公开(公告)号：CN101540251B

公开(公告)日：2012-03-28

申请号：CN200810066123.X

申请日：2008-03-19

Applicant: 清华大学 ,  鸿富锦精密工业(深圳)有限公司

Inventor： 魏洋 ,  刘亮 ,  范守善

IPC: H01J1/304

CPC classification number: H01J1/304 ,  H01J2201/30415 ,  H01J2201/30434 ,  H01J2201/30469

Abstract: 一种场发射电子源，其包括一导电基体和一碳纳米管针尖。该碳纳米管针尖具有一第一端以及与第一端相对的第二端，该碳纳米管针尖的第二端的直径沿远离第一端的方向逐渐减小，该碳纳米管针尖的第一端与该导电基体2电连接，该碳纳米管针尖的第二端的顶部为一根突出的碳纳米管。

公开(公告)号：CN102842474A

公开(公告)日：2012-12-26

申请号：CN201110175692.X

申请日：2011-06-22

Applicant: 中国电子科技集团公司第三十八研究所

Inventor： 刘华荣

IPC: H01J9/02 ,  H01J37/08 ,  H01J37/06

CPC classification number: C23F4/02 ,  B82Y99/00 ,  H01J1/00 ,  H01J1/3044 ,  H01J9/025 ,  H01J27/26 ,  H01J37/04 ,  H01J37/06 ,  H01J37/073 ,  H01J37/08 ,  H01J2201/30415 ,  H01J2237/0807

Abstract: 本发明提供了一种用于制造粒子源的方法，包括：将金属丝置于真空环境中并通入活性气体和催化气体，对金属丝的温度进行调节，并对金属丝施加正高压V，使得金属丝表面的活性气体离解，在金属丝头部侧面产生刻蚀带，在该刻蚀带内发生场致刻蚀；场致刻蚀使得金属丝头部顶端处表面电场增强，直到大于金属丝材料的场致蒸发电场，使得此处的金属原子被蒸发出去；在场致刻蚀触发了场致蒸发之后，场致刻蚀和场致蒸发这两种机制相互调节直到金属丝头部形状变成了由底座和底座上的针尖组成，其中场致刻蚀发生在侧面，形成了底座，而场致蒸发发生在顶端，形成了针尖；以及当获得具有预定形状的金属丝头部时，停止场致刻蚀和场致蒸发。

公开(公告)号：CN102842474B

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201110175692.X

申请日：2011-06-22

Applicant: 中国电子科技集团公司第三十八研究所

Inventor： 刘华荣

IPC: H01J9/02 ,  H01J37/08 ,  H01J37/06

CPC classification number: C23F4/02 ,  B82Y99/00 ,  H01J1/00 ,  H01J1/3044 ,  H01J9/025 ,  H01J27/26 ,  H01J37/04 ,  H01J37/06 ,  H01J37/073 ,  H01J37/08 ,  H01J2201/30415 ,  H01J2237/0807

Abstract: 本发明提供了一种用于制造粒子源的方法，包括：将金属丝置于真空环境中并通入活性气体和催化气体，对金属丝的温度进行调节，并对金属丝施加正高压V，使得金属丝表面的活性气体离解，在金属丝头部侧面产生刻蚀带，在该刻蚀带内发生场致刻蚀；场致刻蚀使得金属丝头部顶端处表面电场增强，直到大于金属丝材料的场致蒸发电场，使得此处的金属原子被蒸发出去；在场致刻蚀触发了场致蒸发之后，场致刻蚀和场致蒸发这两种机制相互调节直到金属丝头部形状变成了由底座和底座上的针尖组成，其中场致刻蚀发生在侧面，形成了底座，而场致蒸发发生在顶端，形成了针尖；以及当获得具有预定形状的金属丝头部时，停止场致刻蚀和场致蒸发。

公开(公告)号：CN104347335A

公开(公告)日：2015-02-11

申请号：CN201410389960.1

申请日：2014-08-08

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 小堺智一 ,  松田修 ,  杉山安彦 ,  相田和男 ,  荒卷文朗 ,  八坂行人 ,  大庭弘

IPC: H01J37/02 ,  H01J37/073

CPC classification number: H01J1/3044 ,  G01Q60/10 ,  G01Q60/16 ,  G01Q60/24 ,  G01Q70/08 ,  G01Q70/16 ,  H01J1/3048 ,  H01J37/073 ,  H01J37/08 ,  H01J37/21 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3002 ,  H01J2201/30415 ,  H01J2201/30496 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/006

Abstract: 本发明提供铱针尖、及使用铱针尖的离子源、电子源、显微镜和装置。本发明能够位置再现性良好地制作形成于铱针尖的前端部的前端为1个原子的角锥结构，既能够使得杂质不易附着，又能够长时间保持前端的1个原子。铱针尖在锐化的＜210＞方位的单晶的前端部具有角锥结构，该角锥结构的前端仅通过{210}方位的1个铱原子形成，该铱原子由1个{100}结晶面和2个{111}结晶面包围。将形成角锥结构的前端的1个铱原子作为第1层，第1层的正下方的第2层具有位于三角形的顶点的3个铱原子，第2层的正下方的第3层具有位于三角形的顶点和边的6个铱原子。

公开(公告)号：CN104347335B

公开(公告)日：2017-11-10

申请号：CN201410389960.1

申请日：2014-08-08

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 小堺智一 ,  松田修 ,  杉山安彦 ,  相田和男 ,  荒卷文朗 ,  八坂行人 ,  大庭弘

IPC: H01J37/02 ,  H01J37/073

CPC classification number: H01J1/3044 ,  G01Q60/10 ,  G01Q60/16 ,  G01Q60/24 ,  G01Q70/08 ,  G01Q70/16 ,  H01J1/3048 ,  H01J37/073 ,  H01J37/08 ,  H01J37/21 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3002 ,  H01J2201/30415 ,  H01J2201/30496 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/006

Abstract: 本发明提供铱针尖、及使用铱针尖的离子源、电子源、显微镜和装置。本发明能够位置再现性良好地制作形成于铱针尖的前端部的前端为1个原子的角锥结构，既能够使得杂质不易附着，又能够长时间保持前端的1个原子。铱针尖在锐化的＜210＞方位的单晶的前端部具有角锥结构，该角锥结构的前端仅通过{210}方位的1个铱原子形成，该铱原子由1个{100}结晶面和2个{111}结晶面包围。将形成角锥结构的前端的1个铱原子作为第1层，第1层的正下方的第2层具有位于三角形的顶点的3个铱原子，第2层的正下方的第3层具有位于三角形的顶点和边的6个铱原子。

公开(公告)号：CN101540251A

公开(公告)日：2009-09-23

申请号：CN200810066123.X

申请日：2008-03-19

Applicant: 清华大学 ,  鸿富锦精密工业(深圳)有限公司

Inventor： 魏洋 ,  刘亮 ,  范守善

IPC: H01J1/304

CPC classification number: H01J1/304 ,  H01J2201/30415 ,  H01J2201/30434 ,  H01J2201/30469

Abstract: 一种场发射电子源，其包括一导电基体和一碳纳米管针尖。该碳纳米管针尖具有一第一端以及与第一端相对的第二端，该碳纳米管针尖的第一端与该导电基体电连接，该碳纳米管针尖的第二端的顶部为一根突出的碳纳米管。