包括电路单元和数据采集卡,电路单元包括P型晶体管和N型晶体管,P型晶体管的源极接收来自数据采集卡的第一输出端子的电源电压,P型晶体管的漏极连接到N型晶体管的漏极和待蚀刻的针尖,P型晶体管的栅极连接到N型晶体管的栅极,N型晶体管的源极连接到地电势,电路单元还包括比较器,比较器的正极输入接收来自数据采集卡的第二输出端子的参考电压,比较器的负极输入接收来自阴极电极的蚀刻电压,比较器的输出被提供给P型晶体管和N型晶体管二者的栅极;以及控制模块,其连接到数据采集卡以控制数据采集卡的各个输出。

    一种扫描探针显微镜中的探针、其制备方法及探测方法

    公开(公告)号:CN105510639B

    公开(公告)日:2018-10-19

    申请号:CN201410494757.0

    申请日:2014-09-24

    Abstract: 本发明提供了一种扫描探针显微镜中的探针。该探针由探针臂与针尖组成,针尖由针尖本体,以及依次位于针尖本体表面的薄膜一、薄膜二、薄膜三组成;薄膜一具有导电性;薄膜二具有电绝缘性;薄膜三具有磁性与导电性,或者薄膜三具有导电性;薄膜一与薄膜三的材料不同,并且薄膜一、薄膜二和薄膜三构成热电偶结构。利用该探针能够对多功能材料的磁、电、热多参量进行原位表征,从而能够原位、直观地研究材料的电‑热、磁‑热,以及磁‑电‑热之间的耦合规律与机制。

    一种扫描隧道显微镜针尖制备装置及其制备方法

    公开(公告)号:CN107045074A

    公开(公告)日:2017-08-15

    申请号:CN201710370403.9

    申请日:2017-05-23

    Applicant: 清华大学

    Inventor: 张敬涵 孙文博

    Abstract: 本发明涉及扫描隧道显微镜领域,尤其涉及一种扫描隧道显微镜针尖制备装置及其制备方法。包括探针塔、溶液槽、溶液塔和可测定行进距离的驱动部件,所述驱动部件与所述探针塔连接,所述溶液槽设置在所述探针塔下方,待腐蚀银丝一端固定设置在所述探针塔上,所述待腐蚀银丝另一端可解除插设在所述溶液塔内,所述探针塔内部设置有定值电阻,所述定值电阻与待腐蚀银丝连接,所述定值电阻并联设置有微控板。驱动部件驱动探针塔向溶液塔移动,微控板检测定值电阻的电压不等于0时,驱动部件停止行进,探针塔做往复伸缩,待腐蚀银丝进行腐蚀,微控板检测定值电阻的电压小于等于最小电压值时,溶液塔和探针塔停止工作,驱动部件退回,腐蚀结束。

Patent Agency Ranking