公开(公告)号：CN104364873B

公开(公告)日：2017-06-13

申请号：CN201380030692.8

申请日：2013-06-11

Applicant: 诺伊维翁有限责任公司

Inventor： L·斯科多普洛娃

IPC: H01J3/02 ,  H01J37/077 ,  H01J37/34 ,  H01J37/32

CPC classification number: H01J37/3244 ,  C23C14/34 ,  H01J37/077 ,  H01J37/18 ,  H01J37/301 ,  H01J37/3053 ,  H01J37/315 ,  H01J37/34 ,  H01J2237/3137

Abstract: 一种用于生成等离子体并且用于使电子束指向靶(3)的设备(2；2'；2″；2IV；2V；2VI；2VII；2VIII)；该设备(2；2'；2″；2IV；2V；2VI；2VII；2VIII)包括中空元件(5)；激活组(21)，其被设计为以使电子束指向与中空元件分离的另一元件的方式在中空元件(5)和所述分离元件之间施加电势差；以及具有至少一个渐细部分(13)的拉伐尔喷嘴(23)，该渐细部分朝着所述分离元件逐渐变细并且被设计为朝着所述分离元件使气体流加速。

公开(公告)号：CN104364873A

公开(公告)日：2015-02-18

申请号：CN201380030692.8

申请日：2013-06-11

Applicant: 诺伊维翁有限责任公司

Inventor： L·斯科多普洛娃

IPC: H01J3/02 ,  H01J37/077 ,  H01J37/34 ,  H01J37/32

CPC classification number: H01J37/3244 ,  C23C14/34 ,  H01J37/077 ,  H01J37/18 ,  H01J37/301 ,  H01J37/3053 ,  H01J37/315 ,  H01J37/34 ,  H01J2237/3137

Abstract: 一种用于生成等离子体并且用于使电子束指向靶(3)的设备(2；2'；2″；2IV；2V；2VI；2VII；2VIII)；该设备(2；2'；2″；2IV；2V；2VI；2VII；2VIII)包括中空元件(5)；激活组(21)，其被设计为以使电子束指向与中空元件分离的另一元件的方式在中空元件(5)和所述分离元件之间施加电势差；以及具有至少一个渐细部分(13)的拉伐尔喷嘴(23)，该渐细部分朝着所述分离元件逐渐变细并且被设计为朝着所述分离元件使气体流加速。