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公开(公告)号：CN107606692A
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201710423030.7
申请日：2017-06-07
Applicant: 馗鼎奈米科技股份有限公司
CPC classification number: B03C3/38 , A61L9/22 , B03C3/12 , B03C3/41 , B03C3/47 , B03C3/60 , B03C2201/06 , B03C2201/10 , F24F3/166 , H01T23/00
Abstract: 一种等离子净化模块。此等离子净化模块包含第一电极板、第二电极板、至少一长型电极以及集水元件。第一电极板配置以连接一电源的第一极。第二电极板设于第一电极板的一表面的上方，且配置以连接电源的第二极，其中第二电极板具有通道。长型电极配置以形成放电区。此长型电极设于第一电极板的表面上，且穿过通道。长型电极具有一尖端。集水元件邻设于尖端且配置以提供水气或水予放电区。水在放电区的高电场下可形成纳米级水雾而包覆住离子，因此可延长等离子所产生的离子的寿命，减少正离子与负离子的中和反应，进而可延长离子与污染物质的反应范围，提升空气净化效果。
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公开(公告)号：CN101163370A
公开(公告)日：2008-04-16
申请号：CN200610149604.8
申请日：2006-10-10
Applicant: 馗鼎奈米科技股份有限公司
IPC: H05H1/34
Abstract: 本发明公开了一种等离子导引机构及应用该导引机构的等离子放电装置，该等离子导引机构包括：套接于等离子放电装置上的壳体，借以与等离子放电装置定义出第一腔室第二腔室，其中等离子放电装置通过电弧放电在第一腔室内生等离子，第一腔室与第二腔室联通，且第二腔室的侧壁具有长形窄孔，用来导引等离子由长形窄孔喷出该壳体外部。因此，本发明所提供的等离子导引机构确实具有提高等离子放电装置的等离子喷射面积、延长使用寿命以及提供多样等离子喷射角度的优点。
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公开(公告)号：CN112838159B
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN202010085101.9
申请日：2020-02-10
Applicant: 馗鼎奈米科技股份有限公司
IPC: H10N30/045
Abstract: 一种极化设备。此极化设备包含导电载台、介电质屏蔽放电电浆源、电网、介电质屏蔽放电电源供应器、以及直流电源供应器。导电载台具有承载面配置以承载工件，其中工件包含压电材料薄膜，且导电载台接地。介电质屏蔽放电电浆源设于承载面的上方，且配置以朝压电材料薄膜施加电浆。电网设于承载面与介电质屏蔽放电电浆源之间。介电质屏蔽放电电源供应器包含第一极与第二极，其中第一极电性连接介电质屏蔽放电电浆源，第二极接地。直流电源供应器包含第三极与第四极，其中第三极电性连接电网，第四极接地。介电质屏蔽放电电浆源可产生二维均匀电浆，因此可避免极化盲区与放电不均匀的问题，而可提升极化的均匀度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105938103A
公开(公告)日：2016-09-14
申请号：CN201510915185.3
申请日：2015-12-10
Applicant: 馗鼎奈米科技股份有限公司
CPC classification number: G01J3/443 , G01J3/28 , G01J3/2803 , G01N21/84 , G01N27/62
Abstract: 一种等离子放电辉光的光学监控方法，其包含下列步骤。利用侦测器侦测等离子放电辉光，以取得数个光信号。利用感测电路撷取这些光信号，并将这些光信号转换成数个电信号。利用运算单元根据这些电信号来进行计算步骤，以获得对应等离子放电辉光的数个位置的数个光强度。利用影像重建单元根据等离子放电辉光的这些位置与对应的光强度重建等离子放电辉光的影像。运用此方法，可以非接触的方式，有效侦测出等离子放电辉光的形状、大小、温度分布、颜色分布与闪烁行为，以及相对强度、绝对强度与强度分布，因此可达到即时监控等离子处理的区域的效果。
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公开(公告)号：CN1993010A
公开(公告)日：2007-07-04
申请号：CN200510003377.3
申请日：2005-12-31
Applicant: 馗鼎奈米科技股份有限公司
Abstract: 一种等离子放电装置及其应用方法。该等离子放电装置至少包含外电极、绝缘层以及内电极。外电极至少包括：一第一部分具有一第一腔室，且第一腔室具有第一孔径，其中第一腔室具有一底板，且底板设有一开口；以及一第二部分连接到第一部分下，且具有第二腔室贯穿第二部分，第二腔室具有第二孔径，其中第二腔室与底板的开口连接，且第一孔径大于第二孔径。绝缘层位于第一腔室的内壁上。内电极设于外电极内的第一腔室的前端，并相对于底板的开口。
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公开(公告)号：CN1782123A
公开(公告)日：2006-06-07
申请号：CN200410096585.8
申请日：2004-12-03
Applicant: 馗鼎奈米科技股份有限公司
IPC: C23C16/26 , C23C16/27 , C23C16/02 , C23C16/513
Abstract: 本发明提供了一种耐磨耗、可由低温工艺形成，且具有高附着力的类金刚石碳薄膜及其制造方法，本发明的方法是利用有机硅氧化合物，如六甲基二硅醚混合含氢碳源，以薄膜沉积的方法，并且在工艺中逐渐改变有机硅氧化合物与含氢碳源的比例，在基材上形成一含硅氧化合物的中间层。最后在中间层上方以含氢碳源作薄膜沉积镀覆实质为类金刚石碳材质的一表层，以形成一高附着力的类金刚石碳薄膜。该类金刚石碳薄膜提供适当的硬度/韧性比例，使中间层具有足够的机械支撑力，更使得高硬度的类金刚石碳材质得以附着于基材上不易脱落。
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公开(公告)号：CN112838159A
公开(公告)日：2021-05-25
申请号：CN202010085101.9
申请日：2020-02-10
Applicant: 馗鼎奈米科技股份有限公司
IPC: H01L41/257
Abstract: 一种极化设备。此极化设备包含导电载台、介电质屏蔽放电电浆源、电网、介电质屏蔽放电电源供应器、以及直流电源供应器。导电载台具有承载面配置以承载工件，其中工件包含压电材料薄膜，且导电载台接地。介电质屏蔽放电电浆源设于承载面的上方，且配置以朝压电材料薄膜施加电浆。电网设于承载面与介电质屏蔽放电电浆源之间。介电质屏蔽放电电源供应器包含第一极与第二极，其中第一极电性连接介电质屏蔽放电电浆源，第二极接地。直流电源供应器包含第三极与第四极，其中第三极电性连接电网，第四极接地。介电质屏蔽放电电浆源可产生二维均匀电浆，因此可避免极化盲区与放电不均匀的问题，而可提升极化的均匀度。
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公开(公告)号：CN209496896U
公开(公告)日：2019-10-15
申请号：CN201920484101.9
申请日：2019-04-11
Applicant: 馗鼎奈米科技股份有限公司
IPC: H01L41/22 , H01L41/253
Abstract: 一种压电材料薄膜的极化装置，适用以对装置结构的压电材料薄膜进行极化制程。装置结构包含绝缘基材、以及压电材料薄膜设于绝缘基材的表面的第一部分上。压电材料薄膜的极化设备包含导电载盘、极化电极、以及直流电源。导电载盘包含凸状部与凹陷部。绝缘基材设于凸状部上，且凸状部对应位于压电材料薄膜的下方。凹陷部对应位于绝缘基材的表面的第二部分的下方。极化电极设于导电载盘的上方，且配置以朝装置结构的压电材料薄膜发射多个带电离子束。直流电源配置以在极化电极与导电载盘之间形成高电场环境。具凹凸表面构造的导电载盘可使带电离子束集中在待极化的压电材料薄膜上而催化极化过程，因此可确保压电材料薄膜的极化更完整。
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