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公开(公告)号:CN101583909A
公开(公告)日:2009-11-18
申请号:CN200780035599.0
申请日:2007-09-25
Applicant: ASML荷兰有限公司 , 皇家飞利浦电子股份有限公司
Inventor: M·M·J·W·范赫彭 , V·Y·拜尼恩 , J·C·L·弗兰肯 , O·W·V·弗吉恩斯 , D·J·W·克朗德尔 , N·M·德里森 , W·A·索尔
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70916 , G01N21/15 , G03F7/70558
Abstract: 本发明公开一种用在极紫外光刻系统中的光学传感器装置(1)。该装置包括光学传感器,该传感器包括传感器表面(3)和构造用于从传感器表面去除碎片(6)的去除机构(5)。因而,可以对光刻系统方便地实施剂量和/或污染物测量。
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公开(公告)号:CN101583909B
公开(公告)日:2011-07-20
申请号:CN200780035599.0
申请日:2007-09-25
Applicant: ASML荷兰有限公司 , 皇家飞利浦电子股份有限公司
Inventor: M·M·J·W·范赫彭 , V·Y·拜尼恩 , J·C·L·弗兰肯 , O·W·V·弗吉恩斯 , D·J·W·克朗德尔 , N·M·德里森 , W·A·索尔
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70916 , G01N21/15 , G03F7/70558
Abstract: 本发明公开一种用在极紫外光刻系统中的光学传感器装置(1)。该装置包括光学传感器,该传感器包括传感器表面(3)和构造用于从传感器表面去除碎片(6)的去除机构(5)。因而,可以对光刻系统方便地实施剂量和/或污染物测量。
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公开(公告)号:CN101652602B
公开(公告)日:2012-02-22
申请号:CN200880011420.2
申请日:2008-03-31
Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司
Inventor: M·M·J·W·范赫彭 , A·H·W·范伊尤维克 , E·M·J·尼森
CPC classification number: H01L33/58 , B32B17/10036 , B32B17/10174 , B32B17/10504 , B32B17/10532 , B32B17/10541 , B32B17/10706 , B32B17/10761 , F21K9/00 , F21V14/003 , H01L25/0753 , H01L2924/0002 , H01L2933/0091 , H01L2924/00
Abstract: 一种光输出设备包括:第一和第二衬底装置(1,2),第一衬底装置(1)包括该设备的光输出表面。电极装置(3a,3b)夹在这些衬底装置之间并且至少一个光源(4)连接到该电极装置。第一衬底(1)装置包括用于改变来自光源的光输出的均匀性水平的光漫射器,并且第二衬底(2)装置包括光散射或反射层。该装置使用了从中提供照明的衬底的散射衬底装置。为了增强均匀性水平,相对的衬底装置也是散射或反射的。
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公开(公告)号:CN101939635A
公开(公告)日:2011-01-05
申请号:CN200980104107.8
申请日:2009-01-26
Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司
Inventor: M·I·博姆法 , M·M·J·W·范赫彭 , D·J·W·克伦德
CPC classification number: G01N21/648
Abstract: 一种照明检测系统包括:激发辐射源和关联的辐射处理装置以及用于将来自辐射处理装置的激发辐射聚焦到样本的分析区域上的聚焦装置。辐射收集装置收集来自样本的分析区域的由所述激发产生的辐射,并且检测器检测收集的辐射。聚焦的激发辐射包括激发线,该激发线在样本中是倏逝的。这组合了线扫描(缩减分析时间)和倏逝激发(降低背景信号)的优点并且于是允许提高医护点应用的测量速度和精度。
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公开(公告)号:CN101868574A
公开(公告)日:2010-10-20
申请号:CN200880117263.3
申请日:2008-11-14
Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司
Inventor: M·M·J·W·范赫彭 , M·P·C·M·克里恩
Abstract: 本发明首先提供了一种发光簇状毛毯,其具有可透过光的主衬里层、可选的粘附层,包含光外耦合部位的波导以及可选的辅助衬里层。主衬里层设有毛簇。波导被设置成将光源的光源光作为波导光耦合进来,并且被设置成在波导光外耦合部位处将波导光耦合出去以便提供毛毯光。波导光外耦合部位在主衬里层之下。
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公开(公告)号:CN101652602A
公开(公告)日:2010-02-17
申请号:CN200880011420.2
申请日:2008-03-31
Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司
Inventor: M·M·J·W·范赫彭 , A·H·W·范伊尤维克 , E·M·J·尼森
CPC classification number: H01L33/58 , B32B17/10036 , B32B17/10174 , B32B17/10504 , B32B17/10532 , B32B17/10541 , B32B17/10706 , B32B17/10761 , F21K9/00 , F21V14/003 , H01L25/0753 , H01L2924/0002 , H01L2933/0091 , H01L2924/00
Abstract: 一种光输出设备包括:第一和第二衬底装置(1,2),第一衬底装置(1)包括该设备的光输出表面。电极装置(3a,3b)夹在这些衬底装置之间并且至少一个光源(4)连接到该电极装置。第一衬底(1)装置包括用于改变来自光源的光输出的均匀性水平的光漫射器,并且第二衬底(2)装置包括光散射或反射层。该装置使用了从中提供照明的衬底的散射衬底装置。为了增强均匀性水平,相对的衬底装置也是散射或反射的。
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公开(公告)号:CN101641043A
公开(公告)日:2010-02-03
申请号:CN200880008314.9
申请日:2008-03-07
Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司
Inventor: A·T·M·范戈夫 , B·H·W·亨德里克斯 , H·周 , M·M·J·W·范赫彭
CPC classification number: A61B5/0075 , A61B5/0084 , G01N21/4795 , G01N2021/4792
Abstract: 提供一种用于对病人的组织中的癌症的早期阶段进行诊断和分期的系统(40)。该系统被配置为组合来自具有第一探测深度的偏转光散射光谱学测量(70)与具有第二探测深度的差分路径长度光谱学测量(60),其中第二探测深度被设置为大于第一探测深度。通过比较偏振光散射光谱学与差分路径长度光谱学测量的结果,可以检测癌症的早期阶段,比如发育异常。还可以检测增生、原位癌以及肿瘤。还提供一种计算机可读介质、方法和使用。
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公开(公告)号:CN101583864A
公开(公告)日:2009-11-18
申请号:CN200780047702.3
申请日:2007-12-17
Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司
Inventor: D·J·W·克伦德 , M·M·J·W·范赫彭 , M·A·弗舒伦
IPC: G01N21/64
CPC classification number: G01N21/774 , G01N21/648 , G01N2021/6467
Abstract: 提供了一种波导,其包括:波引导介质,具有一定折射率并且在第一和第二波传播平面结构之间被提供,至少所述第一平面结构包括多个有切口的孔径,其限定了所述第一反射结构的长度轴;这些有切口的孔径被构造和设置成反射取向平行于所述长度轴的所述辐射的R偏振分量;并且其中所述第一平面结构设置在所述波引导介质与具有等于或大于波引导介质的折射率的相邻介质之间。在本发明的一个方面中,提出了限制激发区域的波导,其中激发发光体;基本上与波导的周围介质无关。优选地,该波导用在发光传感器中。
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公开(公告)号:CN101868573B
公开(公告)日:2013-05-29
申请号:CN200880117001.7
申请日:2008-11-17
Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司
Inventor: M·M·J·W·范赫彭
CPC classification number: F21S8/032 , A47G27/0243 , A47G2200/08 , B32B37/14 , B60N3/042 , B60N3/048 , D05C17/02 , F21V33/006
Abstract: 本发明提供了一种发光簇状毛毯(1)。该毛毯(1)包括主衬里层(100)、可选的辅助衬里层(200)、可选的粘附层(300)、被设置成产生毛毯光(41)的多个毛毯集成LED(40)以及第一电导体(10)和第二电导体(20)。第一电导体(10)和第二电导体(20)被设置成将来自电源(50)的功率提供给LED(40)。主衬里层(100)包括第一毡层(30’)或者所述可选的辅助衬里层(200)包括第二毡层(30”),或者主衬里层(100)和所述可选的辅助衬里层(200)二者都包括毡层(30’,30”)。第一电导体(10)和第二电导体(20)中的一个或多个至少部分地集成在第一毡层(30’)和第二毡层(30”)中的一个或多个中。
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公开(公告)号:CN101939635B
公开(公告)日:2013-04-03
申请号:CN200980104107.8
申请日:2009-01-26
Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司
Inventor: M·I·博姆法 , M·M·J·W·范赫彭 , D·J·W·克伦德
CPC classification number: G01N21/648
Abstract: 一种照明检测系统包括:激发辐射源和关联的辐射处理装置以及用于将来自辐射处理装置的激发辐射聚焦到样本的分析区域上的聚焦装置。辐射收集装置收集来自样本的分析区域的由所述激发产生的辐射,并且检测器检测收集的辐射。聚焦的激发辐射包括激发线,该激发线在样本中是倏逝的。这组合了线扫描(缩减分析时间)和倏逝激发(降低背景信号)的优点并且于是允许提高医护点应用的测量速度和精度。
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