公开(公告)号：CN1218163C

公开(公告)日：2005-09-07

申请号：CN01121705.7

申请日：2001-06-18

Applicant: 森桑诺尔有限公司

Inventor： T·克维斯特雷 ,  J·亨里克

IPC: G01F1/34 ,  G01P15/10 ,  G01L1/18

CPC classification number: G01P21/00 ,  G01F1/28 ,  G01L1/183 ,  G01P15/097 ,  G01P2015/0828

Abstract: 一种由半导体材料构成的传感器。该装置包括支承框架、读出元件、以及以一般对应于第一谐振频率振动方式的频率来振动读出元件的装置。错误检测装置检测谐振频率振动方式，错误检测装置的输出表示存在或者不存在所述谐振频率振动方式对所述激励的预期的响应。检测读出元件变形的装置提供表示待检测的参数的输出信号，变形检测装置和错误检测装置由相同元件构成。

公开(公告)号：CN1329243A

公开(公告)日：2002-01-02

申请号：CN01121705.7

申请日：2001-06-18

Applicant: 森桑诺尔有限公司

Inventor： T·克维斯特雷 ,  J·亨里克

IPC: G01F1/34 ,  G01P15/10 ,  G01L1/18

CPC classification number: G01P21/00 ,  G01F1/28 ,  G01L1/183 ,  G01P15/097 ,  G01P2015/0828

Abstract: 一种由半导体材料构成的传感器。该装置包括支承框架、读出元件、以及以一般对应于第一谐振频率振动方式的频率来振动读出元件的装置。错误检测装置检测谐振频率振动方式,错误检测装置的输出表示存在或者不存在所述谐振频率振动方式对所述激励的预期的响应。检测读出元件变形的装置提供表示待检测的参数的输出信号,变形检测装置和错误检测装置由相同元件构成。