传感器
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1218163C

    公开(公告)日:2005-09-07

    申请号:CN01121705.7

    申请日:2001-06-18

    Abstract: 一种由半导体材料构成的传感器。该装置包括支承框架、读出元件、以及以一般对应于第一谐振频率振动方式的频率来振动读出元件的装置。错误检测装置检测谐振频率振动方式,错误检测装置的输出表示存在或者不存在所述谐振频率振动方式对所述激励的预期的响应。检测读出元件变形的装置提供表示待检测的参数的输出信号,变形检测装置和错误检测装置由相同元件构成。

    电磁驱动的振片式力转换器

    公开(公告)号:CN1045176A

    公开(公告)日:1990-09-05

    申请号:CN90100977.6

    申请日:1990-02-26

    CPC classification number: G01P15/097 G01L1/183 G01P15/0802 Y10S73/01

    Abstract: 一种振片式力转换器,它可在如微型加速计等硅微型机械仪表中实现,包括带有纵轴的振片,和与振片电连接并使振片以纵轴方向施加的外力所决定的共振频率振荡的驱动电路;该电路向振片提供电流,振片或其上的导电区域沿包含一与纵轴平等的轴向元件的通路导通电流,磁场与轴向元件相交,电流与磁场相互作用,使振片以共振频率振荡。在一较佳实施例中,转换器具有一双端音叉结构,电流通路沿一振片延伸又沿另一振片返回。

    一种SiCN陶瓷无线无源压力传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN108036881A

    公开(公告)日:2018-05-15

    申请号:CN201711374477.6

    申请日:2017-12-19

    Applicant: 厦门大学

    CPC classification number: G01L1/183

    Abstract: 一种SiCN陶瓷无线无源压力传感器及其制备方法,SiCN陶瓷无线无源压力传感器设有圆柱形非晶态SiCN陶瓷压敏元件、谐振腔和耦合槽天线;圆柱形非晶态SiCN陶瓷压敏元件的表面包裹有金属层,金属层形成谐振腔,耦合槽天线设在谐振腔的上表面,谐振腔通过耦合槽天线与共面波导线进行耦合。制备圆柱形非晶态SiCN陶瓷压敏元件;对非晶态SiCN陶瓷压敏元件表面处理;在非晶态SiCN陶瓷压敏元件上,贴上与耦合槽天线尺寸一致的聚酰亚胺胶带后,再在非晶态SiCN陶瓷压敏元件表面涂上金属层形成谐振腔,去除聚酰亚胺胶带,得上表面带有耦合槽天线的谐振腔;完成金属浆料的金属化,得非晶态SiCN陶瓷无线无源压力传感器。

    物理量传感器
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102362162A

    公开(公告)日:2012-02-22

    申请号:CN201080013152.5

    申请日:2010-03-08

    CPC classification number: G01L1/183

    Abstract: 本发明提供一种物理量传感器,包括:起变形体,其根据应力而产生变形;振子,其以对应于该变形的频率或对应于该变形的振幅进行振动;以及处理电路,其对从振子输出的信号进行处理。振子配置在起变形体上,以便传递该变形。处理电路按照实质上不传递该变形的方式与起变形体结合。该物理量传感器能够稳定地检测作用于物体的变形或张力。

    传感器
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1329243A

    公开(公告)日:2002-01-02

    申请号:CN01121705.7

    申请日:2001-06-18

    Abstract: 一种由半导体材料构成的传感器。该装置包括支承框架、读出元件、以及以一般对应于第一谐振频率振动方式的频率来振动读出元件的装置。错误检测装置检测谐振频率振动方式,错误检测装置的输出表示存在或者不存在所述谐振频率振动方式对所述激励的预期的响应。检测读出元件变形的装置提供表示待检测的参数的输出信号,变形检测装置和错误检测装置由相同元件构成。

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