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公开(公告)号：CN102216851B
公开(公告)日：2013-08-28
申请号：CN200980145244.6
申请日：2009-10-06
申请人： ASML荷兰有限公司 , 皇家飞利浦电子股份有限公司
IPC分类号： G03F7/00
CPC分类号： G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00
摘要： 一种压印光刻方法包括使用衬底或压印模具中的空隙空间。一旦可压印介质已经就位，在压印模具和衬底上的可压印的、可流动的介质之间捕获的气窝可能导致不规则。通常在可压印介质就位之前，通过气体流入或扩散到空隙空间，空隙空间允许气窝消散。作为压印模具的一部分(例如形成或邻近模具的图案化表面的层)的固体多孔介质层可以提供空隙空间。多孔层的空隙空间用作空隙空间，捕获的气体可以流入或扩散到空隙空间。将要图案化的衬底可以包括用于相同用途的多孔层。合适的固体多孔介质包括纳米多孔二氧化硅。
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公开(公告)号：CN103718654B
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201280036635.6
申请日：2012-07-04
申请人： ASML荷兰有限公司
IPC分类号： H05G2/00
摘要： 用于通过LPP（激光产生等离子体）或DLP（双激光等离子体）从熔融的燃料液滴的束流产生EUV的辐射源具有布置成提供燃料(314)液滴的束流的燃料液滴产生装置和配置成汽化燃料的所述液滴中的至少一些以产生辐射的至少一个激光器。燃料液滴产生装置包括：喷嘴(301)、馈送室和贮液器(303)，其中泵送装置布置成将熔融状态下的燃料流从贮液器通过馈送室供给并作为液滴的束流排出喷嘴。馈送室具有与填充有液体的驱动腔(310)接触的外表面，并且液体布置成能够被驱动以由振动器(311)震荡，其中该震荡可以通过液体从馈送室的外表面传输至馈送室内的熔融燃料。该布置允许振荡驱动喷嘴馈送室以控制燃料束流破碎成液滴，而不需要振动器和燃料喷嘴馈送室之间的直接接触。这可以减少通过接触失效从振动器至馈送室的传输损失，并且可以允许在冷却位置远程定位振动器用于有效操作。
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公开(公告)号：CN102216851A
公开(公告)日：2011-10-12
申请号：CN200980145244.6
申请日：2009-10-06
申请人： ASML荷兰有限公司 , 皇家飞利浦电子股份有限公司
IPC分类号： G03F7/00
CPC分类号： G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00
摘要： 一种压印光刻方法包括使用衬底或压印模具中的空隙空间。一旦可压印介质已经就位，在压印模具和衬底上的可压印的、可流动的介质之间捕获的气窝可能导致不规则。通常在可压印介质就位之前，通过气体流入或扩散到空隙空间，空隙空间允许气窝消散。作为压印模具的一部分(例如形成或邻近模具的图案化表面的层)的固体多孔介质层可以提供空隙空间。多孔层的空隙空间用作空隙空间，捕获的气体可以流入或扩散到空隙空间。将要图案化的衬底可以包括用于相同用途的多孔层。合适的固体多孔介质包括纳米多孔二氧化硅。
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公开(公告)号：CN103454855B
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201310406861.5
申请日：2009-10-06
申请人： ASML荷兰有限公司 , 皇家飞利浦电子股份有限公司
CPC分类号： G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00
摘要： 一种压印光刻方法包括使用衬底或压印模具中的空隙空间。一旦可压印介质已经就位，在压印模具和衬底上的可压印的、可流动的介质之间捕获的气窝可能导致不规则。通常在可压印介质就位之前，通过气体流入或扩散到空隙空间，空隙空间允许气窝消散。作为压印模具的一部分(例如形成或邻近模具的图案化表面的层)的固体多孔介质层可以提供空隙空间。多孔层的空隙空间用作空隙空间，捕获的气体可以流入或扩散到空隙空间。将要图案化的衬底可以包括用于相同用途的多孔层。合适的固体多孔介质包括纳米多孔二氧化硅。
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公开(公告)号：CN103454855A
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：CN201310406861.5
申请日：2009-10-06
申请人： ASML荷兰有限公司 , 皇家飞利浦电子股份有限公司
CPC分类号： G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00
摘要： 一种压印光刻方法包括使用衬底或压印模具中的空隙空间。一旦可压印介质已经就位，在压印模具和衬底上的可压印的、可流动的介质之间捕获的气窝可能导致不规则。通常在可压印介质就位之前，通过气体流入或扩散到空隙空间，空隙空间允许气窝消散。作为压印模具的一部分(例如形成或邻近模具的图案化表面的层)的固体多孔介质层可以提供空隙空间。多孔层的空隙空间用作空隙空间，捕获的气体可以流入或扩散到空隙空间。将要图案化的衬底可以包括用于相同用途的多孔层。合适的固体多孔介质包括纳米多孔二氧化硅。
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公开(公告)号：CN103765998B
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201280042339.7
申请日：2012-07-31
申请人： ASML荷兰有限公司
CPC分类号： G03F7/70033 , H05G2/003 , H05G2/005 , H05G2/006
摘要： 提供用于促进通过用于光刻设备中的辐射源液滴束流生成装置生成的束流中的燃料液滴的聚结的方法和设备。描述了多个示例，其中调制电压源被应用于发射器，使得液滴的电特性可以被控制。这导致束流中的液滴的加速和减速，引起它们合并和促进聚结。
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公开(公告)号：CN103765998A
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：CN201280042339.7
申请日：2012-07-31
申请人： ASML荷兰有限公司
CPC分类号： G03F7/70033 , H05G2/003 , H05G2/005 , H05G2/006
摘要： 提供用于促进通过用于光刻设备中的辐射源液滴束流生成装置生成的束流中的燃料液滴的聚结的方法和设备。描述了多个示例，其中调制电压源被应用于发射器，使得液滴的电特性可以被控制。这导致束流中的液滴的加速和减速，引起它们合并和促进聚结。
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公开(公告)号：CN103718654A
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：CN201280036635.6
申请日：2012-07-04
申请人： ASML荷兰有限公司
IPC分类号： H05G2/00
摘要： 用于通过LPP（激光产生等离子体）或DLP（双激光等离子体）从熔融的燃料液滴的束流产生EUV的辐射源具有布置成提供燃料(314)液滴的束流的燃料液滴产生装置和配置成汽化燃料的所述液滴中的至少一些以产生辐射的至少一个激光器。燃料液滴产生装置包括：喷嘴(301)、馈送室和贮液器(303)，其中泵送装置布置成将熔融状态下的燃料流从贮液器通过馈送室供给并作为液滴的束流排出喷嘴。馈送室具有与填充有液体的驱动腔(310)接触的外表面，并且液体布置成能够被驱动以由振动器(311)震荡，其中该震荡可以通过液体从馈送室的外表面传输至馈送室内的熔融燃料。该布置允许振荡驱动喷嘴馈送室以控制燃料束流破碎成液滴，而不需要振动器和燃料喷嘴馈送室之间的直接接触。这可以减少通过接触失效从振动器至馈送室的传输损失，并且可以允许在冷却位置远程定位振动器用于有效操作。
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