用于检查物体的方法和设备

    公开(公告)号:CN1955723A

    公开(公告)日:2007-05-02

    申请号:CN200610143649.4

    申请日:2006-10-24

    CPC classification number: G01B11/2513 F01D5/005 G01B5/205 G06T7/521

    Abstract: 一种用于生成与光测量系统(10)一起使用的光罩(50、52)的方法(72),光测量系统(10)包括用于将光投射到物体(12)上的光源(22),和用于接收从物体反射的光的成像传感器(24)。该方法包括确定(74)要检查的物体的轮廓(56),并且基于所确定的物体轮廓生成(86)电子光罩。电子光罩具有电子开口(62、68),电子开口(62、68)具有定义为从光源和成像传感器其中之一的视角来看基本上与所确定的物体轮廓匹配的轮廓(64、70)。

    光学检测仪器和方法
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101469975A

    公开(公告)日:2009-07-01

    申请号:CN200710301395.9

    申请日:2007-12-27

    Abstract: 本发明涉及一种光学检测仪器和方法,该光学检测仪器是一种小视场光学检测仪器,可用以检测一表面上几微米的三维特征,该光学检测仪器包括产生一投射光路的光学投射装置、位于投射光路中改变该投射光并使其成为结构光的光栅装置、将所述结构光投射到所述表面上移动一定距离的相移装置、观察器以及计算机。观察器包括具有与该投射光路不平行的接收光路的光学接收系统和位于该接收光路中的相机,该相机用于观察并记录所述图像。计算机包括与相机之间的数据传输和基于反射图像所提供的表面轮廓信息进行轮廓测量建模的处理器。

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