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公开(公告)号:CN1891750A
公开(公告)日:2007-01-10
申请号:CN200610095697.0
申请日:2006-06-29
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 一种固化性树脂组合物,其特征在于其中含有下记成分:(A)含锡氧化铟粒子,(B)含有乙烯性不饱和基团的含氟聚合物,(C)对(B)含有乙烯性不饱和基团的含氟聚合物的溶解性高的溶剂,(D)对(A)含锡氧化铟粒子的分散稳定性强而且与(C)溶剂具有相容性的溶剂,(C)溶剂的相对蒸发速度比(D)溶剂的相对蒸发速度快。
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公开(公告)号:CN101013264A
公开(公告)日:2007-08-08
申请号:CN200710006168.3
申请日:2007-01-31
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/004 , G02B5/20 , G02F1/1335
Abstract: 本发明涉及放射线敏感性组合物,该放射线敏感性组合物含有(A)着色剂、(B)碱溶性树脂、(C)多官能性单体、以及(D)光自由基引发剂,且用于着色层的形成,其中所述(D)光自由基引发剂含有1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9.H.-咔唑-3-基]-乙烷-1-酮肟-O-乙酸酯等的肟,和选自联二咪唑化合物、二苯甲酮化合物、噻吨酮化合物和香豆素酮化合物的至少一种成分。该组合物即使在低曝光量和苛刻的显影条件下也可得到不发生图案边缘缺损和侧壁腐蚀,且显影时没有未溶解物的残留、图案边缘不会产生浮渣的像素和黑底。
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公开(公告)号:CN1936704A
公开(公告)日:2007-03-28
申请号:CN200610139530.X
申请日:2006-09-22
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 放射线敏感性组合物,其含有(A)着色剂、(B)碱溶性树脂、(C)多官能性单体、(D)光聚合引发剂和(E)含有3~8.5重量%的双丙甘醇甲基醚乙酸酯的混合溶剂,且用于形成着色层。该组合物在狭缝喷嘴部分产生的干燥物的溶解性高,并且在干燥涂膜是不残留焰口状痕迹。
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公开(公告)号:CN101042532B
公开(公告)日:2012-04-25
申请号:CN200710088762.1
申请日:2007-03-22
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 用于形成着色层的放射线敏感性组合物,其中含有(A)着色剂、(B)碱可溶性树脂、(C)多官能性单体、(D)光聚合引发剂以及(E)溶剂,(E)溶剂含有5~40重量%的醋酸环己酯.所述组合物在狭缝喷头部分产生的干燥物的溶剂再溶解性高,并且极少出现突沸孔。
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公开(公告)号:CN1936704B
公开(公告)日:2011-04-13
申请号:CN200610139530.X
申请日:2006-09-22
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 放射线敏感性组合物,其含有(A)着色剂、(B)碱溶性树脂、(C)多官能性单体、(D)光聚合引发剂和(E)含有3~8.5重量%的双丙甘醇甲基醚乙酸酯的混合溶剂,且用于形成着色层。该组合物在狭缝喷嘴部分产生的干燥物的溶解性高,并且在干燥涂膜是不残留焰口状痕迹。
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公开(公告)号:CN101042532A
公开(公告)日:2007-09-26
申请号:CN200710088762.1
申请日:2007-03-22
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 用于形成着色层的放射线敏感性组合物,其中含有(A)着色剂、(B)碱可溶性树脂、(C)多官能性单体、(D)光聚合引发剂以及(E)溶剂,(E)溶剂含有5~40重量%的醋酸环己酯。所述组合物在狭缝喷头部分产生的干燥物的溶剂再溶解性高,并且极少出现突沸孔。
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