公开(公告)号：CN103492947A

公开(公告)日：2014-01-01

申请号：CN201280018494.5

申请日：2012-03-28

Applicant: 默克专利股份有限公司

Inventor： A·梅热尔 ,  W·斯托库姆 ,  I·科勒

IPC: G03F7/00 ,  H01L51/00 ,  G03F7/20

CPC classification number: C09K13/02 ,  B81C1/00539 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/2018 ,  H01L51/0017 ,  H01L51/0023

Abstract: 本发明涉及一种选择性蚀刻以及高分辨率地图案化柔性聚合物基质的方法，所述聚合物基质可包含Ag纳米管。

公开(公告)号：CN102893421B

公开(公告)日：2016-01-20

申请号：CN201180024130.3

申请日：2011-04-26

Applicant: 默克专利股份有限公司

Inventor： W·斯托库姆 ,  A·梅热尔 ,  I·科勒

IPC: H01L51/00 ,  H01L51/44

CPC classification number: H01L51/0019 ,  B82Y10/00 ,  H01L51/0026 ,  H01L51/0036 ,  H01L51/0037 ,  H01L51/0045 ,  H01L51/4253 ,  H01L51/444

Abstract: 本发明涉及选择性结构化在柔性塑料底材结构上的包含CNT（碳纳米管）的聚合物基质的方法。所述方法还包括合适的蚀刻组合物，其允许在大规模生产中进行该方法。

公开(公告)号：CN102893421A

公开(公告)日：2013-01-23

申请号：CN201180024130.3

申请日：2011-04-26

Applicant: 默克专利股份有限公司

Inventor： W·斯托库姆 ,  A·梅热尔 ,  I·科勒

IPC: H01L51/00 ,  H01L51/44

CPC classification number: H01L51/0019 ,  B82Y10/00 ,  H01L51/0026 ,  H01L51/0036 ,  H01L51/0037 ,  H01L51/0045 ,  H01L51/4253 ,  H01L51/444

Abstract: 本发明涉及选择性结构化在柔性塑料底材结构上的包含CNT（碳纳米管）的聚合物基质的方法。所述方法还包括合适的蚀刻组合物，其允许在大规模生产中进行该方法。