间隙填充方法
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104701238B

    公开(公告)日:2019-10-08

    申请号:CN201410858332.3

    申请日:2014-11-14

    Abstract: 间隙填充方法。提供了间隙填充方法,所述方法包括:(a)提供半导体衬底,所述衬底在衬底的表面上具有起伏图案,起伏图案包括将被填充的多个间隙;(b)在起伏图案上应用间隙填充组合物,其中间隙填充组合物包含可自交联聚合物和溶剂,其中可自交联聚合物包括第一单元,该第一单元包含聚合主链和侧接到主链的可自交联基团;以及(c)在使得聚合物产生自交联的温度下加热间隙填充组分。

    用于涂料组合物的反应性多官能添加剂

    公开(公告)号:CN104449020B

    公开(公告)日:2019-01-11

    申请号:CN201410448414.0

    申请日:2014-09-04

    Abstract: 一种用于涂料组合物的反应性多官能添加剂。一种组合物包含:(a)20‑60重量%糖组分,该糖组分包含2‑5个糖环单元,所述糖环单元含有至少一种选自环氧乙烷、环氧丙烷和环氧丁烷的环氧烷的聚合单元和至少三个与所述至少一种环氧烷聚合单元的端氧原子连接的乙酰乙酰基,所述聚合单元与所述糖环上的氧原子连接;和(b)40‑80重量%非糖组分,该非糖组分包含多元醇单元其不含糖环但具有2‑5的羟基官能度;所述多元醇单元含有至少一种选自环氧乙烷、环氧丙烷和环氧丁烷的环氧烷的聚合单元和至少两个与所述至少一种环氧烷聚合单元的端氧原子连接的乙酰乙酰基,所述聚合单元与所述多元醇的羟基氧原子连接;其中至少一种环氧烷的聚合单元总量占所述多官能添加剂的20‑80重量%。

Patent Agency Ranking