公开(公告)号：CN104541206A

公开(公告)日：2015-04-22

申请号：CN201380028535.3

申请日：2013-05-07

申请人： ASML荷兰有限公司

发明人： T·洛朗 ,  R·布洛克斯 ,  R·科蒂 ,  M·霍本 ,  J·雅各布斯 ,  R·拉法雷 ,  H·伦彭斯 ,  J·奥弗坎普 ,  G·皮特塞 ,  T·珀勒特 ,  W·西蒙斯 ,  K·斯蒂芬斯 ,  S·特罗姆普 ,  V·V·维

IPC分类号： G03F7/20

CPC分类号： G03F7/70341 ,  G03F7/70716 ,  G03F7/70875 ,  G03F7/7095 ,  H01L21/682

摘要： 一种载物台(WT)用于支撑物体(W)，载物台具有支撑本体(100)，用于保持物体的物体保持器(30)，邻近物体保持器边缘的开口(5)，以及经由通路(14)与开口流体连通的通道(16)，其中通道由不同于限定通路的第二材料的第一材料来限定。

公开(公告)号：CN112352201B

公开(公告)日：2024-06-28

申请号：CN201980041201.7

申请日：2019-05-01

申请人： ASML荷兰有限公司

发明人： W·西蒙斯 ,  D·M·斯劳特布姆 ,  E·德柯尔特

IPC分类号： G03F7/20

摘要： 披露了一种用于确定对制造过程中所使用的至少一个制造设备的控制的校正的方法，所述至少一个制造设备用于提供结构至衬底上的区，所述区包括多个子区。所述方法包括：获得与所述区的所述制造过程的过程参数相关的测量数据；和基于所述测量数据来确定对所述制造设备的校正。所述校正被配置成维持所述过程参数处于跨越两个所述子区之间的边界的指定范围内，和/或与所述区的剩余部分相比对跨越两个所述子区之间的边界的过程参数来较好地进行校正。

公开(公告)号：CN112352201A

公开(公告)日：2021-02-09

申请号：CN201980041201.7

申请日：2019-05-01

申请人： ASML荷兰有限公司

发明人： W·西蒙斯 ,  D·M·斯劳特布姆 ,  E·德柯尔特

IPC分类号： G03F7/20

摘要： 披露了一种用于确定对制造过程中所使用的至少一个制造设备的控制的校正的方法，所述至少一个制造设备用于提供结构至衬底上的区，所述区包括多个子区。所述方法包括：获得与所述区的所述制造过程的过程参数相关的测量数据；和基于所述测量数据来确定对所述制造设备的校正。所述校正被配置成维持所述过程参数处于跨越两个所述子区之间的边界的指定范围内，和/或与所述区的剩余部分相比对跨越两个所述子区之间的边界的过程参数来较好地进行校正。

公开(公告)号：CN104541206B

公开(公告)日：2016-12-21

申请号：CN201380028535.3

申请日：2013-05-07

申请人： ASML荷兰有限公司

发明人： T·洛朗 ,  R·布洛克斯 ,  R·科蒂 ,  M·霍本 ,  J·雅各布斯 ,  R·拉法雷 ,  H·伦彭斯 ,  J·奥弗坎普 ,  G·皮特塞 ,  T·珀勒特 ,  W·西蒙斯 ,  K·斯蒂芬斯 ,  S·特罗姆普 ,  V·V·维

IPC分类号： G03F7/20

CPC分类号： G03F7/70341 ,  G03F7/70716 ,  G03F7/70875 ,  G03F7/7095 ,  H01L21/682

摘要： 一种载物台(WT)用于支撑物体(W)，载物台具有支撑本体(100)，用于保持物体的物体保持器(30)，邻近物体保持器边缘的开口(5)，以及经由通路(14)与开口流体连通的通道(16)，其中通道由不同于限定通路的第二材料的第一材料来限定。