等离子导引机构及应用该导引机构的等离子放电装置

    公开(公告)号:CN101163370A

    公开(公告)日:2008-04-16

    申请号:CN200610149604.8

    申请日:2006-10-10

    Abstract: 本发明公开了一种等离子导引机构及应用该导引机构的等离子放电装置,该等离子导引机构包括:套接于等离子放电装置上的壳体,借以与等离子放电装置定义出第一腔室第二腔室,其中等离子放电装置通过电弧放电在第一腔室内生等离子,第一腔室与第二腔室联通,且第二腔室的侧壁具有长形窄孔,用来导引等离子由长形窄孔喷出该壳体外部。因此,本发明所提供的等离子导引机构确实具有提高等离子放电装置的等离子喷射面积、延长使用寿命以及提供多样等离子喷射角度的优点。

    金属线路的制造方法
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106455344B

    公开(公告)日:2019-04-30

    申请号:CN201610081813.7

    申请日:2016-02-05

    Abstract: 一种金属线路的制造方法,包含提供基板。基板表面上依序设有金属层及光刻胶层。对光刻胶层进行曝光步骤以在光刻胶层中形成曝光部及未曝光部。利用显影剂进行显影步骤以移除曝光部或未曝光部并暴露出部分金属层。于显影步骤后部分显影剂残留在金属层暴露部分上。进行等离子处理以在显影剂残留部分与金属层暴露部分上形成亲水性官能基。利用蚀刻剂对金属层暴露部分进行蚀刻步骤以移除金属层的暴露部分。于蚀刻步骤期间蚀刻剂与显影剂残留部分上的亲水性官能基键结而移除显影剂的残留部分。显影剂残留部分经等离子处理后可有效去除,可提高金属线路图案转移的准确性与质量,提升蚀刻工艺良率。等离子可粗化金属层表面,增进材料层对金属层的附着性。

    金属线路的制造方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106455344A

    公开(公告)日:2017-02-22

    申请号:CN201610081813.7

    申请日:2016-02-05

    CPC classification number: H05K3/06 H05K2203/052 H05K2203/095

    Abstract: 一种金属线路的制造方法,包含提供基板。基板表面上依序设有金属层及光刻胶层。对光刻胶层进行曝光步骤以在光刻胶层中形成曝光部及未曝光部。利用显影剂进行显影步骤以移除曝光部或未曝光部并暴露出部分金属层。于显影步骤后部分显影剂残留在金属层暴露部分上。进行等离子处理以在显影剂残留部分与金属层暴露部分上形成亲水性官能基。利用蚀刻剂对金属层暴露部分进行蚀刻步骤以移除金属层的暴露部分。于蚀刻步骤期间蚀刻剂与显影剂残留部分上的亲水性官能基键结而移除显影剂的残留部分。显影剂残留部分经等离子处理后可有效去除,可提高金属线路图案转移的准确性与质量,提升蚀刻工艺良率。等离子可粗化金属层表面,增进材料层对金属层的附着性。

    水淡化方法
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN116216821B

    公开(公告)日:2025-01-17

    申请号:CN202111466941.0

    申请日:2021-12-03

    Abstract: 一种水淡化方法。在此方法中,提供电湿润装置于待淡化水上方,其中此电湿润装置包含导电基底、以及绝缘层覆盖在导电基底的表面上。电湿润装置将待淡化水的水蒸气吸附于绝缘层的一表面上方。利用放电装置朝绝缘层的表面进行放电处理,以使水蒸气带电。于进行放电处理时,对导电基底施加电力,以使导电基底与带电的水蒸气具有不同电性,借此可将带电的水蒸气吸引于绝缘层的表面上并在绝缘层的表面上凝结成水。于绝缘层的表面上的水累积到一预设量时,将电湿润装置转移到淡水收集槽上方,并停止施加电力。借此,可在低耗能的情况下,顺利完成水的淡化,故可大幅降低水淡化成本。

    水淡化方法
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116216821A

    公开(公告)日:2023-06-06

    申请号:CN202111466941.0

    申请日:2021-12-03

    Abstract: 一种水淡化方法。在此方法中,提供电湿润装置于待淡化水上方,其中此电湿润装置包含导电基底、以及绝缘层覆盖在导电基底的表面上。电湿润装置将待淡化水的水蒸气吸附于绝缘层的一表面上方。利用放电装置朝绝缘层的表面进行放电处理,以使水蒸气带电。于进行放电处理时,对导电基底施加电力,以使导电基底与带电的水蒸气具有不同电性,借此可将带电的水蒸气吸引于绝缘层的表面上并在绝缘层的表面上凝结成水。于绝缘层的表面上的水累积到一预设量时,将电湿润装置转移到淡水收集槽上方,并停止施加电力。借此,可在低耗能的情况下,顺利完成水的淡化,故可大幅降低水淡化成本。

    等离子放电装置及其应用方法

    公开(公告)号:CN1993010A

    公开(公告)日:2007-07-04

    申请号:CN200510003377.3

    申请日:2005-12-31

    Abstract: 一种等离子放电装置及其应用方法。该等离子放电装置至少包含外电极、绝缘层以及内电极。外电极至少包括:一第一部分具有一第一腔室,且第一腔室具有第一孔径,其中第一腔室具有一底板,且底板设有一开口;以及一第二部分连接到第一部分下,且具有第二腔室贯穿第二部分,第二腔室具有第二孔径,其中第二腔室与底板的开口连接,且第一孔径大于第二孔径。绝缘层位于第一腔室的内壁上。内电极设于外电极内的第一腔室的前端,并相对于底板的开口。

    类金刚石碳膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN1782123A

    公开(公告)日:2006-06-07

    申请号:CN200410096585.8

    申请日:2004-12-03

    Abstract: 本发明提供了一种耐磨耗、可由低温工艺形成,且具有高附着力的类金刚石碳薄膜及其制造方法,本发明的方法是利用有机硅氧化合物,如六甲基二硅醚混合含氢碳源,以薄膜沉积的方法,并且在工艺中逐渐改变有机硅氧化合物与含氢碳源的比例,在基材上形成一含硅氧化合物的中间层。最后在中间层上方以含氢碳源作薄膜沉积镀覆实质为类金刚石碳材质的一表层,以形成一高附着力的类金刚石碳薄膜。该类金刚石碳薄膜提供适当的硬度/韧性比例,使中间层具有足够的机械支撑力,更使得高硬度的类金刚石碳材质得以附着于基材上不易脱落。

    常压等离子镀膜装置
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108342713A

    公开(公告)日:2018-07-31

    申请号:CN201710161397.6

    申请日:2017-03-17

    Abstract: 一种常压等离子镀膜装置。此常压等离子镀膜装置包含常压等离子产生器以及至少一前驱物进料治具。常压等离子产生器包含管状电极以及喷嘴。喷嘴设于管状电极下,且配置以喷射等离子。喷嘴具有喷口以及平滑轮廓,且此平滑轮廓的外径由管状电极往喷口渐缩。至少一前驱物进料治具邻设于管状电极与喷嘴,且配置以朝喷嘴的平滑轮廓喷射镀膜前驱物,以使镀膜前驱物沿着平滑轮廓流至喷口前与常压等离子混合喷涂成膜。利用喷嘴的平滑轮廓设计,搭配等离子气流在喷口附近所产生的吸力,可有效提升镀膜前驱物与等离子的混合均匀度,提升镀膜品质,更可改善镀膜前驱物散逸于大气而造成浪费的问题。

    织品的疏水整理设备
    10.
    实用新型

    公开(公告)号:CN205893652U

    公开(公告)日:2017-01-18

    申请号:CN201620809572.9

    申请日:2016-07-29

    Abstract: 一种织品的疏水整理设备。此疏水整理设备包含第一喷涂装置、至少一第一电浆装置、第二喷涂装置以及至少一第二电浆装置。第一喷涂装置配置以对织品的第一侧喷涂疏水剂。第一电浆装置设于第一喷涂装置后,且配置以对织品的第一侧进行第一电浆处理。第二喷涂装置设于第一电浆装置后,且配置以对织品的第二侧喷涂疏水剂,其中第二侧相对于第一侧。第二电浆装置设于第二喷涂装置后,且配置以对织品的第二侧进行第二电浆处理。利用喷涂装置喷涂疏水剂,并利用电浆装置对喷涂后的织品进行电浆处理,可提升疏水剂的均匀性与使用率,并可促进疏水剂内的疏水单体的彼此聚合、及疏水单体或聚合物与织物表面的键结,因此可增加织品的耐水洗效能。

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