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公开(公告)号：CN116685712A
公开(公告)日：2023-09-01
申请号：CN202280007839.0
申请日：2022-11-17
Applicant: 韩松化学株式会社 , 延世大学校产学协力团
Inventor： 吴正道 , 李炫炅 , 朴美椤 , 昔壮炫 , 朴正佑 , 金亨俊 , 郑丞珉 , 朴宣泳 , 罗承奎
IPC: C23C16/455
Abstract: 本发明涉及通过蒸镀有机金属化合物(特别是包含稀土类金属的有机金属化合物)来制造优异特性的薄膜的方法以及所制造的薄膜。
