一种多晶硅生产尾气中痕量硅烷的检测装置及检测方法

    公开(公告)号:CN108318592A

    公开(公告)日:2018-07-24

    申请号:CN201810006973.4

    申请日:2018-01-04

    IPC分类号: G01N30/02 G01N30/20

    摘要: 本发明提供一种多晶硅生产尾气中痕量硅烷的检测装置及检测方法,属于多晶硅生产检测技术领域。检测装置的进样口、第一色谱柱、第二色谱柱和检测器依次连通,控制阀设置于第一色谱柱和第二色谱柱之间用于控制第一色谱柱和第二色谱柱的连通与断开。检测方法是以定量的多晶硅生产尾气先从进样口通入第一色谱柱,当检测器检测到硅烷峰出完以后,调节控制阀使第一色谱柱与第二色谱柱之间断开,将硅烷峰与标准硅烷峰对比,计算得到多晶硅生产尾气中痕量硅烷的量。使用上述检测装置的检测方法的检测结果更加准确,排除了尾气中的其他杂质气体,如:氯化氢、氯硅烷等,避免杂质气体进入检测器,使硅烷的检测更加准确、可靠、重复性好。

    一种浆料含固量的检测方法

    公开(公告)号:CN106370553A

    公开(公告)日:2017-02-01

    申请号:CN201611004758.8

    申请日:2016-11-15

    IPC分类号: G01N5/04

    CPC分类号: G01N5/04

    摘要: 为了克服现有的技术存在的不足,本发明公开一种浆料含固量的检测方法,包括以下步骤:a.将经搅拌的氯硅烷浆料试样用离心机进行离心处理;b.通入氮气吹扫出剩余易挥发的氯硅烷液体;c.称量出剩余固体的质量,得出浆料中的含固量;本发明冷氢化工艺中氯硅烷浆料含固量的检测方法将氯硅烷浆料和氯硅烷液体用离心机进行分离后再进行处理,大大缩短了检测时间,此检测方法具有操作简便、洁净、安全、不易污染环境,且聚四氟离心试管不易腐蚀,检测结束后便于离心试管等器具的清洗维护。

    一种去除多晶硅尾气中氯硅烷的方法、装置及应用

    公开(公告)号:CN109569262A

    公开(公告)日:2019-04-05

    申请号:CN201811594353.3

    申请日:2018-12-25

    IPC分类号: B01D53/81 B01D53/68 G01N33/00

    摘要: 本发明涉及多晶硅生产技术领域,公开了一种去除多晶硅尾气中氯硅烷的方法,包括以下处理工序:收集,收集多晶硅尾气;冷凝,将收集到的多晶硅尾气进行冷凝处理,使其析出部分氯硅烷;吸收,将冷凝处理后的多晶硅尾气通过吸附剂,继续吸附除去尾气内残留的氯硅烷。还公开了一种去除多晶硅尾气中氯硅烷的装置,包括取样组件和深冷机构;所述取样组件上连接有管路,管路穿过深冷机构经冷却后连接有吸附组件,吸附组件内填充有吸附剂;所述吸附组件具有出口。本去除多晶硅尾气中氯硅烷的方法及装置可以去除尾气中的氯硅烷,操作方便有效,能在检测尾气中痕量磷化氢气体含量时,保护检测装置,延长其使用寿命,降低检测成本。

    一种气体送样装置及气体检测系统

    公开(公告)号:CN207096186U

    公开(公告)日:2018-03-13

    申请号:CN201720837073.5

    申请日:2017-07-11

    IPC分类号: G01N30/16 G01N30/02

    摘要: 本实用新型涉及气体检测领域,尤其是对多晶硅生产中尾气的检测,公开了一种气体送样装置及气体检测系统,气体送样装置包括进样器和载气管道,载气管道包括形成载气通道的管壁,管壁上开设有进样口;进样器设置于进样口外侧,进样器包括筒体、设置于筒体的进气管以及可滑动地设置于筒体内的活塞,筒体的壁面上开设有进气口;进气管或进样口设置有启闭装置,启闭装置用于连通或隔断进气管与载气管道。气体送样装置的送样过程简单稳定,无夹杂无损失。气体检测系统包括了该气体送样装置,气体通过预处理系统处理后,定量地输入至气体送样装置中,无损失无夹杂地通过气体送样装置全部送入检测设备中,实验准确,操作方便。

    一种硅芯焊接装置
    6.
    实用新型

    公开(公告)号:CN210103470U

    公开(公告)日:2020-02-21

    申请号:CN201920618812.0

    申请日:2019-04-30

    IPC分类号: C01B33/035

    摘要: 本实用新型公开了一种硅芯焊接装置,涉及多晶硅生产设备领域,包括焊接箱和固定在焊接箱内的矩管;所述矩管的两端均为敞开状,且矩管上设置有高压放电头和用于通入氩气的进气管;所述矩管外围还绕设有高压线圈,且高压线圈与矩管外壁径向间隙排布;所述高压线圈为空心结构,且高压线圈的一端连接设置有进水管,高压线圈的另一端连接设置有出水管。本实用新型结构简单、易于实现,使断裂的硅芯得以再次利用,降低生产成本。

    一种气体富集解析装置及气体预处理系统

    公开(公告)号:CN207095949U

    公开(公告)日:2018-03-13

    申请号:CN201720838342.X

    申请日:2017-07-11

    IPC分类号: G01N1/40

    摘要: 本实用新型涉及气体检测领域,尤其针对多晶硅生产中尾气的检测,公开了一种气体富集解析装置及气体预处理系统。气体富集解析装置的冷阱池和加热池相连,转换装置一端设置于冷阱池或加热池,转换装置的另一端设置有吸附柱,通过伸缩和/或转动转换装置可以选择性地将吸附柱置于冷阱池或加热池内。本实用新型的气体预处理系统包括该气体富集解析装置。这样将冷阱池和加热池一体化设置,减少了技术人员在对气体检测时,对冷却富集装置以及加热解析装置的布置,使用方便。可以在冷却富集完立刻使用转换装置将吸附柱转移到加热池中进行加热、解析,这样将杂质富集和加热解析一体化,简化了转移待测试气体的操作,实验稳定性高。

    一种含有固体颗粒的液体密闭取样装置

    公开(公告)号:CN207816632U

    公开(公告)日:2018-09-04

    申请号:CN201820117611.8

    申请日:2018-01-24

    IPC分类号: G01N1/10

    摘要: 本实用新型公开了一种含有固体颗粒的液体密闭取样装置,包括有取样瓶、缓冲瓶和吸收瓶,缓冲瓶与物料管线连接,在进入缓冲瓶之前设有阀门;所述取样瓶与缓冲瓶连接,两者之间的连接管线上设有阀门,所述吸收瓶连接于此阀门与缓冲瓶之间,且在进入吸收瓶之前设有另一阀门;所述缓冲瓶还连接有氮气吹扫机构。本实用新型是针对高压液体物料,且物料中固体含量在10%(w%)以下的取样装置,通过安装一缓冲瓶,一来降低压力,二来针对取高压物料时避免阀门出现失灵存在危险,因而本实用新型具有密闭、耗时短、洁净、安全、不易污染环境等优点,且可直观的观察缓冲罐中物料液位,便于拆卸清洗维护。

    箱式密闭取样装置
    9.
    实用新型

    公开(公告)号:CN209542158U

    公开(公告)日:2019-10-25

    申请号:CN201822122339.5

    申请日:2018-12-17

    IPC分类号: G01N1/10

    摘要: 本实用新型公开了一种箱式密闭取样装置,包括有密闭箱、取样瓶和取样器,取样器和取样瓶均安装在密闭箱内,取样瓶与取样器对接,取样器连接有物料管线和导淋管线,物料管线及导淋管线的穿入位置设置为密封结构;密闭箱还接入有用于通入氮气的氮气管线,并且在密闭箱中还设置有压差表,密闭箱的箱门为可密封箱门。本实用新型通过设置不锈钢箱体、玻璃面板、压差表、氮气管线及密闭取样器等,整个取样过程都在密闭箱体内进行,有利于保护环境,保障人身安全,减少设备的腐蚀,减少了低沸氯硅烷等物料着火爆炸的情况。因取样瓶体只与氯硅烷接触,未和其他污染物接触,未暴露在空气环境中,保证了所取样品的洁净度。

    一种密闭式防污染取样系统

    公开(公告)号:CN204116084U

    公开(公告)日:2015-01-21

    申请号:CN201420668030.5

    申请日:2014-11-11

    IPC分类号: G01N1/10

    摘要: 本实用新型涉及一种密闭式防污染取样系统,包括取样器主体部分及附属结构。取样器主体部分包括连接取样管线的取样器阀体,该取样器阀体上分别设有密封氮气进口、密封氮气出口、取样瓶瓶口保护罩,其中部插有端头设有聚四氟密封垫的聚四氟取样针;取样瓶瓶口保护罩分别连有托柄、取样口保护盖;密封氮气进口依次经氮气流量计、密封氮气阀通过管线连有氮气总管,该氮气总管上设有氮气吹扫阀;氮气总管的一端连有物料管线,该物料管线的末端与取样导淋转换阀相连;物料管线上依次设有物料阀Ⅰ、物料阀Ⅱ、物料流量计;取样导淋转换阀经与导淋阀连有导淋管线,并与取样器阀体中的聚四氟取样针相连。本实用新型安全、无污染,保证了分析结果的准确性。