知搜-全球专利检索

  1. 登录
  2. 注册

搜索结果

45 条记录 (耗时 0.018 秒)

    一种使用非晶碳作为牺牲层制作微测辐射热计微桥结构的方法
    1.
    发明公开
    一种使用非晶碳作为牺牲层制作微测辐射热计微桥结构的方法 无效

    公开(公告)号：CN107055464A

    公开(公告)日：2017-08-18

    申请号：CN201710037813.1

    申请日：2017-01-19

    申请人： 烟台睿创微纳技术股份有限公司

    发明人： 邱栋 ,  王鹏 ,  陈文礼 ,  王宏臣

    IPC分类号： B81C1/00 ,  G01J5/24

    CPC分类号： B81C1/00476 ,  B81C1/00095 ,  B81C1/00103 ,  B81C1/00611 ,  G01J5/24

    摘要： 本发明涉及一种使用非晶碳作为牺牲层制作微测辐射热计微桥结构的方法，包括在包含读出电路为基底的晶圆上制作金属反射层，在金属反射层上依次沉积绝缘介质层、牺牲层、支撑层、金属电极层、电极保护层、热敏层和钝化层，所述牺牲层使用非晶碳薄膜，对所述牺牲层进行图形化处理，形成锚点孔，并利用化学机械抛光工艺对非晶碳牺牲层表面进行平坦化处理，结构更平整，在锚点孔底部除去撑层和绝缘介质层，露出下面的金属块，形成通孔，利用坞插塞工艺在通孔和锚点孔内沉积金属钨，电学连接更稳定，利用等离子灰化或等离子体刻蚀，去除牺牲层，结构释放更彻底。

    用于MEMS图像传感器的像元阵列
    2.
    发明公开
    用于MEMS图像传感器的像元阵列 审中-实审

    公开(公告)号：CN106768387A

    公开(公告)日：2017-05-31

    申请号：CN201710179151.1

    申请日：2017-03-23

    申请人： 合肥芯福传感器技术有限公司

    发明人： 赵照 ,  葛鼎

    IPC分类号： G01J5/24

    CPC分类号： G01J5/24 ,  G01J2005/204

    摘要： 本发明提供一种用于MEMS图像传感器的像元阵列，由多个像元在二维平面上重复排列组成，所述像元包括衬底和微桥，所述微桥通过桥墩固定在衬底上，并通过桥墩中的引线将微桥上产生的电信号传递至衬底上的读出电路，在所述像元阵列中，每个桥墩引出多个臂，同时与多个像元连接。本发明通过将一个桥墩引出多个臂来连接多个像元，可以有效减少像元阵列中的桥墩个数，扩大电磁波吸收面积，提高像元的响应速率，应用于MEMS图像传感器中则显著提高产品的信噪比、灵敏度等特性。另外，更少的桥墩数量有益于像元阵列制作流程的简化，从而节约成本，提高良品率。

    一种便携式红外焦平面探测器功能测试装置
    3.
    发明公开
    一种便携式红外焦平面探测器功能测试装置 审中-实审

    公开(公告)号：CN106706140A

    公开(公告)日：2017-05-24

    申请号：CN201710037361.7

    申请日：2017-01-19

    申请人： 中国科学院上海技术物理研究所

    发明人： 王绪泉 ,  黄张成 ,  黄松垒 ,  陈郁 ,  方家熊

    IPC分类号： G01J5/24

    CPC分类号： G01J5/24

    摘要： 本发明公开了一种便携式红外焦平面探测器功能测试装置。它包括印制电路板、FPGA芯片及其配置电路、逻辑电平转换电路、焦平面探测器、SMB转BNC屏蔽线、通用示波器以及通用移动电源。FPGA芯片及其配置电路产生驱动脉冲时序，经过逻辑电平转换电路后驱动焦平面探测器，焦平面探测器输出信号经SMB转BNC屏蔽线到达通用示波器，进而可以对探测器进行质量检测和功能测试。本发明实现了红外焦平面探测器测试装置的便携式设计，主要优点是：①探测器的驱动脉冲由FPGA芯片上电后自动配置，省去传统脉冲驱动仪器的多路互连线；②使焦平面探测器的质量检测和功能测试可在工艺间现场进行；③FPGA的脉冲信号输出管脚由程序设计分配，可适用于多款焦平面探测器。

    用于对电流进行积分的高动态范围装置
    5.
    发明公开
    用于对电流进行积分的高动态范围装置 有权

    公开(公告)号：CN106134072A

    公开(公告)日：2016-11-16

    申请号：CN201580017768.2

    申请日：2015-04-30

    申请人： ULIS股份公司

    发明人： 帕特里克·罗伯特

    IPC分类号： H03F3/00 ,  H03F3/08 ,  H03M1/18

    CPC分类号： H03F1/26 ,  G01J5/24 ,  H03F3/005 ,  H03F3/087 ,  H03F3/45071 ,  H03F2200/261 ,  H03F2200/264 ,  H03M1/182 ,  H03M1/50

    摘要： 提供一种电流积分装置(60)，其用于在时间段Tint内对电流进行积分，并且包括：运算放大器(62)和连接在运算放大器(62)的第一输入和输出之间的电容器(64)，运算放大器(62)的第二输入设为电压VBUS，运算放大器(62)的输出电压Vout根据电容器(64)中的电荷量以高饱和电压VsatH和低饱和电压VsatL达到饱和。装置(60)还包括：切换电路(72)，用于使电容器(64)的端子切换；触发电路(74)，用于在输出电压Vout增大并且大致等于参考电压VREF时，在积分时间段Tint期间至少一次触发电路(72)，所述电压VREF小于或等于电压VsatH，并且参考电压VREF和电压VBUS(62)被选择为满足关系式2.VBUS‑VREF≥VsatL；以及存储电路(76)，用于存储在积分时间段的开始时间和结束时间之间所发生的触发的次数。

    一种全差分红外焦平面阵列读出电路
    8.
    发明公开
    一种全差分红外焦平面阵列读出电路 审中-实审

    公开(公告)号：CN107271054A

    公开(公告)日：2017-10-20

    申请号：CN201710629927.5

    申请日：2017-07-28

    申请人： 合肥芯福传感器技术有限公司

    发明人： 赵照

    IPC分类号： G01J5/10 ,  G01J5/24

    CPC分类号： G01J5/10 ,  G01J5/24 ,  G01J2005/202

    摘要： 本发明公开一种全差分红外焦平面阵列读出电路，包括：像元阵列，用于采集红外光信号、光电转换并逐行输出；全差分相关双采样电路，连接像元阵列，用于对像元阵列电路采集到的信号进行积分、双采样并输出实际差分信号；输出缓冲电路，连接全差分相关双采样电路，用于将实际差分信号逐列缓冲输出；及行列逻辑控制信号产生电路，分别为像元阵列和输出缓冲电路提供行选控制信号和列选控制信号。本发明使用开关电容全差分配置的CDS电路，能够实现积分和双采样功能并且输出实际差分信号，不需要额外配置差分转换电路，能够显著减小电路面积，增加填充因子；同时，在电路中引入补偿电容可以提供偏移补偿，消除运算放大器偏置电压对采样结果造成的影响。

    非制冷红外焦平面阵列低噪声选通电路
    9.
    发明公开
    非制冷红外焦平面阵列低噪声选通电路 审中-实审

    公开(公告)号：CN106768388A

    公开(公告)日：2017-05-31

    申请号：CN201710205642.9

    申请日：2017-03-31

    申请人： 苏州芯通微电子有限公司

    发明人： 管志强 ,  赵文虎 ,  刘树廷

    IPC分类号： G01J5/24

    CPC分类号： G01J5/24

    摘要： 本发明名为非制冷红外焦平面阵列低噪声选通电路，涉及热成像的红外传感领域；该电路包括：复用接触孔、复用接触孔的微测辐射热计单元、时序控制开关；对某一微测辐射热计单元进行信息读出时，微测辐射热计单元两端的开关闭合，则在微测辐射热计单元上形成从读出电路ROIC到参考电平VCOM的信号通路；本发明中将传统的微测辐射热计单元中两个独立的接触孔进行复用，节约了接触孔占用的阵列面积，从而可以在相同的面积下得到更多的微测辐射热计单元，提高电路性能，通过时序控制，减少微测辐射热计单元的悬空端，从而有效减轻容性负载和寄生电容引起的微测辐射热计阵列性能下降；本发明进一步简化了开关和时序，减小开关引入的噪声。