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    一种碳纳米管阵列的制备方法
    1.
    发明公开
    一种碳纳米管阵列的制备方法 审中-实审

    公开(公告)号：CN108996490A

    公开(公告)日：2018-12-14

    申请号：CN201710424233.8

    申请日：2017-06-07

    申请人： 清华大学 ,  鸿富锦精密工业(深圳)有限公司

    发明人： 刘亮 ,  蔡琪 ,  郑秋秋

    IPC分类号： C01B32/162

    CPC分类号： C01B32/162 ,  B82B3/0004 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  C01B2202/06 ,  C01B2202/20

    摘要： 本发明涉及一种碳纳米管阵列的制备方法，其包括以下步骤：提供一包括至少一个通孔的基底，将该基底的两个表面分别定义为第一表面和第二表面，所述通孔贯穿第一表面和第二表面；将催化剂沉积在所述基底的第一表面；在保护气体的环境下，加热所述基底至碳纳米管阵列的生长温度，通过一通气元件将碳源气通至所述基底的第二表面，所述碳源气经由所述基底的通孔与所述催化剂接触在该基底的第一表面生长碳纳米管阵列；停止通入碳源气，改变所述基底的温度至一预定温度，通过所述通气元件将氧气或含氧气的混合气体通至所述基底的第二表面，所述氧气或含氧气的混合气体经由所述基底的通孔与所述碳纳米管阵列接触并反应。

    双层异质结构模具、制造方法及其在制备微纳米材料的应用
    3.
    发明公开
    双层异质结构模具、制造方法及其在制备微纳米材料的应用 无效

    公开(公告)号：CN106744668A

    公开(公告)日：2017-05-31

    申请号：CN201710139866.4

    申请日：2017-03-10

    申请人： 浙江工业大学

    发明人： 董健 ,  金焱立 ,  龙芝剑 ,  孙笠 ,  董鹤

    IPC分类号： B82B1/00 ,  B82B3/00 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00

    CPC分类号： B82B1/00 ,  B82B3/0004 ,  B82B3/0009 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00

    摘要： 双层异质结构模具、制造方法及其在制备微纳米材料的应用，所述的模具包括硅衬板，所述的硅衬板的上表层沿硅衬板轴向分布多列微米级凹槽组，每列凹槽组包括若干等距排列的微米凹槽，相邻两列凹槽组轴向间距梯度渐增；整个硅衬板上表面分布纳米级孔，微米凹槽以及分布在微米凹槽表面的纳米级孔形成二级结构；所述的制造方法：采用化学方法刻蚀出特定的内凹正四棱台微米结构，利用多孔AAO膜在硅基底上间接产生均匀有序的内凹半球纳米结构。本发明的有益效果是：直接制造内凹正四棱台，制备简单、直接；纳米结构均匀、尺寸小和精度高；在模具上注入PDMS，通过简单处理即可得到特定的滴状冷凝且自集水微纳米材料，易于进行大规模生产；重复使用率高。

    一种纳米器件装配装置
    4.
    发明公开
    一种纳米器件装配装置 无效

    公开(公告)号：CN105540537A

    公开(公告)日：2016-05-04

    申请号：CN201610073881.9

    申请日：2016-02-03

    申请人： 苏州大学

    发明人： 孙立宁 ,  陈之超 ,  杨湛 ,  陈涛

    IPC分类号： B82B3/00 ,  B82Y40/00

    CPC分类号： B82B3/0004 ,  B82Y40/00

    摘要： 一种纳米器件装配装置，其包括至少一个纳米机械手，所述纳米机械手包括三自由度运动的微动平台、设于微动平台上的微纳动夹持器以及控制微动平台实现三自由度运动的微纳压电电机。本发明在扫描电子显微镜样品真空室（10-4 Pa）内集成纳米操作机械手，在实时观察的基础上实现了单个或者多个（小于等于四个）纳米操作机械手操作，每个纳米操作机械手具有三个自由度，可以进行复杂的三维纳米器件装配操作，操作的精度最高可以达到30纳米。

    气动微位移波纹管驱动器
    5.
    发明公开
    气动微位移波纹管驱动器 失效

    公开(公告)号：CN105417493A

    公开(公告)日：2016-03-23

    申请号：CN201510764500.7

    申请日：2015-11-11

    申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

    发明人： 东立剑 ,  赵磊 ,  倪明阳 ,  李显凌 ,  张巍 ,  隋永新 ,  杨怀江

    IPC分类号： B82B3/00 ,  B82Y40/00

    CPC分类号： B82B3/0004 ,  B82Y40/00

    摘要： 本发明公开了一种气动微位移波纹管驱动器，属于精密机械技术领域。解决了现有技术中微位移控制驱动器高发热、低行程、占用空间大、污染环境等技术问题。该驱动器主要包括：法兰、驱动器外壳、驱动杆、快速接头、焊接波纹管、柔性铰链和球头，驱动器外壳顶端与法兰密封固定，底端通过快速接头与气源连接，驱动杆下部设置在法兰、驱动器外壳和快速接头形成的腔体内，上端贯穿法兰的中心通孔后伸出，顶端用于固定球头，焊接波纹管的顶端边缘与法兰密封固定，底端边缘与驱动杆密封固定，柔性铰链套装在驱动杆的上端，且固定在法兰上。该驱动器具有高精度的位移输出，无发热，高响应速度、大行程、小体积等优点，特别适用于高精密纳米驱动及高精密定位系统。

    一种圆柱模具的制造方法
    7.
    发明公开
    一种圆柱模具的制造方法 无效

    公开(公告)号：CN106430081A

    公开(公告)日：2017-02-22

    申请号：CN201610896868.3

    申请日：2016-10-14

    申请人： 河南理工大学

    发明人： 秦歌 ,  李润清 ,  张明军 ,  周奎 ,  赵西梅 ,  宋旭东 ,  明平美 ,  银燕毅

    IPC分类号： B81C1/00 ,  B82B3/00

    CPC分类号： B81C1/00 ,  B81C1/00015 ,  B82B3/00 ,  B82B3/0004

    摘要： 本发明公开了一种圆柱模具的制造方法，其主要步骤如下：（1）在一基板上加工出微结构，制成平面模板（；2）在平面模板上浇注材料，翻制出柔性母版；（3）将柔性母版固定于一圆筒内表面，形成圆柱形柔性母版，对圆柱形柔性母版表面进行导电处理（；4）以导电的柔性母版为阴极，在电沉积槽中电铸一定时间后，剥离柔性母版表面沉积的圆弧状金属层；（5）将若干个圆弧状金属层拼接起来形成圆环形金属层；连接金属层之间的接缝形成一个圆环形金属层；（6）将圆环形金属层装配在一金属圆柱上，将高分子材料填充在圆环形金属层和金属圆柱间的间隙中，凝固后制成圆柱模具。采用这种方法制作的圆柱模具，工艺易实现、成本低且能够实现连续图形转移。

    一种用于氧化锌纳米线及阵列生长的十字架（+）型激光烧蚀管式炉
    9.
    发明公开
    一种用于氧化锌纳米线及阵列生长的十字架（+）型激光烧蚀管式炉 无效

    公开(公告)号：CN105947974A

    公开(公告)日：2016-09-21

    申请号：CN201610283003.X

    申请日：2016-05-03

    申请人： 济南大学

    发明人： 曹丙强 ,  邱智文 ,  杨晓朋

    IPC分类号： B82B3/00 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  C30B28/02 ,  C30B29/16

    CPC分类号： B82B3/0004 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  C30B28/02 ,  C30B29/16

    摘要： 本发明公开了一种用于氧化锌纳米线及阵列生长的激光烧蚀十字架（+）型管式炉，包括靶材控制系统、载气流量控制系统、衬底加热系统、炉体、十字型石英管、真空获得与控制系统。本发明的激光烧蚀十字架（+）型管式炉具有高真空，靶材更换方便，实验方案灵活多变；能够实时掺杂，沉积速率可调等。（1）通过激光烧蚀十字架（+）型管式炉装置，可在蓝宝石衬底上生长高密度（10/μm2）氧化锌纳米线阵列；（2）通过在衬底上生长一层氧化锌缓冲层，用激光烧蚀十字架（+）型管式炉装置生长低密度（0.1/μm2）氧化锌纳米线阵列；（3）在缓冲层上生长的氧化锌纳米线阵列的密度，随着靶材与衬底之间距离的增大而增大。