公开(公告)号：CN105794055B

公开(公告)日：2019-07-30

申请号：CN201480066424.6

申请日：2014-11-27

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： A·A·尼基佩洛夫 ,  V·Y·巴宁 ,  P·W·H·德加格 ,  G·C·德维雷斯 ,  O·W·V·弗雷杰恩斯 ,  L·A·G·格里敏克 ,  A·卡特勒尼克 ,  J·A·G·阿克曼斯 ,  E·R·洛普斯特拉 ,  W·J·恩格伦 ,  P·R·巴特莱杰 ,  T·J·科南 ,  W·P·E·M·奥普特鲁特

IPC: H01S3/09 ,  H05H7/06

CPC classification number: H01S3/0903 ,  H01J1/34 ,  H05H7/08 ,  H05H2007/084

Abstract: 一种用于提供电子束的注入器装置。注入器装置包括用于提供电子束团的第一注入器和用于提供电子束团的第二注入器。注入器装置可操作为以电子束包括仅由第一注入器提供的电子束团的第一模式和电子束包括仅由第二注入器提供的电子束团的第二模式操作。

公开(公告)号：CN105794055A

公开(公告)日：2016-07-20

申请号：CN201480066424.6

申请日：2014-11-27

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： A·A·尼基佩洛夫 ,  V·Y·巴宁 ,  P·W·H·德加格 ,  G·C·德维雷斯 ,  O·W·V·弗雷杰恩斯 ,  L·A·G·格里敏克 ,  A·卡特勒尼克 ,  J·A·G·阿克曼斯 ,  E·R·洛普斯特拉 ,  W·J·恩格伦 ,  P·R·巴特莱杰 ,  T·J·科南 ,  W·P·E·M·奥普特鲁特

IPC: H01S3/09 ,  H05H7/06

CPC classification number: H01S3/0903 ,  H01J1/34 ,  H05H7/08 ,  H05H2007/084

Abstract: 一种用于提供电子束的注入器装置。注入器装置包括用于提供电子束团的第一注入器和用于提供电子束团的第二注入器。注入器装置可操作为以电子束包括仅由第一注入器提供的电子束团的第一模式和电子束包括仅由第二注入器提供的电子束团的第二模式操作。