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公开(公告)号：CN101013649B
公开(公告)日：2010-09-29
申请号：CN200710007999.2
申请日：2007-02-01
Applicant: FEI公司
CPC classification number: H01J37/18 , H01J37/301 , H01J37/3056 , H01J2237/182 , H01J2237/2608 , H01J2237/28
Abstract: 本发明涉及一种具有预定的最终压力的粒子光学仪器，为此，该仪器的真空室通过第一节气阀与一个装有处在已知压力下的气体或蒸气的容器相连接，并通过第二节气阀与真空泵相连接。通过调节与上述的节气阀相关的两个电导率的比率(校准比率)使真空泵的压力达到预定的最终压力。这样，就不需要设置例如真空测量仪和控制装置，从而使该仪器的结构更为紧凑。
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公开(公告)号：CN104364873A
公开(公告)日：2015-02-18
申请号：CN201380030692.8
申请日：2013-06-11
Applicant: 诺伊维翁有限责任公司
Inventor： L·斯科多普洛娃
IPC: H01J3/02 , H01J37/077 , H01J37/34 , H01J37/32
CPC classification number: H01J37/3244 , C23C14/34 , H01J37/077 , H01J37/18 , H01J37/301 , H01J37/3053 , H01J37/315 , H01J37/34 , H01J2237/3137
Abstract: 一种用于生成等离子体并且用于使电子束指向靶(3)的设备(2；2'；2″；2IV；2V；2VI；2VII；2VIII)；该设备(2；2'；2″；2IV；2V；2VI；2VII；2VIII)包括中空元件(5)；激活组(21)，其被设计为以使电子束指向与中空元件分离的另一元件的方式在中空元件(5)和所述分离元件之间施加电势差；以及具有至少一个渐细部分(13)的拉伐尔喷嘴(23)，该渐细部分朝着所述分离元件逐渐变细并且被设计为朝着所述分离元件使气体流加速。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104364873B
公开(公告)日：2017-06-13
申请号：CN201380030692.8
申请日：2013-06-11
Applicant: 诺伊维翁有限责任公司
Inventor： L·斯科多普洛娃
IPC: H01J3/02 , H01J37/077 , H01J37/34 , H01J37/32
CPC classification number: H01J37/3244 , C23C14/34 , H01J37/077 , H01J37/18 , H01J37/301 , H01J37/3053 , H01J37/315 , H01J37/34 , H01J2237/3137
Abstract: 一种用于生成等离子体并且用于使电子束指向靶(3)的设备(2；2'；2″；2IV；2V；2VI；2VII；2VIII)；该设备(2；2'；2″；2IV；2V；2VI；2VII；2VIII)包括中空元件(5)；激活组(21)，其被设计为以使电子束指向与中空元件分离的另一元件的方式在中空元件(5)和所述分离元件之间施加电势差；以及具有至少一个渐细部分(13)的拉伐尔喷嘴(23)，该渐细部分朝着所述分离元件逐渐变细并且被设计为朝着所述分离元件使气体流加速。
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公开(公告)号：CN1321973A
公开(公告)日：2001-11-14
申请号：CN01116803.X
申请日：2001-03-02
Applicant: 索尼株式会社
IPC: G11B9/10
CPC classification number: G11B7/261 , G11B23/0057 , H01J37/301 , H01J2237/188
Abstract: 提供一种电子束照射装置、电子束照射方法、原版盘、压模和记录媒体,其能够有效地避免电子束的散射并避免提供大规模的真空室。电子束照射装置包括:支持受电子束照射体(3)的支持部分(4);经微小间隔与电子束照射体相对的电子束照射头(6),电子束照射头具有电子束发射孔(5)。在电子束照射头中提供与电子束发射孔(5)相通的电子束路径(20),此外,围绕电子束发射孔形成一个或多个从面对电子束照射体的电子束照射头的表面开口的环形吸气槽(61)和(62)。真空泵连接于电子束路径和环形吸气槽,把电子束路径维持在高真空状态。
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公开(公告)号：CN101013649A
公开(公告)日：2007-08-08
申请号：CN200710007999.2
申请日：2007-02-01
Applicant: FEI公司
CPC classification number: H01J37/18 , H01J37/301 , H01J37/3056 , H01J2237/182 , H01J2237/2608 , H01J2237/28
Abstract: 本发明涉及一种具有预定的最终压力的粒子光学仪器，为此，该仪器的真空室通过第一节气阀与一个装有处在已知压力下的气体或蒸气的容器相连接，并通过第二节气阀与真空泵相连接。通过调节与上述的节气阀相关的两个电导率的比率(校准比率)使真空泵的压力达到预定的最终压力。这样，就不需要设置例如真空测量仪和控制装置，从而使该仪器的结构更为紧凑。
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公开(公告)号：CN1205646C
公开(公告)日：2005-06-08
申请号：CN98809482.7
申请日：1998-09-24
Applicant: 焊接研究院
Inventor： 阿伦·桑德森
IPC: H01J37/063 , H01J37/065 , H01J37/075 , H01J37/301
CPC classification number: H01J37/075 , H01J37/063 , H01J37/065 , H01J37/301 , H01J2237/3104
Abstract: 一种带电粒子发射组件具有：一个发射件(5)用来发射一种极性的带电粒子；一个沿圆周环绕发射件的管状屏蔽电极(6)，并在使用时保持与带电粒子相同的极性；和一个基本上与屏蔽电极(6)同轴的加速电极(7)，并在使用时保持与屏蔽电极相反的极性。这样配置能使从发射件(5)发射的带电粒子在初时沿侧向向外扩散，然后被聚焦成能通过管状加速电极(7)的电子束。
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公开(公告)号：CN1271460A
公开(公告)日：2000-10-25
申请号：CN98809482.7
申请日：1998-09-24
Applicant: 焊接研究院
Inventor： 阿伦·桑德森
IPC: H01J37/063 , H01J37/065 , H01J37/075 , H01J37/301
CPC classification number: H01J37/075 , H01J37/063 , H01J37/065 , H01J37/301 , H01J2237/3104
Abstract: 一种带电粒子发射组件具有:一个发射件(5)用来发射一种极性的带电粒子;一个沿圆周环绕发射件的管状屏蔽电极(6),并在使用时保持与带电粒子相同的极性;和一个基本上与屏蔽电极(6)同轴的加速电极(7),并在使用时保持与屏蔽电极相反的极性。这样配置能使从发射件(5)发射的带电粒子在初时沿侧向向外扩散,然后被聚焦成能通过管状加速电极(7)的电子束。
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