公开(公告)号：CN105938103A

公开(公告)日：2016-09-14

申请号：CN201510915185.3

申请日：2015-12-10

Applicant: 馗鼎奈米科技股份有限公司

Inventor： 李志勇 ,  徐逸明 ,  王立民 ,  周昭旭 ,  黄友俊 ,  陈彦政

IPC: G01N21/84 ,  G01N27/62

CPC classification number: G01J3/443 ,  G01J3/28 ,  G01J3/2803 ,  G01N21/84 ,  G01N27/62

Abstract: 一种等离子放电辉光的光学监控方法，其包含下列步骤。利用侦测器侦测等离子放电辉光，以取得数个光信号。利用感测电路撷取这些光信号，并将这些光信号转换成数个电信号。利用运算单元根据这些电信号来进行计算步骤，以获得对应等离子放电辉光的数个位置的数个光强度。利用影像重建单元根据等离子放电辉光的这些位置与对应的光强度重建等离子放电辉光的影像。运用此方法，可以非接触的方式，有效侦测出等离子放电辉光的形状、大小、温度分布、颜色分布与闪烁行为，以及相对强度、绝对强度与强度分布，因此可达到即时监控等离子处理的区域的效果。