公开(公告)号：CN107533991A

公开(公告)日：2018-01-02

申请号：CN201680026329.2

申请日：2016-04-28

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 武川纯 ,  高桥诚一郎 ,  长谷川公一 ,  楠本士朗 ,  山口佳一

IPC: H01L21/60 ,  G03F7/023 ,  G03F7/40 ,  H05K3/34

Abstract: 本发明是一种焊料电极的制造方法，其包括：步骤(1)，在具有电极垫的基板上形成感光性树脂组合物的涂膜；步骤(2)，通过将所述涂膜选择性曝光，进而进行显影，而在与电极垫对应的区域形成具有开口部的抗蚀剂；步骤(3)，在所述开口部填充熔融焊料；且所述感光性树脂组合物至少含有苯并噁唑前体。本发明的焊料电极的制造方法如IMS法等那样，即便在焊料填充时抗蚀剂受到高热的情况下，也可防止抗蚀剂表面的龟裂产生，并可提高焊料填充能力，因此可恰当地制造适合于目的的焊料电极。

公开(公告)号：CN107533987A

公开(公告)日：2018-01-02

申请号：CN201680021417.3

申请日：2016-03-01

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 武川纯 ,  高桥诚一郎 ,  长谷川公一 ,  楠本士朗

IPC: H01L21/60 ,  G03F7/40 ,  H05K3/34

CPC classification number: H01L24/11 ,  H01L24/81 ,  H01L2224/11 ,  H01L2224/1131 ,  H01L2224/1147 ,  H01L2224/11618

Abstract: 本发明是一种焊料电极的制造方法，其包括：步骤(1)，在具有电极垫的基板上形成感光性树脂组合物的涂膜；步骤(2)，通过对所述涂膜选择性地进行曝光，进而进行显影，而形成在与所述电极垫对应的区域具有开口部的抗蚀剂；步骤(3)，对所述抗蚀剂进行加热和/或曝光；以及步骤(4)，将熔融焊料一边加热一边填充于所述开口部。本发明的焊料电极的制造方法是即便在如注入模具式焊料法等那样，在焊料填充时抗蚀剂受到高热的情况下，也可防止抗蚀剂表面的龟裂产生，可提高焊料填充能力，因此可确实地制造适合于目的的焊料电极。