-
公开(公告)号:CN101356305A
公开(公告)日:2009-01-28
申请号:CN200680050429.5
申请日:2006-12-06
申请人: 阿波朗.索拉尔公司 , 西伯斯塔公司 , EFD感应股份有限公司
IPC分类号: C30B11/00
CPC分类号: C30B11/003 , C30B11/002 , Y10T117/10 , Y10T117/102 , Y10T117/1024 , Y10T117/1068 , Y10T117/1088
摘要: 通过热源(3)和冷却系统在结晶坩埚(1)中建立热梯度。所述冷却系统包括交换器(17)和可调节的附加热源(18)。优选地,所述冷却系统由感应线圈(10)(通过在该感应线圈(10)内循环的冷却剂冷却)和置于所述坩埚(1)和所述感应线圈(10)之间的导电感应感受器(11)构成。所述生产方法包括从顶部对坩埚(1)加热和通过交换器(17)和通过调节可调节的附加热源(18)控制来自坩埚(1)的热量向下排出。
-
公开(公告)号:CN101300686A
公开(公告)日:2008-11-05
申请号:CN200680040466.8
申请日:2006-10-19
IPC分类号: H01L31/18
CPC分类号: H01L31/182 , Y02E10/546 , Y02P70/521 , Y10T117/1092
摘要: 本发明涉及一种装置,该装置包括具有底部(2)和侧壁的坩埚(1)。坩埚(1)包括至少一个水平布置于侧壁(3)的底部的横向狭缝(4)。横向狭缝(4)具有大于50mm的宽度,优选地介于100mm和500mm之间。狭缝(4)的宽度(H)介于50和1000微米之间。晶体材料通过横向狭缝(4)从该坩埚输出,以形成晶体带(R)。该方法包括将结晶化核与通过横向狭缝(4)输出的材料接触的步骤,以及带(R)的水平位移步骤(14)。
-
公开(公告)号:CN101356305B
公开(公告)日:2011-07-20
申请号:CN200680050429.5
申请日:2006-12-06
申请人: 阿波朗·索拉尔公司 , 西伯斯塔公司 , EFD感应股份有限公司
IPC分类号: C30B11/00
CPC分类号: C30B11/003 , C30B11/002 , Y10T117/10 , Y10T117/102 , Y10T117/1024 , Y10T117/1068 , Y10T117/1088
摘要: 通过热源(3)和冷却系统在结晶坩埚(1)中建立热梯度。所述冷却系统包括交换器(17)和可调节的附加热源(18)。优选地,所述冷却系统由感应线圈(10)(通过在该感应线圈(10)内循环的冷却剂冷却)和置于所述坩埚(1)和所述感应线圈(10)之间的导电感应感受器(11)构成。所述生产方法包括从顶部对坩埚(1)加热和通过交换器(17)和通过调节可调节的附加热源(18)控制来自坩埚(1)的热量向下排出。
-
-