光学元件及其制造方法
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102360092B

    公开(公告)日:2014-05-07

    申请号:CN201110317164.3

    申请日:2008-06-09

    CPC classification number: G11B7/1372 G02B5/1871 G11B7/1353

    Abstract: 本发明的目的尤其在于提供一种光学元件,能够对阶梯差为1.5μm以上且侧面形成为倾斜面的深槽结构提高反射防止效果。在第一成形体(2)形成有由凸部(6)和凹部(7)形成的衍射图案(5)。上述凸部(6)和凹部(7)之间的阶梯差(H1)为1.5μm以上。在凸部上表面(6a)和凹部底面(7a)之间的至少接近上述底面(7a)的部分,设置有用于提高分型性的倾斜面(10),所以能够高精度地形成1.5μm以上的深槽的衍射图案,并且在凸部上表面(6a)、凹部底面(7a)以及上述倾斜面(10)形成有微小的凹凸形状的反射防止结构(8),所以能够进一步适当地提高反射防止效果,从而能够适当地提高作为衍射光栅的性能。

    光学元件及其制造方法
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102360092A

    公开(公告)日:2012-02-22

    申请号:CN201110317164.3

    申请日:2008-06-09

    CPC classification number: G11B7/1372 G02B5/1871 G11B7/1353

    Abstract: 本发明的目的尤其在于提供一种光学元件,能够对阶梯差为1.5μm以上且侧面形成为倾斜面的深槽结构提高反射防止效果。在第一成形体(2)形成有由凸部(6)和凹部(7)形成的衍射图案(5)。上述凸部(6)和凹部(7)之间的阶梯差(H1)为1.5μm以上。在凸部上表面(6a)和凹部底面(7a)之间的至少接近上述底面(7a)的部分,设置有用于提高分型性的倾斜面(10),所以能够高精度地形成1.5μm以上的深槽的衍射图案,并且在凸部上表面(6a)、凹部底面(7a)以及上述倾斜面(10)形成有微小的凹凸形状的反射防止结构(8),所以能够进一步适当地提高反射防止效果,从而能够适当地提高作为衍射光栅的性能。

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