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公开(公告)号：CN101795527B
公开(公告)日：2013-02-20
申请号：CN201010003505.5
申请日：2003-09-17
Applicant: ASML荷兰有限公司
Inventor： K·N·科塞勒夫 , V·Y·班宁 , V·V·伊范诺夫 , E·R·基夫特 , E·R·鲁普斯特拉 , L·H·J·斯特文斯 , Y·V·斯德科夫 , V·G·科洛奇尼科夫 , V·M·克里特森 , R·R·加亚佐夫 , O·W·V·弗里恩斯
CPC classification number: H05G2/003 , B82Y10/00 , F28D15/0266 , G03F7/70033 , G03F7/70166 , G03F7/70916 , H05G2/005
Abstract: 本发明公开了一种辐射源、光刻装置和器件的制造方法。一种包括阳极和阴极的辐射源，所述阳极和阴极被构造和排列成可以在阳极和阴极之间的空间中的气体或蒸汽中产生放电，进而形成等离子体收缩来产生电磁辐射。所述气体或蒸汽包括氙气、铟、锂和/或锡。为提高热耗散，辐射源包括多个放电元件，每个放电元件只使用短的时间间隔，之后就选择其他的放电元件。为改善收缩形成和由之产生的EUV辐射脉冲的精确同步，辐射源包括一个触发器件。为提高转换效率，辐射源设置为具有低感应系数，并运行在自触发的状态。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101795527A
公开(公告)日：2010-08-04
申请号：CN201010003505.5
申请日：2003-09-17
Applicant: ASML荷兰有限公司
Inventor： K·N·科塞勒夫 , V·Y·班宁 , V·V·伊范诺夫 , E·R·基夫特 , E·R·鲁普斯特拉 , L·H·J·斯特文斯 , Y·V·斯德科夫 , V·G·科洛奇尼科夫 , V·M·克里特森 , R·R·加亚佐夫 , O·W·V·弗里恩斯
CPC classification number: H05G2/003 , B82Y10/00 , F28D15/0266 , G03F7/70033 , G03F7/70166 , G03F7/70916 , H05G2/005
Abstract: 本发明公开了一种辐射源、光刻装置和器件的制造方法。一种包括阳极和阴极的辐射源，所述阳极和阴极被构造和排列成可以在阳极和阴极之间的空间中的气体或蒸汽中产生放电，进而形成等离子体收缩来产生电磁辐射。所述气体或蒸汽包括氙气、铟、锂和/或锡。为提高热耗散，辐射源包括多个放电元件，每个放电元件只使用短的时间间隔，之后就选择其他的放电元件。为改善收缩形成和由之产生的EUV辐射脉冲的精确同步，辐射源包括一个触发器件。为提高转换效率，辐射源设置为具有低感应系数，并运行在自触发的状态。
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公开(公告)号：CN1707363A
公开(公告)日：2005-12-14
申请号：CN200510076147.X
申请日：2005-06-07
Applicant: ASML荷兰有限公司
Inventor： M·M·T·M·迪里奇斯 , M·F·A·厄林斯 , H·-J·沃尔马 , O·W·V·弗里恩斯
IPC: G03F7/20 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/70141
Abstract: 一种辐射系统，包括一用于产生辐射束的辐射发生器、一源、一用于接收辐射束并提供辐射投射束的照明系统。该照明系统包括用于测量辐射束相对于照明系统的位置和倾斜度至少之一的束测量系统，以及用于将辐射束部分截面重定向到束测量系统的投射装置。束测量系统可能包括多个位置传感器，其输出可用于确定辐射源相对于照明系统的不准确的对准。光阑连接到辐射发生器的收集器，使得加之X、Y和Z校正，Rx、Ry和Rz校正也是可能的。
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公开(公告)号：CN100594428C
公开(公告)日：2010-03-17
申请号：CN03164836.3
申请日：2003-09-17
Applicant: ASML荷兰有限公司
Inventor： K·N·科塞勒夫 , V·Y·班宁 , V·V·伊范诺夫 , E·R·基夫特 , E·R·鲁普斯特拉 , L·H·J·斯特文斯 , Y·V·斯德科夫 , V·G·科洛奇尼科夫 , V·M·克里特森 , R·R·加亚佐夫 , O·W·V·弗里恩斯
IPC: G03F7/20 , H01J17/02 , H01L21/027
CPC classification number: H05G2/003 , B82Y10/00 , F28D15/0266 , G03F7/70033 , G03F7/70166 , G03F7/70916 , H05G2/005
Abstract: 一种包括阳极和阴极的辐射源，所述阳极和阴极被构造和排列成可以在阳极和阴极之间的空间中的气体或蒸汽中产生放电，进而形成等离子体收缩来产生电磁辐射。所述气体或蒸汽包括氙气、铟，锂和/或锡。为提高热耗散，辐射源包括多个放电元件，每个放电元件只使用短的时间间隔，之后就选择其他的放电元件。为改善收缩形成和由之产生的的EUV辐射脉冲的精确同步，辐射源包括一个触发器件。为提高转换效率，辐射源设置为具有低感应系数，并运行在自触发的状态。
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公开(公告)号：CN100573332C
公开(公告)日：2009-12-23
申请号：CN200510076147.X
申请日：2005-06-07
Applicant: ASML荷兰有限公司
Inventor： M·M·T·M·迪里奇斯 , M·F·A·厄林斯 , H·-J·沃尔马 , O·W·V·弗里恩斯
IPC: G03F7/20 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/70141
Abstract: 一种辐射系统，包括一用于产生辐射束的辐射发生器、一源、一用于接收辐射束并提供辐射投射束的照明系统。该照明系统包括用于测量辐射束相对于照明系统的位置和倾斜度至少之一的束测量系统，以及用于将辐射束部分截面重定向到束测量系统的投射装置。束测量系统可能包括多个位置传感器，其输出可用于确定辐射源相对于照明系统的不准确的对准。光阑连接到辐射发生器的收集器，使得加之X、Y和Z校正，Rx、Ry和Rz校正也是可能的。
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公开(公告)号：CN1497349A
公开(公告)日：2004-05-19
申请号：CN03164836.3
申请日：2003-09-17
Applicant: ASML荷兰有限公司
Inventor： K·N·科塞勒夫 , V·Y·班宁 , V·V·伊范诺夫 , E·R·基夫特 , E·R·鲁普斯特拉 , L·H·J·斯特文斯 , Y·V·斯德科夫 , V·G·科洛奇尼科夫 , V·M·克里特森 , R·R·加亚佐夫 , O·W·V·弗里恩斯
IPC: G03F7/20 , H01J17/02 , H01L21/027
CPC classification number: H05G2/003 , B82Y10/00 , F28D15/0266 , G03F7/70033 , G03F7/70166 , G03F7/70916 , H05G2/005
Abstract: 一种包括阳极和阴极的辐射源，所述阳极和阴极被构造和排列成可以在阳极和阴极之间的空间中的气体或蒸汽中产生放电，进而形成等离子体收缩来产生电磁辐射。所述气体或蒸汽包括氙气、铟，锂和/或锡。为提高热耗散，辐射源包括多个放电元件，每个放电元件只使用短的时间间隔，之后就选择其他的放电元件。为改善收缩形成和由之产生的的EUV辐射脉冲的精确同步，辐射源包括一个触发器件。为提高转换效率，辐射源设置为具有低感应系数，并运行在自触发的状态。
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