一种多晶硅生产尾气中痕量硅烷的检测装置及检测方法

    公开(公告)号:CN108318592A

    公开(公告)日:2018-07-24

    申请号:CN201810006973.4

    申请日:2018-01-04

    IPC分类号: G01N30/02 G01N30/20

    摘要: 本发明提供一种多晶硅生产尾气中痕量硅烷的检测装置及检测方法,属于多晶硅生产检测技术领域。检测装置的进样口、第一色谱柱、第二色谱柱和检测器依次连通,控制阀设置于第一色谱柱和第二色谱柱之间用于控制第一色谱柱和第二色谱柱的连通与断开。检测方法是以定量的多晶硅生产尾气先从进样口通入第一色谱柱,当检测器检测到硅烷峰出完以后,调节控制阀使第一色谱柱与第二色谱柱之间断开,将硅烷峰与标准硅烷峰对比,计算得到多晶硅生产尾气中痕量硅烷的量。使用上述检测装置的检测方法的检测结果更加准确,排除了尾气中的其他杂质气体,如:氯化氢、氯硅烷等,避免杂质气体进入检测器,使硅烷的检测更加准确、可靠、重复性好。

    一种具有自清洗功能的气相色谱自动进样针

    公开(公告)号:CN107941975A

    公开(公告)日:2018-04-20

    申请号:CN201711132849.4

    申请日:2017-11-15

    IPC分类号: G01N30/20

    CPC分类号: G01N30/20 G01N2030/205

    摘要: 本发明公开了一种具有自清洗功能的气相色谱自动进样针,包括推杆(1)、自清洗功能环(2)和针主体(3),其中自清洗功能环(2)连接于针主体(3)的上端,其内部具有空腔并且上端有可开启的挡板(4),内部空腔中致密填充经过二甲基亚砜浸泡处理后的脱脂棉并由二甲基亚砜浸润,推杆(1)通过导孔(5)穿过自清洗功能环(2)进入针主体(3)中。本发明采用自清洗功能环(2)的设计使得推杆(1)在进样过程中得到二甲基亚砜的清洗,解决了针主体(3)内部顶端沉积有机杂质的问题,从而具有了自动清洗功能,同时可消除对进样溶液的污染、以及有机物沉淀粘着和堵塞而造成的推杆压坏等现象,有效减少进样针的维护和简化维护操作。

    自动取样组件和三维自动取样系统

    公开(公告)号:CN107402273A

    公开(公告)日:2017-11-28

    申请号:CN201710742150.3

    申请日:2017-08-25

    发明人: 辛二鹏

    IPC分类号: G01N30/20 G01N30/24

    摘要: 一种自动取样组件,安装在自动取样系统的一个取样组件固定部上,自动取样组件包括:一个拉簧固定板、两个拉簧、一个导轨、一个滑块、一个连接块、一个压瓶块、一个取样针座,连接块与取样组件固定部固定连接,在连接块上分别固定有滑块和取样针座;导轨穿设于滑块上,使导轨与滑块组成滑动结构;导轨的上端固定有所述拉簧固定板,导轨的下端固定有所述压瓶块;两个拉簧分别设置在导轨的两侧,并安装在拉簧固定板和连接块之间,且在拉簧固定板和连接块的作用下处于被拉伸状态;取样针座上固定有取样针。本发明的自动取样组件可以快速、合理的压住样品瓶、实现取样,且取样针可以快速的脱离样品瓶。

    自动进样器及液相色谱仪

    公开(公告)号:CN105987975B

    公开(公告)日:2017-11-28

    申请号:CN201610041484.3

    申请日:2016-01-21

    发明人: 藤田高彬

    IPC分类号: G01N30/24

    摘要: 本发明涉及一种自动进样器及液相色谱仪。一实施方式的自动进样器包括:在顶端具有可动的针的进样流路;以及切换阀,其具有多个端口,通过使转子旋转以切换该转子的位置,由此切换各端口间的连接状态。切换阀的转子具有使送液端口与进样端口之间连通并且使注射端口与分析端口之间连通的注射位置、使送液端口与进样端口之间连通并且使注射端口与排出端口之间连通的清洗位置、及使送液端口与分析端口之间连通的装载位置。

    具有可选择性地切换的存储路径的流控阀

    公开(公告)号:CN104395748B

    公开(公告)日:2017-09-15

    申请号:CN201280074316.4

    申请日:2012-06-26

    IPC分类号: G01N30/20 B01D15/18 G01N30/46

    摘要: 一种样品分离装置(100,200),用于分离流控样品(104),所述样品分离装置(100,200)包括:第一分离单元(102),用于分离所述流控样品(104);第一流体驱动部(106),其配置用于生成流体流量,以用于传导待通过所述第一分离单元(102)分离的所述流控样品(104);第二分离单元(110),其布置在所述第一分离单元(102)的下游,用于在所述第一分离单元(102)的处理之后进一步分离所述流控样品(104);第二流体驱动部(112),其配置用于生成流体流量,以用于在所述第一分离单元(102)的处理之后传导所述流控样品(104)或至少其一部分通过所述第二分离单元(110);流控阀(114),其具有以流控方式耦接到所述第一流体驱动部(106)和所述第二流体驱动部(112)之一的第一入口(116);所述流控阀(114)具有以流控方式耦接到所述第一流体驱动部(106)和所述第二流体驱动部(112)中的另一个的第二入口(118);所述流控阀(114)包括至少两个不同存储路径集合(131,133),其中,每个存储路径集合包括第一存储路径(128);并且其中,所述至少两个存储路径集合中的第一集合(132)中的所述第一存储路径(128)具有第一容积,所述至少两个存储路径集合中的第二集合(133)中的所述第一存储路径(132)具有与所述第一容积不同的第二容积;所述流控阀(114)配置用于选择性地将所述至少两个存储路径集合中的一个集合切换到所述第一入口(116)和所述第二入口(118)。

    大气在线监测仪
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107121513A

    公开(公告)日:2017-09-01

    申请号:CN201710493593.3

    申请日:2017-06-26

    申请人: 杨超

    IPC分类号: G01N30/02 G01N30/20 G01N30/68

    摘要: 本发明提供大气在线监测仪。其技术方案为:主要由检测样气(1)、流量二阀(2)、流量一阀(3)、十通阀(4)、烤箱(5)、温度模块(6)、检测器(7)、控制器(8)、载气(9)、(氢气(10)、氧气(11)、流量三阀(12)、流量四阀(13)、打印机(14)、工控机(15)、互联网(16)、交流电源(17)、总交换机(18)、交直流转换变压器(19)、电磁阀(20)、流量控制板(21)和流量阀(22)构成。本发明设计合理实用,自动点火并低电压点火对设备危害小,并且可熄火检测;检测器和软件模块化,便于用户快速定制,利于环境科技大力推广。

    一种气相色谱仪用真空进样装置

    公开(公告)号:CN106706816A

    公开(公告)日:2017-05-24

    申请号:CN201710028251.4

    申请日:2017-01-16

    IPC分类号: G01N30/20

    CPC分类号: G01N30/20

    摘要: 本发明提供了一种气相色谱仪用真空进样装置,所述装置包括标准气体气瓶、样品容器、气相色谱仪和真空泵,标准气体气瓶和样品容器通过气管分别与气相色谱仪的进气口连接,真空泵通过气管与气相色谱仪的排气口连接;气管上安装有测量气管内的气压值的压力传感器和测量气管内的真空度的真空计;还安装有测量环境温度值的温度传感器。本发明的气相色谱仪用真空进样装置改善了气相色谱仪传统的阀进样方式,避免了环境空气对被测样品气体的污染,有效提高了样品气体中各组分尤其是微量氧、氮组分定量分析的精度;同时可以调整进样压力,避免气相色谱仪检测器响应过载或响应过低,扩大检测器响应线性范围,减小分析误差。