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公开(公告)号：CN118824931A
公开(公告)日：2024-10-22
申请号：CN202410803495.5
申请日：2024-06-20
申请人： 北京烁科中科信电子装备有限公司
IPC分类号： H01L21/683 , H01J37/317 , H01J37/20
摘要： 本发明公开了一种晶圆电荷量控制方法及系统，控制方法包括：当晶圆放置在靶盘上时，通过调整晶圆吸力电源来控制晶圆电荷去抵消晶圆自身净电荷，从而将晶圆净电荷控制在所需要的范围内；当需要晶圆电荷整体偏正或偏负时，通过调整晶圆吸力电源来控制晶圆电荷量在预设范围内。本发明具有控制简单且控制精准等优点。
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公开(公告)号：CN118099027A
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202410058437.4
申请日：2024-01-15
申请人： 北京烁科中科信电子装备有限公司
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/04 , H01J37/317 , H01J37/244 , G05D23/22
摘要： 本发明公开了一种高温离子注入晶圆温度控制方法、装置、介质及系统，方法包括步骤：预先获取晶圆温度与靶盘测温点温度之间的对应映射关系；根据晶圆温度与靶盘测温点温度之间的对应映射关系，获取与晶圆目标温度相对应的靶盘测温点温度；对靶盘进行加热以使各测量点温度达到与晶圆目标温度相对应的靶盘测温点温度，进而将晶圆加热至目标温度。本发明克服了接触式测量可能造成晶圆表面损伤和使用光学测温方法容易受到其他高温部件影响的不足，通过对于靶盘温度的检测来实现对晶圆温度的控制，并且具有操作简便，稳定性、重复性和实时性好等优点。
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公开(公告)号：CN117894735A
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202311758486.0
申请日：2023-12-19
申请人： 北京烁科中科信电子装备有限公司
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/67
摘要： 本发明公开一种利用电极供电吸附的高温静电吸盘，包括：电极吸附单元以及依次重叠的陶瓷基板、隔热板和水冷基板，当高温静电吸盘处于工作状态时，陶瓷基板处于真空环境，水冷基板处于标准大气压环境；所述电极吸附单元包括电极组件和引出组件，所述电极组件烧结在陶瓷基板底部，引出组件的上端与电极组件连接，引出组件的下端贯穿隔热板和水冷基板后与标准大气压环境内的电源连接，以实现对电极组件供电，进而实现高温静电吸盘的静电吸附功能。本发明具有结构紧凑、拆装便捷、吸附能力强、可靠性高等优点，既解决了高温静电吸盘吸附电极引出触点接触的稳定性问题，又解决了线缆及接头从高真空引入到标准大气压环境的连接问题。
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公开(公告)号：CN117894734A
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202311754426.1
申请日：2023-12-19
申请人： 北京烁科中科信电子装备有限公司
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/67
摘要： 本发明公开一种具有测温功能的高温静电吸盘，包括：加热线圈、测温单元以及依次重叠的陶瓷基板、隔热板和水冷基板，当高温静电吸盘处于工作状态时，陶瓷基板处于真空环境，水冷基板处于标准大气压环境；加热线圈烧结在陶瓷基板内，且加热线圈与加热电源连接，以实现高温静电吸盘升温加热；测温单元包括测温组件和引出组件，测温组件烧结在陶瓷基板底部，引出组件的上端与测温组件连接，下端贯穿隔热板和水冷基板后与标准大气压环境内的连接器连接，以实现实时监测高温静电吸盘的温度值。本发明具有结构紧凑、测温精准、可靠性高等优点，既解决了高温静电吸盘温度反馈值的稳定性问题，又解决了线缆及接头从高真空引入到标准大气压环境的连接问题。
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公开(公告)号：CN116417317A
公开(公告)日：2023-07-11
申请号：CN202111660476.4
申请日：2021-12-30
申请人： 北京烁科中科信电子装备有限公司
发明人： 黄海龙
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/04
摘要： 一种提高离子注入系统中射频加速桶加速效率的结构。本发明涉及用于提升射频谐振器效率的方法，利用射频谐振器该射频加速桶结构包括：电感线圈，用于将射频功率通过匹配电路馈入到加速电极。射频加速桶腔体，为电感线圈提供绝缘环境以及附加电容。电容调节环，为整个电路进行匹配调节。加速电极，在加速单元中产生用于加速离子的电压。地电极1与2，与加速电极形成加速间隙。SF6，填充在射频桶腔体内以增加电感线圈耐高压性能。隔离部件，用于隔绝射频加速桶腔体和加速腔体。电感线圈调节帽，用于调节电感大小。射频功率馈入头，为射频加速桶腔体内电感线圈进行功率馈入。该离子加速注入系统可以在同等射频功率馈入的情况下，使离子得到更高的加速能量。
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公开(公告)号：CN116417316A
公开(公告)日：2023-07-11
申请号：CN202111656352.9
申请日：2021-12-30
申请人： 北京烁科中科信电子装备有限公司
IPC分类号： H01J37/317
摘要： 本发明公开了一种离子束流加速管装置，包括加速管入口电极组件，加速管中间组件，加速管出口组件；聚焦硅堆作为连接聚焦电源与加速管中间组件的连接件，能有效防止电流回流，卸放电阻作为连接加速管中间组件与聚焦电源的连接件，能有效防止回路电流过大；加速管支撑焊接件可对加速管进行支撑固定；硅橡胶材质的加速管整体防护罩可有效预防加速管表面的局部放电现象。本发明可用于离子束依次经过加速管的加速电极，具有上下、左右分布的聚焦电极、抑制电极时，提高离子束的传输能量，加深离子掺杂工艺的注入深度，同时通过调节聚焦电源、抑制电源的输出电压可以有效改变束流传输过程中的扩散宽度，提高注入均匀性的可控性。
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公开(公告)号：CN116412793A
公开(公告)日：2023-07-11
申请号：CN202111660455.2
申请日：2021-12-30
申请人： 北京烁科中科信电子装备有限公司
IPC分类号： G01B21/22 , H01J37/317 , H01J37/244
摘要： 该发明实例提供一种测量高能离子注入机束流的平行度方法，该方法包括：数据获取单元和数据计算显示单元；其中数据获取单元包括角测法兰石墨、移动法拉第、剂量控制箱和控制器，主要用于获取高能离子注入机束流数据；数据计算显示单元包括上位机软件和计算机，主要作用是对于获取的数据进行计算处理，并根据处理后的数据分析当前束流的平行度结果。该发明实例通过以上两个单元，可以准确的测量出高能离子注入机束流的平行角度，解决了小束流时测不出平行度问题，并且操作方便，有效的提高束流平行度测量时的效率。
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公开(公告)号：CN116031198A
公开(公告)日：2023-04-28
申请号：CN202211686631.4
申请日：2022-12-27
申请人： 北京烁科中科信电子装备有限公司
IPC分类号： H01L21/687
摘要： 本发明公开了一种机械式卡盘装置，其包括承载盘、水冷基座及承载于水冷基座上的卡爪、水冷基座、曲柄‑滑块机构、加热线圈连接器、温度传感器；所述水冷基座内部有冷却管道，在所述承载盘高温时冷却管道内通入冷却介质，用于冷却承载盘之外的部件。本发明具有结构简单紧凑、制作简单、使用简便、适用范围广等优点。
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公开(公告)号：CN115241033A
公开(公告)日：2022-10-25
申请号：CN202210884446.X
申请日：2022-07-25
申请人： 北京烁科中科信电子装备有限公司
IPC分类号： H01J37/08 , H01J37/317
摘要： 本发明提供一种间热式固体金属离子源。所述间热式固体金属离子源包括离子源壳体、灯丝屏蔽组件、灯丝和阴极帽固定组件和弧室，所述弧室设于离子源壳体的顶部；所述灯丝和阴极帽固定组件包括灯丝夹杆、灯丝杆固定块、灯丝、卡块、阴极帽、及连接于所述卡块端侧的灯丝与阴极帽组件固定块；所述灯丝的一端弯曲收容于所述阴极帽内，另一端伸出卡块的外侧并同所述灯丝夹杆固定；所述灯丝夹杆上设有所述灯丝杆固定块；所述弧室的一端侧壁贯通设有氮化铝套，所述阴极帽远离卡块的一端伸入所述氮化铝套内；所述灯丝与阴极帽组件固定块与弧室连接，灯丝杆固定块与离子源壳体连接，所述灯丝夹杆与灯丝屏蔽组件连接。本发明能避免的灯丝与阴极帽安装误差导致的接触短路。
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公开(公告)号：CN112670147A
公开(公告)日：2021-04-16
申请号：CN201910980542.2
申请日：2019-10-15
申请人： 北京烁科中科信电子装备有限公司
发明人： 杜琴
IPC分类号： H01J37/302 , H01J37/304 , H01J37/317
摘要： 本发明公开了一种利用多磁极磁棒间距控制的自动调节剂量均一性的方法。该方法通过调节2n个磁极磁棒之间的距离来改变磁场分布，本方法包括：测量磁极位置未改变时离子束流初始值J0(1)，上下各n个磁极分别设置相同磁棒间距，利用移动法拉第双向测量模式采集每一磁极(可同时采集两个互相不干扰的磁极)对应的离子束流值(2)，计算磁极响应与磁棒间距的幅度关系，并利用该关系式迭代计算(3)，利用初始束流平均值解超定方程计算出每个磁极的最佳磁棒间距值(4)，机台线上验证调试效果(5)。设计多种调节模式，根据当前束流状态选择最佳的调节模式进行剂量均一性调节。本发明涉及离子注入装置及最小二乘算法，隶属于半导体制造领域。
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