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发明公开
确定标记测量序列的方法、平台设备和光刻设备审中-实审

公开(公告)号：CN114270273A

公开(公告)日：2022-04-01

申请号：CN202080055006.2

申请日：2020-07-16

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： I·纳吉 , O·杜曼 , A·吉耶斯贝特森 , P·J·赫雷斯 , R·M·赫尔曼 , E·詹森 , T·A·马塔尔 , N·J·M·范登纽韦拉尔 , P·F·范吉尔斯

IPC: G03F9/00 , G01B11/02

Abstract: 本发明提供了一种针对包括多个标记的物体确定标记测量序列的方法，该方法包括：·接收针对要测量的多个标记的位置数据；·获取用于执行标记测量序列的定位装置的边界模型，以及·基于位置数据和边界模型来确定标记测量序列。

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