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公开(公告)号：CN101509772B
公开(公告)日：2011-01-05
申请号：CN200910103328.5
申请日：2009-03-06
Applicant: 重庆大学
Abstract: 本发明涉及一种光学位相检测的高精度硅微机电陀螺仪，光源的尾纤与光电探测器的入纤分别和Y型光耦合器的一根光纤熔接，在振梁上做微镜用于反射经Y型光耦合器尾纤的透射光，光电探测器探测微镜上的反射光与Y型光耦合器尾纤端面的反射光在经Y型光耦合器汇合形成的干涉条纹，光电探测器与检测与控制系统连接。本发明采用光学干涉原理，用光学位相测量方法来测量振动质量块的微小位移，从而提高了陀螺的检测灵敏度和读出精度，具有体积小、重量轻、高分辨率、低漂移、响应时间快和高的读出精度的特点，提高了陀螺的动态响应范围和检测精度，同时有利于进行数字滤波与信号传输处理，提高了系统抗干扰能力。
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公开(公告)号：CN101509772A
公开(公告)日：2009-08-19
申请号：CN200910103328.5
申请日：2009-03-06
Applicant: 重庆大学
Abstract: 本发明涉及一种光学位相检测的高精度硅微机电陀螺仪，光源的尾纤与光电探测器的入纤分别和Y型光耦合器的一根光纤熔接，在振梁上做微镜用于反射经Y型光耦合器尾纤的透射光，光电探测器探测微镜上的反射光与Y型光耦合器尾纤端面的反射光在经Y型光耦合器汇合形成的干涉条纹，光电探测器与检测与控制系统连接。本发明采用光学干涉原理，用光学位相测量方法来测量振动质量块的微小位移，从而提高了陀螺的检测灵敏度和读出精度，具有体积小、重量轻、高分辨率、低漂移、响应时间快和高的读出精度的特点，提高了陀螺的动态响应范围和检测精度，同时有利于进行数字滤波与信号传输处理，提高了系统抗干扰能力。
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